一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装制造技术

技术编号:35718872 阅读:12 留言:0更新日期:2022-11-23 15:36
本实用新型专利技术属于蓝宝石检测技术领域,具体涉及一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装;包括工作平台,工作平台上设置有两个夹紧部、一个直线滑块和一个定向挡板,直线滑块和定向挡板位于两个夹紧部之间的中线上,定向挡板的中间开有缝隙作为射线入射点,两个夹紧部用于夹紧固定蓝宝石晶棒的棒身,直线滑块用于与蓝宝石晶棒的Notch槽卡嵌配合,直线滑块与推拉机构连接向定向挡板滑移;工作平台安装在可翻转的支座上,支座的转轴与直线滑块的滑移方向垂直;通过直线滑块对Notch槽限位和两个夹紧部准确固定Notch槽蓝宝石晶棒测量位置,使X射线定向仪能够精准测量Notch槽蓝宝石晶棒的晶向。仪能够精准测量Notch槽蓝宝石晶棒的晶向。仪能够精准测量Notch槽蓝宝石晶棒的晶向。

【技术实现步骤摘要】
一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装


[0001]本技术属于蓝宝石检测
,具体涉及一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装。

技术介绍

[0002]蓝宝石的组成为氧化铝(Al2O3),是由三个氧原子和两个铝原子以共价键结合而成,其晶体结构为六方晶格结构。它常被应用的切面有A

Plane,C

Plane及R

Plane。由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光到中红外线都具有很好的透光性,因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上,它具有耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性等特点,因此常被用来作为光电元件的材料,同时也成为工业中一种重要的基础材料。
[0003]随着蓝宝石产品市场的持续发展和对蓝宝石产品需求量的增加,各应用领域对蓝宝石产品的晶片面积和产品数量要求不断提高。为增大晶片面积,将蓝宝石晶棒的导向边改为Notch槽,在保证对后续加工导向作用的同时,减少导向边对晶棒面积的损耗,使产品利用面积最大化。但将导向边改为Notch槽后,可供X射线定向仪检测晶向的位置消失,无法对晶棒Notch槽的晶向进行检测。因此,需要一种能够对Notch槽蓝宝石晶棒的晶向进行检测的辅助装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提高晶棒的稳固性,同时可有效调节晶棒的角度,从而与定向仪进行配合,提高Notch槽蓝宝石晶棒晶向的检测效率。
[0005]本技术提供了如下技术方案:一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装,包括工作平台,工作平台上设置有两个夹紧部、一个直线滑块和一个定向挡板,直线滑块和定向挡板位于两个夹紧部之间的中线上,定向挡板的中间开有缝隙作为射线入射点,两个夹紧部用于夹紧固定蓝宝石晶棒的棒身,直线滑块用于与蓝宝石晶棒的Notch槽卡嵌配合,直线滑块与推拉机构连接向定向挡板滑移;工作平台安装在可翻转的支座上,支座的转轴与直线滑块的滑移方向垂直。
[0006]进一步地,工作平台上开有两条横向的滑槽和一条竖向的滑槽,两条横向的滑槽位于同一直线,竖向的滑槽位于两条横向的滑槽之间的中线上;每条横向的滑槽中滑动装嵌有一个夹持立柱,两个夹持立柱与安装在工作平台底部的丝杠螺旋配合连接,且两个夹持立柱与丝杠旋合的旋向相反;直线滑块限制在竖向的滑槽内,直线滑块与工作平台之间连接有拉簧,拉簧向定向挡板牵拉直线滑块。
[0007]进一步地,丝杠包括中间的转动连接部和位于转动连接部两侧的正向螺纹段和反向螺纹段,两个夹持立柱上的螺孔的螺纹旋向相同,两个夹持立柱分别与丝杠的正向螺纹段和反向螺纹段配合连接,丝杠通过转动连接部安装在工作平台上,丝杠的一端安装有手轮。
[0008]进一步地,支座包括固定支座和翻转支座,翻转支座通过一根转轴安装在固定支座上,工作平台支撑在翻转支座上的支柱上。
[0009]进一步地,翻转支座底部的轴套置于固定支座上的两个轴架之间并穿入端部刻有螺纹的转轴,转轴的螺纹段连接有螺母,螺母锁紧限制翻转支座转动。
[0010]与现有技术相比,本技术的优势在于:
[0011]本技术提供的一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装,自动化程度较高,通过检测Notch槽晶棒轴线的对应端,进而间接性的检测Notch槽的晶向,并借助X射线定向仪微安表示数值情况,精准了解Notch槽的晶向角度偏差;通过直线滑块对Notch槽限位和两个夹紧部准确固定Notch槽蓝宝石晶棒测量位置,使X射线定向仪能够精准测量Notch槽蓝宝石晶棒的晶向。
附图说明
[0012]图1为本技术的俯视图。
[0013]图2为本技术的侧视图。
[0014]图中:1

