【技术实现步骤摘要】
一种计算相位成像方法及系统
[0001]本专利技术涉及计算成像
,更具体地,涉及一种计算相位成像方法及系统。
技术介绍
[0002]计算显微成像技术是先进制造、精密测量及生物医学等领域中最为重要的一种先进成像方法。计算成像技术充分挖掘光与物质作用时成像光学多维度信息,诸如通过光谱、相位、偏振、相干、衍射等多纬度光学信息,借助数值计算方法和计算机超快计算能力,实现照明和样品的快速精密计算成像。计算成像方法突破了传统光场显微镜数值孔径下的衍射极限,可实现高精密、高速度计算显微成像。
[0003]在实际应用场景下,由于受光学探测器采样噪声、样品台位置扰动、照明光源指向稳定误差等综合扰动噪声的影响,用于计算成像的原始采样数据夹杂了诸多扰动噪声,计算成像分辨率和成像效率严重受损。近年以来,许多先进的计算成像方法逐步提出,并取得了广泛的科研关注,诸如叠层衍射成像算法、X射线断层扫描算法等。此类计算成像方法对采样微弱噪声具备一定的鲁棒性,但是当复杂噪声场景下,此类方法通常情况下难以收敛至全局最优解。
技术实现思路
[0004]本专利技术针对现有技术中存在的技术问题,提供一种计算相位成像方法及系统,通过对计算成像迭代更新过程中施加动态激活函数,提高算法在复杂噪声场景下的收敛鲁棒性,提升算法跳出局部最优陷阱的能力,加速收敛至全局最优,由此解决了现有计算成像算法噪声鲁棒性低、收敛精度差等技术问题。
[0005]根据本专利技术的第一方面,提供了一种计算相位成像方法,包括:
[0006]步骤1, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种计算相位成像方法,其特征在于,包括:步骤1,基于照明光束及所述照明光束入射到样品的当前待测位置,获取所述样品的近场出射波分布和远场衍射光强分布;步骤2,基于所述远场衍射光强分布,对所述近场出射波分布进行迭代求解,获取每一次迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数;步骤3,基于所述每一次迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数,计算每一次迭代更新后的出射波增量梯度残差ε,当ε小于设定阈值时,执行步骤4;否则,执行步骤2;步骤4,基于动态正则函数对步骤2中获取的迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数进行优化,基于优化后的样品函数和照明函数,重复执行步骤2至步骤4,直至所述出射波增量梯度残差ε和迭代更新后的远场衍射光强分布与步骤1中所述远场衍射光强分布之间的均方差MSE均小于设定阈值,迭代终止,求得当前待测位置的样品函数和照明函数。2.根据权利要求1所述的计算相位成像方法,其特征在于,所述步骤1,基于照明光束及所述照明光束入射到样品当前待测位置,获取所述样品的近场出射波分布和远场衍射光强分布,包括:基于所述当前待测位置的样品函数和照明函数,获取当前待测位置样品的近场出射波分布;基于夫琅禾费衍射法采集样品当前待测位置的远场衍射光强分布。3.根据权利要求1所述的计算相位成像方法,其特征在于,所述远场衍射光强分布为包含噪声的衍射光强,所述噪声包括探测器噪声、样品抖动噪声和光源退相干噪声中的一种或多种。4.根据权利要求2所述的计算相位成像方法,其特征在于,所述步骤2,基于样品的所述远场衍射光强分布,对所述近场出射波分布进行迭代求解,获取每一次迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数,包括:根据所述远场衍射光强分布,基于傅里叶投影变换,对所述近场出射波分布进行迭代更新,获取更新后的近场出射波分布;根据更新前的所述近场出射波分布和所述更新后的近场出射波分布,基于相干衍射成像算法对当前迭代更新前的样品函数和照明函数进行更新,获取当前迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数。5.根据权利要求4所述的计算相位成像方法,其特征在于,所述根据所述远场衍射光强分布,基于傅里叶投影变换,对所述近场出射波分布进行迭代更新,获取更新后的近场出射波分布,包括:其中,O
jr
和P
jr
为迭代更新前的样品函数和照明函数,FFT表示快速傅里叶变换,FFT
‑1表示快速傅里叶逆变换;j表示照明光束P
jr
入射样品第j处的待测位置,Ψ
ju
为近场出射波分布ψ
jr
的频域表示,即迭代更新后的远场衍射光强分布,ψ
′
jr
为迭代更新后的近场出射波分
布,为第j处的远场衍射光强分布;所述根据更新前的所述近场出射波分布和所述更新后的近场出射波分布,基于相干衍射成像算法对当前迭代更新前的样品函数和照明函数进行更新,获取当前迭代更新后当前待测位置的样品函数和照明函数,包括:其中:其中,O
′
jr
和P
′
jr
分别为每一次迭代更新后的样品函数和照明函数,w
o
和w
P
分别是O
′
jr
和P
′
jr
的更新权重因子,取值范围为(0,1)的区间常数,O
jr
和P
jr
为更新前的样品函...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘世元,谷洪刚,陈创创,李仲禹,
申请(专利权)人:上海精测半导体技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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