一种真空镀膜设备的工件固位工装制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜设备的工件固位工装。该工件固位工装包括基座和工件固位插层，安装待镀膜工件的工件固位插层安装在基座上，即可进行真空镀膜。该工件固定工装结构简单、操作方便，能够在将待镀膜工件安装在工件固位插层上，整体安装在基座上，提高效率。基座上沿上下方向设置多层限位滑槽，能够根据待镀膜工件的尺寸调整工件固位插层的安放位置，适用于不同结构尺寸的工件。通过固位孔安放待镀膜工件，适用于常规工件也适用于需要导通的工件，且表面能够充分暴露，镀膜效果好。镀膜效果好。镀膜效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备的工件固位工装


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种真空镀膜设备的工件固位工装。

技术介绍

[0002]真空镀膜，如物理气相沉积、化学气相沉积以及等离子体注入和镀膜技术等，已逐渐成为工业生产中常见的工件表面处理方法。
[0003]目前，在镀膜时，设备中待镀膜的工件一般采用挂装或者样品台放置的方式。但挂装对于需要导通的工件处理常存在连接不稳定，处理效果不均匀的问题。而且，对于中小型零件的大批量挂装，也有挂装效率低，操作不简便等问题。样品台直接放置对于无挂装孔或装置的工件较适宜，但其表面未充分暴露，需要多次调整以变换位置增加暴露面积，但也易导致表面膜层厚度不均匀等产品缺陷问题；或加工工件处理过程中无法稳定固定，在预设表面难以获得理想表面膜层。

