可调整位置的软针及采用该软针的微针制造技术

本实用新型专利技术涉及一种可调整位置的软针，包括软质体电极，于所述体电极的至少一个功能面设有变形牵引层，所述变形牵引层至少覆盖所述体电极的针头；所述变形牵引层为能受热变形的结构层并于所述体电极上形成有与所述变形牵引层连接的导电线路。另外还提供一种微针，包括多个微针体，至少部分微针体采用上述的可调整位置的软针。本实用新型专利技术通过在体电极上设置变形牵引层，一方面能提高其结构强度，更易于植入，更为重要地，通过该变形牵引层得电加热并受热形变，可以使软质体电极向特定的方向偏移，提高软针植入位置的准确性。提高软针植入位置的准确性。提高软针植入位置的准确性。

【技术实现步骤摘要】
可调整位置的软针及采用该软针的微针


[0001]本技术属于神经接口
，具体涉及一种可调整位置的软针及采用该软针的微针。

技术介绍

[0002]在神经接口系统中，通过电极采集脑信号，其中电极包括侵入式和非侵入式等形式，侵入式电极采集的脑信号更为准确、可靠性更高。目前，用于神经植入的微针电极在植入的过程中主要依靠手动或机器植入系统实现缓慢或快速植入；然而，目前已有的这些植入手段中，由于柔性微针电极与组织之间的互相作用，柔性微针电极在植入过程中会出现位置偏移等情况，影响信号采集的准确性和可靠性。

