一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理系统技术方案

技术编号:35948885 阅读:17 留言:0更新日期:2022-12-14 10:40
本实用新型专利技术涉及单晶硅生产设备领域,具体涉及一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理系统。包括清理爬行器和可移动升降平台,所述可移动升降平台包括下表面设置有万向轮的底座,所述底座上表面设置有升降液压站、储气罐和升降立柱,所述升降立柱上设置有与电源连接的接线盒、与所述接线盒连接的控制终端以及液压升降结构,所述控制终端通过升降液压站控制所述液压升降结构升降;所述液压升降结构上设置有控制箱,所述控制箱底部设置有爬行器控制终端,所述控制箱顶部设置有爬行器托架;所述清理爬行器放置在所述爬行器托架上。本实用新型专利技术使用机械替代人工,大大提高了清理效率,将工人从繁琐的体力劳动中解放了出来,减少了直拉单晶炉的维护时间。炉的维护时间。炉的维护时间。

【技术实现步骤摘要】
一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理系统


[0001]本技术涉及单晶硅生产设备领域,具体涉及一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理系统。

技术介绍

[0002]单晶硅的生产方法以直拉法和区熔法为主,世界单晶硅产量,其中70~80%是直拉法生产,20~30%是区熔和其他方法生产的。直拉法;该法的简单描述为:原料装在一个坩埚中,坩埚上方有一可旋转和升降的籽晶杆,杆的下端有一夹头,其上捆上一根籽晶。原料被加热器熔化后,将籽晶插入熔体之中,控制合适的温度,边转动提拉,即可获得所需单晶。
[0003]使用直拉法制取单晶硅需要用到直拉单晶炉,其主要构成部件有提拉头、副室、炉盖、炉筒、下炉筒、底座机架、坩埚下传动装置、分水器以及水路布置、氩气管道布置、真空泵以及真空除尘装置和电源以及电控柜。
[0004]直拉法生产单晶硅相比于其他方法,具有可以方便地观察晶体生长过程;自由表面处生长,而与坩埚接触,可以减少热应力;可以方便地使用定向籽品和籽晶细颈,以减小晶体重点缺陷,得到所需取向的晶体等优点。
[0005]但是在应用直拉法制取单晶硅的生产过程中,化料坩埚熔料时会挥发出硅气及里面的微量杂质,这部分挥发会沾附到生产设备上,为保证单晶硅的纯度,拉晶车间每隔二十天左右便要停工,对全部生产设备进行清理保养。
[0006]其中,生产车间中的炉筒底部开口距离地面三米左右,因此炉筒的清理及其麻烦。目前主要靠人工进行清理,工人手举长杆将拖把插入烟筒内,需要时刻仰着头,不但费事费力清理效率慢,还存在一定的安全风险。
技术内
[0007]本技术提供了一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理系统,其目的在于解决现有技术清理效率慢费时费力的问题。
[0008]为实现上述目的,本技术的技术方案为:
[0009]本技术提供了一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理系统,包括清理爬行器和可移动升降平台,所述可移动升降平台包括下表面设置有万向轮的底座,所述底座上表面设置有升降液压站、储气罐和升降立柱,所述升降立柱上设置有与电源连接的接线盒、与所述接线盒连接的控制终端以及液压升降结构,所述控制终端通过升降液压站控制所述液压升降结构升降。所述液压升降结构上设置有控制箱,所述控制箱底部设置有与所述控制终端相连的爬行器控制终端,所述控制箱顶部设置有爬行器托架;所述清理爬行器放置在所述爬行器托架上,所述清理爬行器与所述爬行器控制终端相连,所述清理爬行器可在所述液压升降结构的推动下上下移动。
[0010]进一步,所述底座的左右两侧分别设置有两个支腿结构,所述支腿结构包括设置
在所述底座一侧的套管和支腿;所述套管设置有内丝螺纹,所述支腿包括设置有外丝螺纹的支腿本体,所述支腿本体旋入所述套管。所述支腿本体的底端设置有圆形垫板,所述支腿本体的顶端设置有旋转辅助机构。
[0011]进一步,所述旋转辅助机构包括便携手柄,所述便携手柄通过销轴与所述支腿本体顶部转动连接。
[0012]进一步,所述升降液压站设置有应急下降按钮。
[0013]进一步,所述控制箱包括底部箱体和设置在所述底部箱体上的框架,所述框架由若干钢管焊接而成。
[0014]进一步,所述控制终端上设置有监控显示屏和若干控制按钮。
[0015]进一步,所述爬行器托架上表面设置有若干摄像头。
[0016]进一步,述清理爬行器包括圆筒框架、至少两个举升气缸、至少两个底部涨紧气缸、至少两个顶部涨紧气缸、举升平台、毛刷安装平台板和清洗圆盘。
[0017]进一步,所述圆筒框架包括环形顶板、环形底板和设置在所述环形顶板与所述环形底板之间的至少两个弧形立板,所述弧形立板均分圆周设置,所述弧形立板的数量与所述举升气缸的数量相同。
[0018]进一步,所述圆筒框架中部设置有抽吸口,所述抽吸口与吸尘器或车间吸尘管道相连。
[0019]本技术所达到的有益效果为:
[0020]本技术使用机械替代人工,大大提高了清理效率,将工人从繁琐的体力劳动中解放了出来,减少了直拉单晶炉的维护时间。
附图说明
[0021]图1是本技术的可移动升降平台侧视图。
[0022]图2是本技术的爬行器托架俯视图。
[0023]图3是本使用新型的圆筒框架侧视图。
[0024]图4是本使用新型的环形顶板俯视图。
[0025]图5是本使用新型的清理爬行器主体结构侧视图(去除弧形立板及清洗圆盘相应结构)。
[0026]图6是图5中A

