一种线性真空干燥设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种线性真空干燥设备，涉及干燥设备技术领域，包括依次连通的上料区域、干燥区域和下料区域，以及用于控制上料区域、干燥区域和下料区域真空状态的真空调控系统，干燥区域包括依次相连通的前缓冲腔、干燥腔和后缓冲腔，干燥腔的腔内设置有气体喷淋系统，干燥腔腔内的底部设置有加热系统，气体喷淋系统包括呈间隔排列且相互交替重复设置的喷气区和抽气区。本实用新型专利技术具备了通过均匀间隔补气抽气的方式，结合玻璃的动态传动，使玻璃表面各处都均匀分布新鲜气体而形成较好的气体交换，达到较好的干燥效果，并且动态传动的方式也有利于线性传输的大型量产设备产能设计。设计。设计。

【技术实现步骤摘要】
一种线性真空干燥设备


[0001]本技术涉及干燥设备
，具体为一种线性真空干燥设备。

技术介绍

[0002]太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源.也是清洁能源，不产生任何的环境污染。在太阳能的有效利用当中；太阳能光电利用是近些年来发展最快，最具活力的研究领域，是其中最受瞩目的项目之一。为此，人们研制和开发了太阳能电池。近年来PERC太阳能电池进入发展的瓶颈期，HIT电池、Topcon结构以及钙钛矿叠层太阳能电池等由于效率高，作为研究热点的新型技术，近年来效率提升非常快，已大步走向量产化。
[0003]太阳能电池常是在镀有透明导电薄膜的玻璃上制备，其中绝大部分有机层常采用涂布的方式进行，涂布的有机溶胶常为液体的配方溶液，涂布完成后需经过干燥挥发掉多余的有机溶液，挥发过程要求非常均匀，常规的设计通常有以下几种：一，上方喷淋板均匀补气，底部四周抽气；二，单边补气对侧抽气形成对流。但以上两种方式存在以下一些问题，方案一的方式四周使气体趋向于向玻璃四周边缘流动，导致喷淋板中心区域气体更稀薄，从而导致膜层挥发不均匀；方案二的方式由于玻璃表面有机溶液挥发过程中会存在于进气气体发生交换，而一边进气对侧抽气的设计使得进气侧气体较新鲜，对侧气体交换受影响。如此常用的补气抽气的方案不是很理想。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种线性真空干燥设备，具备了通过均匀间隔补气抽气的方式，结合玻璃的动态传动，使玻璃表面各处都均匀分布新鲜气体而形成较好的气体交换，达到较好的干燥效果，并且动态传动的方式也有利于线性传输的大型量产设备产能设计，解决了上述
技术介绍
中所提出的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种线性真空干燥设备，包括依次连通的上料区域、干燥区域和下料区域，以及用于控制所述上料区域、所述干燥区域和所述下料区域真空状态的真空调控系统；
[0006]所述干燥区域包括依次相连通的前缓冲腔、干燥腔和后缓冲腔，所述干燥腔的腔内设置有气体喷淋系统，所述干燥腔腔内的底部设置有加热系统；
[0007]所述气体喷淋系统包括呈间隔排列且相互交替重复设置的喷气区和抽气区。
[0008]可选的，所述喷气区和抽气区均包括数个气口，所述抽气区相对于所述喷气区呈凹槽设置，所述气口的直径为0.5mm～5mm，所述凹槽的宽度为0.5mm～5mm，所述凹槽的长度为1mm～1000mm。
[0009]可选的，所述喷气区的有效喷气区域长度大于待干燥基板垂直于传输方向上的宽度，具体为大于1cm～10cm。
[0010]可选的，所述气体喷淋系统固定于待干燥基板传动至所述干燥腔后需干燥面的平行面，所述气体喷淋系统的底面与待干燥基板上表面两平行面的距离为2mm～200mm。
[0011]可选的，所述气体喷淋系统所喷出的气体包括氮气、氢气、干燥空气、氧气、甲氨、氨气等其中的一种或几种混合气体。
[0012]可选的，所述上料区域包括上料平台和上料腔，所述下料区域包括下料腔和下料平台，所述上料平台、所述上料腔、所述前缓冲腔、所述干燥腔、所述后缓冲腔、所述下料腔和所述下料平台依次相连通，所述上料平台和所述上料腔之间、所述上料腔和所述前缓冲腔之间、所述后缓冲腔和所述下料腔之间，以及所述下料腔和所述下料平台之间均设置有门阀。
[0013]可选的，所述真空调控系统包括真空泵，所述真空泵通过电磁阀一和电磁阀二，以及三通管分别与所述上料腔和所述下料腔相连通。
[0014]可选的，还包括充气泵和抽气泵，所述充气泵与所述喷气区相连通，以通过控制所述充气泵对所述喷气区的喷气流量进行调整，并且整台设备的进气流量为0.2slm～200slm，所述抽气泵与所述抽气区相连通。
[0015]可选的，所述干燥腔的数量至少为一个。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0017]一、本技术为线性传输，上料腔与下料腔都有两个门阀隔开，使得干燥腔可以一直保持真空状态，如此基板则可以实现动态线性传输干燥处理，这样实现了基板干燥的量产处理，产能非常高。
[0018]二、本技术喷气区与抽气区呈间隔排列，并且相邻的喷气区与抽气区形成一个小的气流循环空间，该空间内的气体始终通过喷气区的补充而保持新鲜，而且由多气口均匀分布的方式，保证了垂直传输方向上气体的均匀性，如此保障了该区域类干燥效果的均匀性。
[0019]三、本技术通过喷气区和抽气区重复设置，基板动态向前传输时，基板即可经过多个喷气区和抽气区的循环单元后逐步均匀干燥，对于基板上传输方向上的每一个点都经过了相同数量的循环单元，这样就保证了基板传输方向上干燥效果的均匀。
