一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理爬行器制造技术

技术编号:37680077 阅读:24 留言:0更新日期:2023-05-28 09:33
本实用新型专利技术涉及单晶硅生产设备领域,具体涉及一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理爬行器。包括圆筒框架、至少两个举升气缸、至少两个底部涨紧气缸、至少两个顶部涨紧气缸、举升平台、毛刷安装平台板、清洗圆盘、用于提供高压气源的储气瓶和控制清理爬行器整套设备运转的爬行器控制终端;本实用新型专利技术使用机械替代人工,大大提高了清理效率,将工人从繁琐的体力劳动中解放了出来,减少了直拉单晶炉的维护时间。间。间。

【技术实现步骤摘要】
一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理爬行器


[0001]本技术涉及单晶硅生产设备领域,具体涉及一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理爬行器。

技术介绍

[0002]单晶硅的生产方法以直拉法和区熔法为主,世界单晶硅产量,其中70~ 80%是直拉法生产,20~30%是区熔和其他方法生产的。直拉法;该法的简单描述为:原料装在一个坩埚中,坩埚上方有一可旋转和升降的籽晶杆,杆的下端有一夹头,其上捆上一根籽晶。原料被加热器熔化后,将籽晶插入熔体之中,控制合适的温度,边转动提拉,即可获得所需单晶。
[0003]使用直拉法制取单晶硅需要用到直拉单晶炉,其主要构成部件有提拉头、副室、炉盖、炉筒、下炉筒、底座机架、坩埚下传动装置、分水器以及水路布置、氩气管道布置、真空泵以及真空除尘装置和电源以及电控柜。
[0004]直拉法生产单晶硅相比于其他方法,具有可以方便地观察晶体生长过程;自由表面处生长,而与坩埚接触,可以减少热应力;可以方便地使用定向籽品和籽晶细颈,以减小晶体重点缺陷,得到所需取向的晶体等优点。
[0005]但是在应用直拉法制取单晶硅的生产过程中,化料坩埚熔料时会挥发出硅气及里面的微量杂质,这部分挥发会沾附到生产设备上,为保证单晶硅的纯度,拉晶车间每隔二十天左右便要停工,对全部生产设备进行清理保养。
[0006]其中,生产车间中的炉筒底部开口距离地面三米左右,因此炉筒的清理及其麻烦。目前主要靠人工进行清理,工人手举长杆将拖把插入烟筒内,需要时刻仰着头,不但费事费力清理效率慢,还存在一定的安全风险。

技术实现思路

[0007]本技术提供了一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理爬行器,其目的在于解决现有技术清理效率慢费时费力的问题。
[0008]为实现上述目的,本技术的技术方案为:
[0009]本技术提供了一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理爬行器,包括圆筒框架、至少两个举升气缸、至少两个底部涨紧气缸、至少两个顶部涨紧气缸、举升平台、毛刷安装平台板、清洗圆盘、用于提供高压气源的储气瓶和控制清理爬行器整套设备运转的爬行器控制终端。
[0010]所述举升气缸设置在所述圆筒框架内且其活塞杆从顶部伸出,所述举升平台设置在所述举升气缸的活塞杆端部,所述举升平台可在所述举升气缸的推动下上下移动;所述底部涨紧气缸设置在所述圆筒框架的底部,所述顶部涨紧气缸设置在所述举升平台的上表面。所述底部涨紧气缸的活塞杆端部及所述顶部涨紧气缸的活塞杆端部均与弧形支撑座连接,所述弧形支撑座外表面均匀设置有若干摩擦固定块;所述圆筒框架中部设置有抽吸口。
[0011]所述毛刷安装平台板设置在所述举升平台上表面,所述毛刷安装平台板为环形板,所述毛刷安装平台板边缘设置有电机安装孔;所述毛刷安装平台板下表面设置有电机,所述电机的输出轴穿过所述电机安装孔,所述电机的输出轴端部设置有主动齿轮,所述清洗圆盘通过旋转支撑结构可转动的设置在所述毛刷安装平台板上表面,所述清洗圆盘设置有清洗毡圈,所述清洗圆盘在所述电机的驱动下转动。
[0012]进一步,所述圆筒框架包括环形顶板、环形底板和设置在所述环形顶板与所述环形底板之间的至少两个弧形立板,所述弧形立板均分圆周设置,所述弧形立板的数量与所述举升气缸的数量相同。
[0013]进一步,所述抽吸口与吸尘器或车间吸尘管道相连。
[0014]进一步,所述毛刷安装平台板通过至少三个立柱设置在所述举升平台上表面。
[0015]进一步,所述旋转支撑结构包括环形齿轮和至少三个支撑轴承。
[0016]进一步,所述环形齿轮与所述主动齿轮啮合,所述环形齿轮内环设置有环形限位凹槽,所述支撑轴承的外圈嵌入所述环形限位凹槽并可自由滑动。
[0017]进一步,所述环形底板下表面设置有下行程开关,所述毛刷安装平台板上表面设置有上行程开关。
[0018]进一步,所述爬行器控制终端包括控制芯片,以及与所述控制芯片相连的若干继电器、若干电磁阀和若干控制按钮。
[0019]本技术所达到的有益效果为:
[0020]本技术使用机械替代人工,大大提高了清理效率,将工人从繁琐的体力劳动中解放了出来,减少了直拉单晶炉的维护时间。
附图说明
[0021]图1是本使用新型的圆筒框架侧视图。
[0022]图2是本使用新型的环形顶板俯视图。
[0023]图3是本使用新型的清理爬行器主体结构侧视图(去除弧形立板及清洗圆盘相应结构)。
[0024]图4是图3中A