A剖视图。
[0027]图7是图5中B

B剖视图。
[0028]图8是本使用新型的清洗圆盘处局部放大图。
[0029]图9是图8中C向视图(去除清洗圆盘)。
[0030]图中,1、圆筒框架;101、环形顶板;102、环形底板;103、弧形立板;104、下行程开关;11、举升平台;111、立柱;12、毛刷安装平台板;121、上行程开关;13、举升气缸;14、底部涨紧气缸;15、顶部涨紧气缸;16、弧形支撑座;161、摩擦固定块;17、电机;171、主动齿轮;18、清洗圆盘;19、旋转支撑结构;191、环形齿轮;192、支撑轴承;2、底座;201、万向轮;21、升降液压站;211、应急下降手柄;22、支腿结构;23、储气罐;24、升降立柱;25、液压升降结构;26、控制箱;261、爬行器控制终端;27、爬行器托架;271、摄像头;28、控制终端;281、监控显示屏;29、接线盒。
具体实施方式
[0031]为便于本领域的技术人员理解本技术,下面结合附图说明本技术的具体实施方式。
[0032]本技术提供了一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理系统,包括清理爬行器和可移动升降平台,所述清理爬行器放置在所述可移动升降平台的顶部,所述清理爬行器用于爬进所述炉筒并对炉筒内进行清理;所述可移动升降平台用于移动、抬升所述清理爬行器,并对所述清理爬行器的运转提供支持。
[0033]如图1~2所示,所述可移动升降平台包括底座2,所述底座2下表面的四个端角附近分别设置有带有刹车结构的万向轮201。所述底座2上表面设置有升降液压站21、储气罐23和升降立柱24,所述升降立柱24上设置有与电源连接的接线盒29、与所述接线盒29连接的控制终端28以及液压升降结构25,所述控制终端28通过升降液压站21控制所述液压升降结构25升降;所述液压升降结构25上设置有控制箱26,所述控制箱26底部设置有与所述控制终端28相连的爬行器控制终端261,所述控制箱26顶部设置有爬行器托架27,所述控制箱26可在所述液压升降结构25的推动下上下移动,举升高度不低于3.5米(地面到内室下法兰面)。
[0034]此外,整套装置在设计之初便要考虑重心的问题,通过合理布局,使重心位于中心线,以防止倾倒。具体来说,所述升降液压站21、升降立柱24及液压升降结构25分别设置在所述底座2的前后端,所述储气本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理系统,其特征在于:包括清理爬行器和可移动升降平台,所述可移动升降平台包括下表面设置有万向轮(201)的底座(2),所述底座(2)上表面设置有升降液压站(21)、储气罐(23)和升降立柱(24),所述升降立柱(24)上设置有与电源连接的接线盒(29)、与所述接线盒(29)连接的控制终端(28)以及液压升降结构(25),所述控制终端(28)通过升降液压站(21)控制所述液压升降结构(25)升降;所述液压升降结构(25)上设置有控制箱(26),所述控制箱(26)底部设置有与所述控制终端(28)相连的爬行器控制终端(261),所述控制箱(26)顶部设置有爬行器托架(27);所述清理爬行器放置在所述爬行器托架(27)上,所述清理爬行器与所述爬行器控制终端(261)相连,所述清理爬行器可在所述液压升降结构(25)的推动下上下移动。2.根据权利要求1所述的一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理系统,其特征在于:所述底座(2)的左右两侧分别设置有两个支腿结构(22),所述支腿结构(22)包括设置在所述底座(2)一侧的套管和支腿;所述套管设置有内丝螺纹,所述支腿包括设置有外丝螺纹的支腿本体,所述支腿本体旋入所述套管;所述支腿本体的底端设置有圆形垫板,所述支腿本体的顶端设置有旋转辅助机构。3.根据权利要求2所述的一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理系统,其特征在于:所述旋转辅助机构包括便携手柄,所述便携手柄通过销轴与所述支腿本体顶部转动连接。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:张新波付建宇张佳伟贺宇陈锡鹏
申请(专利权)人:山东益立申节能技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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