[0020]四、本技术中真空调控系统，加热系统和气体喷淋系统的高度均可进行调节，以及喷气的气流量调控，如此，设备具有极高的兼容性与工艺稳定性。
附图说明
[0021]图1为本技术结构的示意图；
[0022]图2为本技术气体喷淋系统结构俯视图；
[0023]图3为本技术气体喷淋系统结构仰视图。
[0024]图中：1
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上料平台、2
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上料腔、3
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前缓冲腔、4
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干燥腔、6
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后缓冲腔、7
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下料腔、8
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下料平台、9
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门阀、10
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真空泵、11
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气体喷淋系统、12
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加热系统、13
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三通管、14
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电磁阀一、16
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电磁阀二、17
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喷气区、18
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抽气区。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例一：
[0027]请参阅图1至图3，本技术提供一种技术方案：一种线性真空干燥设备，包括依次连通的上料区域、干燥区域和下料区域，以及用于控制上料区域、干燥区域和下料区域真空状态的真空调控系统。
[0028]干燥区域包括依次相连通的前缓冲腔3、干燥腔4和后缓冲腔6，干燥腔4的腔内设置有气体喷淋系统11，干燥腔4腔内的底部设置有加热系统12，气体喷淋系统11包括呈间隔排列且相互交替重复设置的喷气区17和抽气区18，喷气区17和抽气区18间隔5cm。
[0029]本技术中的真空调控系统，加热系统12和气体喷淋系统11的高度均可采用现有通用技术手段，如借助电动推杆，实现其高度调节，以及喷气的气流量调控，如此，设备具有极高的兼容性与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线性真空干燥设备，其特征在于，包括依次连通的上料区域、干燥区域和下料区域，以及用于控制所述上料区域、所述干燥区域和所述下料区域真空状态的真空调控系统；所述干燥区域包括依次相连通的前缓冲腔(3)、干燥腔(4)和后缓冲腔(6)，所述干燥腔(4)的腔内设置有气体喷淋系统(11)，所述干燥腔(4)腔内的底部设置有加热系统(12)；所述气体喷淋系统(11)包括呈间隔排列且相互交替重复设置的喷气区(17)和抽气区(18)。2.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备，其特征在于：所述喷气区(17)和抽气区(18)均包括数个气口，所述抽气区(18)相对于所述喷气区(17)呈凹槽设置，所述气口的直径为0.5mm～5mm，所述凹槽的宽度为0.5mm～5mm，所述凹槽的长度为1mm～1000mm。3.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备，其特征在于：所述喷气区(17)的有效喷气区域长度大于待干燥基板垂直于传输方向上的宽度，具体为大于1cm～10cm。4.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备，其特征在于：所述气体喷淋系统(11)固定于待干燥基板传动至所述干燥腔(4)后需干燥面的平行面，所述气体喷淋系统(11)的底面与待干燥基板上表面两平行面的距离为2mm～200mm。5.根据权利要求1所述的线性真空干燥设备，其特征在于：所述气体喷淋系统(11)所喷出的气体包括氮气、氢气、干燥空气、氧...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨星，李长江，李伟，周文彬，李世磊，
申请(专利权)人：昆山晟成光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：