技术实现思路

[0003]本技术涉及一种可调整位置的软针及采用该软针的微针，至少可解决现有技术的部分缺陷。
[0004]本技术涉及一种可调整位置的软针，包括软质体电极，于所述体电极的至少一个功能面设有变形牵引层，所述变形牵引层至少覆盖所述体电极的针头；所述变形牵引层为能受热变形的结构层并于所述体电极上形成有与所述变形牵引层连接的导电线路。
[0005]作为实施方式之一，所述变形牵引层包括覆于所述体电极上的第一金属层、层叠于所述第一金属层上的第二金属层以及夹设于所述第一金属层与所述第二金属层之间的发热元件，所述第一金属层与所述第二金属层的金属热膨胀系数相异，所述发热元件与所述导电线路电连接。
[0006]作为实施方式之一，所述第一金属层的金属热膨胀系数大于所述第二金属层的金属热膨胀系数。
[0007]作为实施方式之一，所述发热元件为电阻丝。
[0008]作为实施方式之一，所述第一金属层和所述第二金属层均通过半导体工艺制作而成。
[0009]作为实施方式之一，所述体电极的两个功能面均设有所述变形牵引层。
[0010]作为实施方式之一，两个所述变形牵引层共用一组导电线路，所述导电线路形成于所述体电极的其中一个功能面上。
[0011]作为实施方式之一，两个所述变形牵引层分别配置一组导电线路，两组导电线路分别形成于所述体电极的两个功能面上。
[0012]作为实施方式之一，所述体电极两侧的变形牵引层的膨胀方向相反。
[0013]本技术还提供一种微针，包括多个微针体，至少部分微针体采用如上所述的可调整位置的软针。
[0014]本技术至少具有如下有益效果：
[0015]本技术提供的软针，通过在体电极上设置变形牵引层，一方面能提高其结构
强度，更易于植入，更为重要地，通过该变形牵引层得电加热并受热形变，可以使软质体电极向特定的方向偏移，提高软针植入位置的准确性。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0017]图1为本技术实施例提供的微针的示意图；
[0018]图2为图1中I部分的结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]实施例一
[0021]如图1和图2，本技术实施例提供一种可调整位置的软针1，包括软质体电极11，于所述体电极11的至少一个功能面设有变形牵引层12，所述变形牵引层12至少覆盖所述体电极11的针头；所述变形牵引层12为能受热变形的结构层并于所述体电极11上形成有与所述变形牵引层12连接的导电线路。
[0022]在其中一个实施例中，上述软质体电极11采用氮化硅、多晶硅或碳化硅制备而成。
[0023]在其中一个实施例中，上述软质体电极11呈板状或片状，其两个功能面对应为两个板面或两个片面；可选地，该体电极11的针头呈三角形，易于植入。优选地，在体电极11的两个功能面上分别设置电极触点，该电极触点采用导电材料制成，可以起到采集相关信号的作用，电极触点优选为与变形牵引层12间隔设置。
[0024]本实施例提供的软针1，通过在体电极11上设置变形牵引层12，一方面能提高其结构强度，更易于植入，更为重要地，通过该变形牵引层12得电加热并受热形变，可以使软质体电极11向特定的方向偏移，提高软针1植入位置的准确性。
[0025]在其中一个实施例中，所述变形牵引层12包括覆于所述体电极11上的第一金属层、层叠于所述第一金属层上的第二金属层以及夹设于所述第一金属层与所述第二金属层之间的发热元件，所述第一金属层与所述第二金属层的金属热膨胀系数相异，所述发热元件与所述导电线路电连接。基于该方案，通过两个金属层的金属热膨胀系数的差异，在发热元件得电发热时，可以使两个金属层发生不同程度的形变，从而牵引体电极11向特定方向偏移，能精确地调整软质体电极11的位置，可以实现对软质体电极11的位置的微调效果。
[0026]优选地，对变形牵引层12的加热温度可步进调控，该变形牵引层12的总体形变程度优选为控制在8
°
～15
°
/℃范围内，以控制在10
°
/℃左右为佳，精度可低至
±
0.1
°
/℃，实现对体电极11植入定位的微调。
[0027]优选地，上述发热元件包括但不限于采用电阻丝。
[0028]在其中一个实施例中，上述两个金属层分别为铝层和钨层，铝层和钨层的位置可根据具体情况进行确定，例如第一金属层为铝层，第二金属层为钨层。
[0029]优选地，第一金属层的金属热膨胀系数大于第二金属层的金属热膨胀系数，在受热时，变形牵引层12的形变方向为向第二金属层一侧弯曲，进而带动体电极11向该变形牵引层12所在侧弯曲。
[0030]在其中一个实施例中，上述第一金属层和所述第二金属层均通过半导体工艺制作而成，也即二者均可由MEMS工艺制作形成的金属层，也可通过溅射的方式形成金属层。可选地，两个金属层均采用磁控溅射+剥离工艺制作在体电极11上；电阻丝优选为黏附在两层金属层之间。
[0031]在另外的实施例中，上述变形牵引层12也可采用能受热变形的记忆合金等。
[0032]优选地，如图2，所述体电极11的两个功能面均设有变形牵引层12，则可以使软质体电极11具有向两侧调整位置的功能，进一步提高软针1植入位置的准确性。当体电极11的两个功能面均设有变形牵引层12时，其中，所述体电极两侧的变形牵引层的膨胀方向相反，优选为该两个变形牵引层12对体电极11的牵引方向是相反的，以便于实现使软质体电极11具有向两侧调整位置的功能。
[0033]其中，两个变形牵引层12可以共用一组导电线路，所述导电线路形成于所述体电极11本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调整位置的软针，包括软质体电极，其特征在于：于所述体电极的至少一个功能面设有变形牵引层，所述变形牵引层至少覆盖所述体电极的针头；所述变形牵引层为能受热变形的结构层并于所述体电极上形成有与所述变形牵引层连接的导电线路。2.如权利要求1所述的可调整位置的软针，其特征在于：所述变形牵引层包括覆于所述体电极上的第一金属层、层叠于所述第一金属层上的第二金属层以及夹设于所述第一金属层与所述第二金属层之间的发热元件，所述第一金属层与所述第二金属层的金属热膨胀系数相异，所述发热元件与所述导电线路电连接。3.如权利要求2所述的可调整位置的软针，其特征在于：所述第一金属层的金属热膨胀系数大于所述第二金属层的金属热膨胀系数。4.如权利要求2所述的可调整位置的软针，其特征在于：所述发热元件为电阻丝。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄立，黄晟，姬君旺，
申请(专利权)人：武汉衷华脑机融合科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：