外观检查装置具备摄像部(101)、重构图像生成部(206)以及图像比较部(207)。摄像部(101)对对象物进行摄像。重构图像生成部(206)将由摄像部(101)进行摄像所得到的图像数据作为输入图像，使用尝试再现图像数据的模型，生成对输入图像进行了重构的图像即重构图像。图像比较部(207)生成作为输入图像与重构图像的差分的差分图像。差分的差分图像。差分的差分图像。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】外观检查装置和外观检查方法
[0001]本公开涉及一种通过图像处理对检查对象的外观的异常进行检查的外观检查装置和外观检查方法。
技术介绍
[0002]在专利文献1中公开了基板外观检查装置，该基板外观检查装置使用焊料面中的部件的引线前端部的图像来对安装于基板的电子部件的浮起、倾斜等安装状态的好坏进行检查，该焊料面是与部件安装于基板的面即部件面相反侧的面，是部件焊接于基板的面。专利文献1所记载的基板外观检查装置具有与基板的焊料面相向地配设的摄像装置。另外，专利文献1所记载的基板外观检查装置具有：变量计算处理单元，基于由摄像装置进行摄像所得到的电子部件的引线的前端部的图像，计算表示前端部的状态的变量；以及好坏判定处理单元，将计算出的变量与基准值进行比较，基于比较结果判定电子部件的安装状态的好坏。
[0003]专利文献1：日本特开2003
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092500号公报
技术实现思路
[0004]专利技术要解决的问题
[0005]然而，在专利文献1所记载的基板外观检查装置中，为了防止异物附着于摄像装置的透镜，摄像装置被设置成在相对于基板的上方对下方进行摄像。因此，在对焊料面进行摄像的情况下，需要使基板翻转的机构，存在难以对已设的基板输送线引入专利文献1所记载的基板外观检查装置这样的问题。寻求一种无需这样将检查对象的对象物翻转而通过简易的结构根据对对象物进行摄像所得到的图像数据对对象物中的部件的浮起、部件的倾斜、损伤或异物等异常部位的存在进行检查的技术。
[0006]本公开是鉴于上述情况而完成的，目的在于得到能够通过与以往相比简易的结构来对检查对象的对象物的异常部位进行检查的外观检查装置。
[0007]用于解决问题的方案
[0008]为了解决上述问题并达到目的，本公开所涉及的外观检查装置具备摄像部、重构图像生成部以及图像比较部。摄像部对对象物进行摄像。重构图像生成部将由摄像部进行摄像所得到的图像数据作为输入图像，使用尝试再现图像数据的模型，生成对输入图像进行了重构的图像即重构图像。图像比较部生成作为输入图像与重构图像的差分的差分图像。
[0009]专利技术的效果
[0010]本公开所涉及的外观检查装置起到能够通过与以往相比简易的结构来对检查对象的对象物的异常部位进行检查这样的效果。
附图说明
[0011]图1是示意性地表示基于实施方式1的基板外观检查装置的结构的一例的图。
[0012]图2是表示基于实施方式1的基板外观检查装置的载置有基板的基板输送部的结构的一例的顶视图。
[0013]图3是示意性地表示基于实施方式1的基板外观检查装置的摄像时的基板输送部上的基板的位置的一例的顶视图。
[0014]图4是示意性地表示基于实施方式1的基板外观检查装置的功能结构的一例的框图。
[0015]图5是表示基于实施方式1的基板外观检查装置中的初始画面的结构的一例的图。
[0016]图6是表示基于实施方式1的基板外观检查装置中的学习画面的结构的一例的图。
[0017]图7是表示基于实施方式1的基板外观检查装置中的学习画面的结构的一例的图。
[0018]图8是表示基于实施方式1的基板外观检查装置中的检查画面的结构的一例的图。
[0019]图9是表示基于实施方式1的基板外观检查装置中的检查画面的结构的一例的图。
[0020]图10是表示基于实施方式1的基板外观检查装置中的检查画面的结构的一例的图。
[0021]图11是示意性地表示基于实施方式1的基板外观检查装置的运算处理部的硬件结构的一例的框图。
[0022]图12是表示基于实施方式1的基板外观检查装置中的摄像方法的处理过程的一例的流程图。
[0023]图13是表示基于实施方式1的基板外观检查装置中的学习方法的处理过程的一例的流程图。
[0024]图14是表示基于实施方式1的基板外观检查装置中的基板外观检查方法的处理过程的一例的流程图。
[0025]图15是表示基于实施方式1的基板外观检查装置中的基板外观检查方法的处理过程的一例的流程图。
[0026](附图标记说明)
[0027]100：基板外观检查装置；101：摄像部；102：照明设备；103：照明用电源；104：遮光罩；105：基板输送部；106：基板输送机构；107：基板输送机构台架；108A：第一传感器；108B：第二传感器；109：显示部；110：运算处理部；131：摄像部连接线缆；132：照明用电源控制线缆；133：照明电源线缆；134：传感器连接线缆；135：显示器连接线缆；150：基板；151：电路基板；152：电子部件；160：基板输送托盘；200：传感器输入部；201：摄像控制部；202：照明控制部；203：学习用图像存储部；204：模型生成部；205：已学习模型存储部；206：重构图像生成部；207：图像比较部；208：设定数据存储部；209：判定部；210：画面显示部。
具体实施方式
[0028]以下，基于图来详细说明本公开的实施方式所涉及的外观检查装置和外观检查方法。
[0029]实施方式1.
