电感结构制造技术

一种电感结构，其于绝缘体中埋设多个组并列串联的电感线路及至少一连接两相邻电感线路的导接线路，以借由各该电感线路构成一螺旋状线圈的立体架构，提升电感值及品质因子，故本申请的电感结构无需使用现有导磁件及现有磁性粉末的混合物，即可满足所需的要求。即可满足所需的要求。即可满足所需的要求。

【技术实现步骤摘要】
电感结构


[0001]本申请有关一种电感结构，尤指一种可嵌埋于封装基板中的基板型电感(Substrate
‑
based Inductor)的多个组并列串联的线圈电感结构。

技术介绍

[0002]一般半导体应用装置，例如通讯或高频半导体装置中，常需要将电阻器、电感器、电容器及振荡器(oscillator)等多数射频(radio frequency)被动元件电性连接至所封装的半导体芯片，以使该半导体芯片具有特定的电流特性或发出讯号。例如：传统电感有诸多的种类，有其各种应用(滤波、扼流、DC
‑
DC converter等，但不限于上述)及其优劣势。
[0003]以常用于具有射频模块的装置中的螺旋电感元件为例，在射频模块高密度元件配置及微型化的需求下，缩小了各个元件之间的距离，同时也造成各个元件之间的容易产生电磁干扰，因此，如何避免各个元件之间的电磁干扰，且电感元件如何提供更佳的磁遮罩性、防电磁干扰的能力及电感元件本身的微型化，乃传统的电感元件所面临的问题。
[0004]另外，螺旋电感元件在高频应用时，如何提供较低的磁性损耗与涡流效应及较高的电感值，以得到较佳的Q值，进而降低电感元件能耗并提升效能，以达到良好的电性，亦为传统的电感元件另一个不断要克服的课题。
[0005]基于上述问题，业界如TWI611439专利(如图1所示)的使用磁性包覆件130提供磁遮罩及防电磁干扰能力，但于绝缘材中混合磁性粉末后其导磁率比起原磁性粉末相对地较低，致使该混合物对电感元件于提高电感值及磁遮罩及防电磁干扰能力依然有所限制。
[0006]再者，于绝缘材中混合磁性粉末，该混合物的均匀性较差，导致难以控制导磁性，且磁性粉末于载板成型后，因其材料特性不宜进行线路图案化制程，故后续无法于该介电层或该磁性包覆件上进行增层线路的制作。
[0007]另外，TWI611439专利的线圈元件100因采用射出成型、转注成型或低温共烧等方式制作，致使加工性不佳，因而仅只能进行小面积加工，无法大板面量产制作，导致电感的加工成本提高，且所制作出的线圈元件的几何精度不佳，导致电感值的精度(Tolerance)不佳。
[0008]因此，如何克服上述现有技术的问题，实已成为目前业界亟待克服的课题。