技术实现思路

[0004](一)要解决的技术问题
[0005]本技术的目的是提供一种真空镀膜设备的工件固位工装，解决
技术介绍
中的至少一个技术问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为了实现上述目的，本技术提供了一种真空镀膜设备的工件固位工装，包括基座和多个工件固位插层；
[0008]基座包括底框和两个支架，两个支架设置在底框的上侧且间隔相对设置，两个支架相对的一侧沿上下方向间隔均设有多层限位滑槽；
[0009]工件固位插层具有多个间隔设置的固位孔，固位孔贯穿工件固位插层；
[0010]每个工件固位插层一相对的两侧分别插入两个支架的一限位滑槽内固定，多个工件固位插层在上下方向上间隔设置，且间隔距离不小于待镀膜工件在上下方向上的尺寸。
[0011]可选地，在每个工件固位插层上，固位孔在限位滑槽的滑动方向上呈多排间隔设置，每排固位孔具有多个固位孔，且每排固位孔中的多个固位孔在两个支架的间隔方向上间隔分布；
[0012]在每个工件固定插定上还设有多个长孔，每个长孔的长度方向与每排固位孔的布置方向相同，在限位滑槽的滑动方向上多个长孔与多排固位孔交替设置。
[0013]可选地，工件固位插层的数量为两个，位于下层的工件固位插层的每排固位孔与位于上层的工件固位插层的一个长孔相对设置。
[0014]可选地，工件固位插层为网板结构，固位孔设置在网板结构的网格孔之间。
[0015]可选地，工件固位插层的数量为两个，位于下层的工件固位插层的每个固位孔与位于上层的工件固位插层的一个网格孔相对。
[0016]可选地，固位孔为螺纹孔或者光孔。
[0017]可选地，工件固位插层为网板结构，网板结构的网格孔作为固位孔。
[0018]本技术还提供了另一种真空镀膜设备的工件固位工装，包括基座和一个工件固位插层；
[0019]基座包括底框和两个支架，两个支架设置在底框的一上侧且间隔相对设置，两个支架相对的一侧均沿上下方向间隔设有多层限位滑槽；
[0020]工件固位插层具有多个间隔设置的固位孔，固位孔贯穿工件固位插层；
[0021]工件固位插层一相对的两侧分别插入两个支架的一限位滑槽内固定。
[0022]可选地，在工件固位插层上，固位孔呈多排间隔设置，每排固位孔具有多个固位孔，在每个工件固定插定上还设有多个长孔，每个长孔的长度方向与每排固位孔的布置方向相同，在限位滑槽的滑动方向上多个长孔与多排固位孔交替设置。
[0023]可选地，工件固位插层为网板结构，固位孔设置在网板结构的网格孔之间。
[0024]可选地，工件固位插层为网板结构，网板结构的网格孔作为固位孔。
[0025](三)有益效果
[0026]本技术的上述技术方案具有如下优点：本技术提供的工件固位工装，包括基座和工件固位插层，安装待镀膜工件的工件固位插层安装在基座上，即可进行真空镀膜。该工件固定工装结构简单、操作方便，能够在将待镀膜工件安装在工件固位插层上，整体安装在基座上，提高效率。基座上沿上下方向设置多层限位滑槽，能够根据待镀膜工件的尺寸调整工件固位插层的安放位置，适用于不同结构尺寸的工件。通过固位孔安放待镀膜工件，适用于常规工件也适用于需要导通的工件，且表面能够充分暴露，镀膜效果好。
附图说明
[0027]本技术附图仅为说明目的提供，图中各部件的比例与数量不一定与实际产品一致。
[0028]图1是本技术实施例一中一种工件固位工装的结构示意图；
[0029]图2是图1中工件固位工装的俯视结构示意图；
[0030]图3是图2中工件固位工装的仰视结构示意图；
[0031]图4是本技术实施例一中一种基座的结构示意图；
[0032]图5是本技术实施例一中一种工件固位插层的结构示意图；
[0033]图6是本技术实施例一中另一种工件固位插层的结构示意图；
[0034]图7是本技术实施例一中又一种工件固位插层的结构示意图；
[0035]图8是本技术实施例一中再一种工件固位插层的结构示意图；
[0036]图9是本技术实施例二中一种工件固位工装的结构示意图。
[0037]图中：
[0038]1：基座；
[0039]11：底框；
[0040]12：支架；
[0041]121：限位滑槽；
[0042]2：工件固位插层；
[0043]21：固位孔；
[0044]22：长孔。
具体实施方式
[0045]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0046]实施例一
[0047]参见图1～图3所示，本技术实施例提供的真空镀膜设备的工件固位工装，包括基座1和两个工件固位插层2。
[0048]参见图1、图3和图4所示，基座1包括底框11和两个支架12，两个支架12设置在底框11的上侧，且两个支架12间隔相对设置，两个支架12相对的一侧沿上下方向间隔均设有多层限位滑槽121。每个限位滑槽121可以是分段式(如图中所示)也可以是整段式。
[0049]工件固位插层2上具有多个间隔设置的固位孔21，固位孔21贯穿工件固位插层2，方便上下两侧同时布置待镀膜工件。
[0050]每个工件固位插层2一相对的两侧分别插入两个支架12的一限位滑槽121内固定。两个工件固位插层2在上下方向上间隔设置，且间隔距离不小于待镀膜工件在上下方向上的尺寸，以方便固定更多的待镀膜工件，例如，可以在每个工件固位插层2上下两侧均安装待镀膜工件，相邻的两个固位孔21安装的待镀膜工件交替设置在上下两侧，在实现布置更多待镀膜工件的同时，还能够尽可能的保证镀膜效果。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备的工件固位工装，其特征在于，包括基座和多个工件固位插层；所述基座包括底框和两个支架，两个所述支架设置在所述底框的上侧且间隔相对设置，两个所述支架相对的一侧沿上下方向间隔均设有多层限位滑槽；所述工件固位插层具有多个间隔设置的固位孔，所述固位孔贯穿所述工件固位插层；每个所述工件固位插层一相对的两侧分别插入两个所述支架的一限位滑槽内固定，多个所述工件固位插层在上下方向上间隔设置，且间隔距离不小于待镀膜工件在上下方向上的尺寸。2.根据权利要求1所述的工件固位工装，其特征在于：在每个所述工件固位插层上，所述固位孔在所述限位滑槽的滑动方向上呈多排间隔设置，每排所述固位孔具有多个所述固位孔，且每排所述固位孔中的多个所述固位孔在两个所述支架的间隔方向上间隔分布；在每个所述工件固定插定上还设有多个长孔，每个所述长孔的长度方向与每排所述固位孔的布置方向相同，在所述限位滑槽的滑动方向上所述多个长孔与多排所述固位孔交替设置。3.根据权利要求2所述的工件固位工装，其特征在于：所述工件固位插层的数量为两个，位于下层的所述工件固位插层的每排所述固位孔与位于上层的所述工件固位插层的一个所述长孔相对设置。4.根据权利要求1所述的工件固位工装，其特征在于：所述工件固位插层为网板结构，所述固位孔设置在所述网板结构的网格孔之间。5.根据权利要求4所述的工件固位工装，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宣勇，蔡丁森，张宪明，钱仕，
申请(专利权)人：慈溪生物材料表面工程中心，
类型：新型
国别省市：