[0030]在以下的实施方式中，作为外观检查装置，以对基板的外观的异常进行检查的基
板外观检查装置为例进行说明。另外，作为外观检查方法，以基板外观检查装置中的基板外观检查方法为例进行说明。图1是示意性地表示基于实施方式1的基板外观检查装置的结构的一例的图。基板外观检查装置100具备摄像部101、照明设备102、照明用电源103、遮光罩104、基板输送部105、第一传感器108A及第二传感器108B、显示部109以及运算处理部110。
[0031]摄像部101是对作为对象物的基板150进行摄像的器材。摄像部101的一例是具有透镜和摄像元件的摄像机。摄像部101通过摄像部连接线缆131来与运算处理部110连接。摄像部101将进行摄像所得到的图像数据经由摄像部连接线缆131输出到运算处理部110。摄像部连接线缆131的一例是USB(Universal Serial Bus：通用串行总线)线缆或LAN(Local Area Network：局域网)线缆。
[0032]照明设备102是在对基板150进行摄像时照射用于调整基板150的亮度的光的光源。照明设备102的一例是圆顶型的LED(Light Emitting Diode：发光二极管)照明。
[0033]照明用电源103是用于向照明设备102供给电源的装置。在一个例子中，照明用电源103具有根据来自运算处理部110的作为控制照明设备102的点亮的信号的点亮控制信号来控制照明设备102的点亮的控制功能。点亮控制信号是控制照明设备102的点亮或熄灭以及点亮时的亮度的信号。照明用电源103通过照明用电源控制线缆132来与运算处理部110连接。照明用电源103按照经由照明用电源控制线缆132传递的点亮控制信号，控制照明设备102的点亮。照明用电源控制本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种外观检查装置，其特征在于，具备：摄像部，将对象物进行摄像；重构图像生成部，将由所述摄像部进行摄像所得到的图像数据作为输入图像，使用尝试再现所述图像数据的模型，生成重构图像，该重构图像是对所述输入图像进行了重构的图像；以及图像比较部，生成作为所述输入图像与所述重构图像的差分的差分图像。2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，还具备判定部，该判定部将所述差分图像分割为多个区域，基于按每个所述区域计算出的统计量来确定存在异常的区域。3.根据权利要求2所述的外观检查装置，其特征在于，所述判定部计算所述区域中包含的像素的像素值的方差或标准偏差来作为所述统计量。4.根据权利要求2或3所述的外观检查装置，其特征在于，还具备画面显示部，该画面显示部将所述判定部的结果显示在显示部，所述判定部生成在所述差分图像中提取出所述存在异常的区域的结果图像，所述画面显示部将包括从所述结果图像得到的所述存在异常的区域的图像显示在所述显示部。5.根据权利要求4所述的外观检查装置，其特征在于，所述摄像部在多个位置处对相同的所述对象物进行摄像，所述画面显示部将包括从所述多个位置中的全部位置处的所述结果图像得到的所述存在异常的区域的合成结果图像显示在所述显示部。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的外观检查装置，其特征在于，还具备摄像控制部，该摄像控制部输出对由所述摄像...
【专利技术属性】
技术研发人员：池田祐一，中根洋太朗，峯泽彰，冈原浩平，德幸博，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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