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本发明属于生物分子检测用传感器技术领域，具体为一种具有检测功能的MEMS传感器及检测方法，能够在传感器敏感单元表面组装分子层膜用来特异性结合被检测物质，并将二者特异性结合前后的信号变化转化为电信号输出实现检测，解决了传统PCR以及ELISA...
该专利属于武汉高芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉高芯科技有限公司授权不得商用。

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