技术实现思路

[0009]有鉴于现有技术的问题，本申请提供一种电感结构，无需使用现有导磁件及现有磁性粉末的混合物，即可满足所需的要求。
[0010]本申请的电感结构，包括：一绝缘体；多个电感线路，其由呈层状间隔的多个线圈堆叠而埋设于该绝缘体中，且每层至少有二个并列而彼此未电性连接的线圈，其中，各该电感线路至少一单圈螺旋状线圈，且该电感线路的一最外层的线圈彼此电性连接；多个墙状的导电体，其埋设于该绝缘体中并连接任二相邻间隔堆叠的该线圈；一第一导电柱，其埋设于该绝缘体中并电性连接该电感线路最底层的线圈，且该第一导电柱至少其中的一端面露
出于该绝缘体并连接一电性接触垫；以及一第二导电柱，其埋设于该绝缘体中并电性连接该电感线路最底层的线圈，且该第二导电柱至少其中的一端面露出于该绝缘体并连接一电性接触垫。
[0011]前述的电感结构中，该导电体的图案形状对应该电感线路的局部弧形区段。
[0012]前述的电感结构中，该导电体的图案形状对应该电感线路的全部区段。
[0013]前述的电感结构中，该多个墙状的导电体的部分层的各该导电体的图案形状对应该电感线路的全部区段，而该多个墙状的导电体的部分层的各该导电体的图案形状对应该电感线路的局部区段。
[0014]前述的电感结构中，该多个电感线路的同层的线圈的圈身图案形状呈两个半圆形。
[0015]前述的电感结构中，该第一导电柱的截面形状对应所连接的该电性接触垫的图案形状。
[0016]前述的电感结构中，该第二导电柱的截面形状对应所连接的该电性接触垫的图案形状。
[0017]前述的电感结构中，还包括嵌埋于该绝缘体中的遮蔽层，其由若干彼此间并未电性连接的导电线段组合而成，且该遮蔽层至少遮蔽该多个电感线路的其中一外侧面且未电性连接该电感线路。
[0018]由上可知，本申请的电感结构，主要借由该多个组并列且多个层电感线路串联的螺旋状线圈的设计，以提升电感值及品质因子，故相较于现有技术，本申请的电感结构无需使用现有导磁件及现有磁性粉末的混合物，即可满足所需的要求，因而得以克服现有技术的种种缺失。
附图说明
[0019]图1为现有电感结构的剖面示意图。
[0020]图2为本申请的电感结构的剖面示意图。
[0021]图2
‑
1为图2的另一实施例的剖面示意图。
[0022]图2A为本申请的电感结构的另一实施例的剖面示意图。
[0023]图2A
‑
1为图2A的另一实施例的剖面示意图。
[0024]图2B为本申请的电感结构的另一实施例的剖面示意图。
[0025]图2B
‑
1为图2B的另一实施例的剖面示意图。
[0026]图3A为图2
‑
1的绝缘体的其中一侧的上视平面示意图。
[0027]图3B、图3C及图3D为图2的各层线圈的上视平面示意图。
[0028]图3E为图2的绝缘体的另一侧的下视平面示意图。
[0029]图3F为图2的电感结构的另一侧的下视平面示意图。
[0030]图3F
‑
1至图3F
‑
4为图3A的其它实施例的上视平面示意图。
[0031]其中，附图标记说明如下：
[0032]100：线圈元件
[0033]130：磁性包覆件
[0034]3：电感结构
[0035]3a：电感本体
[0036]20：绝缘体
[0037]20a：第一侧
[0038]20b：第二侧
[0039]22a、22b、32a、32b、32c、32d：电感线路
[0040]220,221、222、223：线圈
[0041]221a、222a、223a：线圈组
[0042]23,33a、33b,43：导电体
[0043]24a：第一导电柱
[0044]24b：第二导电柱
[0045]25a：第一电性接触垫
[0046]25b：第二电性接触垫
[0047]26：表面处理层
[0048]27b：绝缘保护层
[0049]300：开口区
[0050]31a、31b：遮蔽层
[0051]310：线段
[0052]32c：导接线路
[0053]320：起始点
[0054]321：第一中继点
[0055]322：第二中继点
[0056]323：第三中继点
[0057]324：第四中继点
[0058]325：停止点
[0059]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电感结构，其特征在于，包括：一绝缘体；多个电感线路，其由呈层状间隔的多个线圈堆叠而埋设于该绝缘体中，且每层至少有二个并列而彼此未电性连接的线圈，其中，各该电感线路至少一单圈螺旋状线圈，且该电感线路的最外层的线圈彼此电性连接；多个墙状的导电体，其埋设于该绝缘体中并连接任二相邻间隔堆叠的该线圈；一第一导电柱，其埋设于该绝缘体中并电性连接该电感线路最底层的线圈，且该第一导电柱至少其中的一端面露出于该绝缘体并连接一电性接触垫；以及一第二导电柱，其埋设于该绝缘体中并电性连接该电感线路最底层的线圈，且该第二导电柱至少其中的一端面露出于该绝缘体并连接一电性接触垫。2.如权利要求1所述的电感结构，其特征在于，该导电体的图案形状对应该电感线路的局部弧形区段。3.如权利要求1所述的电感结构，其特征在于，该导电体的图案形状对应该电感...

【专利技术属性】
技术研发人员：许诗滨，周保宏，
申请(专利权)人：恒劲科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：