【技术实现步骤摘要】
图像感测装置
[0001]各种实施方式总体上涉及包括彼此相邻设置的滤光器的图像感测装置。
技术介绍
[0002]图像感测装置是指用于通过使用光敏半导体材料的对光作出反应的性质来捕获光学图像的装置。汽车行业、医疗行业和计算机和通信行业的发展已经增加了在诸如智能电话、数码相机、游戏机、IoT(物联网)、机器人、安全性摄像头和医疗微型摄像头的各种领域中对高性能图像感测装置的需求。
[0003]图像感测装置可以大致分为CCD(电荷耦合器件)图像感测装置和CMOS(互补金属氧化物半导体)图像感测装置。CCD图像感测装置提供比CMOS图像感测装置更高的图像质量，但是具有更大的尺寸并且比CMOS图像感测装置消耗更大量的功率。CMOS图像感测装置可以被实现为比CCD图像感测装置具有更小的尺寸并且消耗更小的功率。此外，由于通过CMOS制造技术来制造CMOS图像感测装置，因此光感测元件和信号处理电路可以被集成到单个芯片中，这使得能够以低成本制造小尺寸图像感测装置。由于这些原因，针对包括移动装置在内的许多应用开发CMOS图像感测装置。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：基板，所述基板包括多个光电转换元件，所述多个光电转换元件各自生成与入射光相对应的光电荷；多个滤光器，所述多个滤光器被设置在所述基板上并且选择性地将所述入射光透射到所述多个光电转换元件；以及光学栅格结构，所述光学栅格结构被设置在彼此相邻的滤光器之间并且减少相邻光电转换元件之间的光学串扰，其中，所述光学栅格结构包括：覆盖层，所述覆盖层沿着所述光学栅格结构的边界设置并且被构造为限定具有开口区域的空间，以将所述空间暴露于所述光学栅格结构的外部，使得所述空间填充有空气作为空气层，其中，所述空气层的顶侧的第一宽度小于所述空气层的底侧的第二宽度。2.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述覆盖层包括：第一层，所述第一层沿着所述空气层的侧面设置并且相对于与所述空气层的顶表面或底表面垂直的垂直线以预定倾斜角倾斜；以及第二层，所述第二层被设置为邻接所述第一层并且沿着所述垂直线延伸。3.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中，所述光学栅格结构还包括设置在所述空气层下方的金属层。4.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述空气层具有与梯形相对应的形状。5.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述第一层被设置为邻接所述空气层，并且所述第二层被设置为邻接所述金属层。6.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述第一层和所述第二层被设置为在所述空气层和所述金属层彼此邻接的高度处邻接。7.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述空气层包括具有梯形形状的上部和具有矩形形状的下部。8.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述第一层被设置为邻接所述空气层，并且所述第二层被设置为邻接所述空气层和所述金属层。9.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述第一层和所述第二层被设置为在比所述空气层和所述金属层彼此邻...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨允熙，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。