【技术实现步骤摘要】
一种MEMS检测传感器及检测方法
[0001]本专利技术涉及生物分子检测用传感器
,具体为一种具有检测功能的MEMS传感器及检测方法,能够在传感器敏感单元表面组装分子层膜用来特异性结合被检测物质,并将二者特异性结合前后的信号变化转化为电信号输出,实现检测功能的新型传感器及检测方法。
技术介绍
[0002]分子检测是指应用分子生物学方法检测患者体内遗传物质的结构或表达水平的变化而做出诊断的技术。分子检测是预测诊断的主要方法,既可以进行个体遗传病的诊断,也可以进行产前诊断。分子诊断主要是指编码与疾病相关的各种结构蛋白、酶、抗原抗体、免疫活性分子基因的检测。
[0003]目前传统的分子检测常用的检测方法包括有PCR、ELISA、电镜技术、基因芯片等种类。PCR又称聚合链反应,是一种在体外快速扩增基因片断的方法,可在短短几小时的时间内将少量的基因组DNA或RNA样品中特定基因片断扩增上百万倍,较高的特异性、精确度。ELISA又称为酶联免疫吸附油定,是指将可溶性的抗原或抗体结合到聚苯乙烯等固相载体上,利用抗原抗体特异性结 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种MEMS检测传感器,其特征在于:包括传感器单元(1)以及压电模块(2),所述压电模块(2)设置在所述传感器单元(1)的一侧;所述传感器单元(1)包括有上导电板(6)、下导电板(7)以及支撑结构,所述传感器单元(1)的上导电板(6)在所述支撑结构的支撑下处于悬空状态,所述上导电板(6)表面设置有用于特异性结合的适配体分子层膜(10),所述适配体分子层膜(10)与待检测物质发生特异性结合后,所述上导电板(6)与所述下导电板(7)的相对面积和/或相对距离发生变化。2.根据权利要求1所述的一种MEMS检测传感器,其特征在于:所述传感器单元(1)设置在基板(5)上方,并呈阵列结构排布,传感器单元(1)包括检测单元(3)以及参比单元(4),检测单元(3)以及参比单元(4)在所述基板(5)上彼此相邻排布。3.根据权利要求2所述的一种MEMS检测传感器,其特征在于:所述支撑结构包括相互连接的支柱结构(8)以及蛇形梁结构(9),其中:所述蛇形梁结构(9)的两端分别连接上导电板(6)和所述支柱结构(8),所述下导电板(7)设置在所述基板(5)表面,所述支柱结构(8)设置在所述下导电板(7)的外边缘处,所述上导电板(6)两侧分别与所述蛇形梁结构(9)连接。4.根据权利要求1所述的一种MEMS检测传感器,其特征在于:所述压电模块(2)与交变电场连接。5....
【专利技术属性】
技术研发人员:黄立,黄晟,姬君旺,
申请(专利权)人:武汉高芯科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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