A剖视图。
[0025]图5是图3中B

B剖视图。
[0026]图6是本使用新型的清洗圆盘处局部放大图。
[0027]图7是图6中C向视图(去除清洗圆盘)。
[0028]图中,1、圆筒框架;101、环形顶板;102、环形底板;103、弧形立板; 104、下行程开关;11、举升平台;111、立柱;12、毛刷安装平台板;121、上行程开关;13、举升气缸;14、底部涨紧气缸;15、顶部涨紧气缸;16、弧形支撑座;161、摩擦固定块;17、电机;171、主动齿轮;18、清洗圆盘;19、旋转支撑结构;191、环形齿轮;192、支撑轴承。
具体实施方式
[0029]为便于本领域的技术人员理解本技术,下面结合附图说明本技术的具体实施方式。
[0030]本技术提供了一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理爬行器,所述清理爬行器
用于爬进所述炉筒并对炉筒内进行清理。
[0031]如图1~7所示,所述清理爬行器包括圆筒框架1、至少两个举升气缸13、至少两个底部涨紧气缸14、至少两个顶部涨紧气缸15、举升平台11、毛刷安装平台板12、清洗圆盘18、储气瓶和爬行器控制终端。
[0032]所述圆筒框架1包括环形顶板101、环形底板102和设置在所述环形顶板101与所述环形底板102之间的至少两个弧形立板103,所述弧形立板103均分圆周设置,所述弧形立板103的数量与所述举升气缸13的数量相同。所述举升气缸13设置在所述环形顶板101与所述环形底板102之间且其活塞杆通过所述环形顶板101上的通孔伸出,所述举升气缸13紧贴所述弧形立板103,所述举升平台11设置在所述举升气缸13的活塞杆端部,所述举升平台11可在所述举升气缸13的推动下上下移动。
[0033]进一步,所述圆筒框架1中部设置有抽吸口,所述抽吸口与吸尘器或车间吸尘管道相连,用于收集所述清洗圆盘18清理掉的灰尘。
[0034]所述底部涨紧气缸14设置在所述环形底板102的上表面,所述底部涨紧气缸14设置在相邻两个所述弧形立板103之间。所述顶部涨紧气缸15设置在所述举升平台11的上表面,所述顶部涨紧气缸15与所述底部涨紧气缸14一一对应。所述底部涨紧气缸14的活塞杆端部及所述顶部涨紧气缸15的活塞杆端部均与弧形支撑座16连接,所述弧形支撑座16外表面均匀设置有若干摩擦固定块161。
[003本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自主巡航的圆筒内灰尘智能清理爬行器,其特征在于:包括圆筒框架(1)、至少两个举升气缸(13)、至少两个底部涨紧气缸(14)、至少两个顶部涨紧气缸(15)、举升平台(11)、毛刷安装平台板(12)、清洗圆盘(18)、用于提供高压气源的储气瓶和控制清理爬行器整套设备运转的爬行器控制终端;所述举升气缸(13)设置在所述圆筒框架(1)内且其活塞杆从顶部伸出,所述举升平台(11)设置在所述举升气缸(13)的活塞杆端部,所述举升平台(11)可在所述举升气缸(13)的推动下上下移动;所述底部涨紧气缸(14)设置在所述圆筒框架(1)的底部,所述顶部涨紧气缸(15)设置在所述举升平台(11)的上表面;所述底部涨紧气缸(14)的活塞杆端部及所述顶部涨紧气缸(15)的活塞杆端部均与弧形支撑座(16)连接,所述弧形支撑座(16)外表面均匀设置有若干摩擦固定块(161);所述圆筒框架(1)中部设置有抽吸口;所述毛刷安装平台板(12)设置在所述举升平台(11)上表面,所述毛刷安装平台板(12)为环形板,所述毛刷安装平台板(12)边缘设置有电机(17)安装孔;所述毛刷安装平台板(12)下表面设置有电机(17),所述电机(17)的输出轴穿过所述电机(17)安装孔,所述电机(17)的输出轴端部设置有主动齿轮(171),所述清洗圆盘(18)通过旋转支撑结构(19)可转动的设置在所述毛刷安装平台板(12)上表面,所述清洗圆盘(18)设置有清洗毡圈,所述清洗圆盘(18)在所述电机(17)的驱动下转动。2.根据权利要求1所述的一种自主巡航...

【专利技术属性】
技术研发人员:张新波陈锡鹏张鹏飞张佳伟张鹏伟
申请(专利权)人:山东益立申节能技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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