工作平台;2

直线滑块;3

定向挡板;4

夹持立柱;5

丝杠;6

拉簧;7

手轮;8

固定支座;9

翻转支座;10

支柱;11

转轴;12

螺母。
具体实施方式
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]如图1、图2所示;一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装,包括工作平台1,工作平台1上设置有两个夹紧部、一个直线滑块2和一个定向挡板3,直线滑块2和定向挡板3位于两个夹紧部之间的中线上,两个夹紧部用于夹紧固定蓝宝石晶棒的棒身,直线滑块2的凸起形状与晶棒Notch槽凹陷形状相同,直线滑块2用于与蓝宝石晶棒的Notch槽卡嵌配合,直线滑块2与推拉机构连接向定向挡板3滑移;工作平台1安装在可翻转的支座上,支座的转轴与直线滑块2的滑移方向垂直。工装安装在X射线定向仪工作台后,直线滑块2和两个夹紧部对晶棒进行固定,使晶棒Notch槽通过晶棒轴线的对应端对准X射线入射点,检测Notch槽对应端的晶向偏差角度。由于对应端晶向与Notch槽晶向相同,因此即可得出Notch槽的晶向偏差。
[0017]工作平台1上开有两条横向的滑槽和一条竖向的滑槽,两条横向的滑槽位于同一直线,竖向的滑槽位于两条横向的滑槽之间的中线上;每条横向的滑槽中滑动装嵌有一个夹持立柱4,两个夹持立柱4与安装在工作平台1底部的丝杠5螺旋配合连接,且两个夹持立柱4与丝杠5旋合的旋向相反,丝杠5转动时,两个夹持立柱4同步相向移动或背向移动,对应的夹紧或放开晶棒;直线滑块2限制在竖向的滑槽内,直线滑块2与工作平台1之间连接有拉簧6,拉簧6向定向挡板牵拉直线滑块。
[0018]丝杠5包括中间的转动连接部和位于转动连接部两侧的正向螺纹段和反向螺纹段,两个夹持立柱4上的螺孔的螺纹旋向相同,两个夹持立柱4分别与丝杠5的正向螺纹段和反向螺纹段配合连接,丝杠5通过转动连接部安装在工作平台1上,丝杠5的一端安装有手轮
7。
[0019]支座包括固定支座8和翻转支座9,翻转支座9通过一根转轴安装在固定支座8上,工作平台1支撑在翻转支座9上的支柱10上。
[0020]翻转支座9底部的轴套置于固定支座8上的两个轴架之间并穿入端部刻有螺纹的转轴11,转轴11的螺纹段连接有螺母12,螺母12锁紧限制翻转支座转动。
[0021]该工装安装于X射线定向仪工作台,将直线滑块2向外侧拉动,晶棒Notch槽朝向直线滑块并竖直放于工作平台1表面,松开直线滑块2后拉簧6将直线滑块沿滑槽拉回,使直线滑块2的凸起嵌入晶棒的Notch槽内,晶棒Notch槽通过轴线的对应端贴紧定向挡板3中间的空隙,即X射线入射点。旋动丝杠5上的手轮7,使两侧的夹持立柱7向内侧移动,直至贴紧晶棒两侧弧面,完成晶棒的固定本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装,其特征在于:包括工作平台(1),工作平台(1)上设置有两个夹紧部、一个直线滑块(2)和一个定向挡板(3),直线滑块(2)和定向挡板(3)位于两个夹紧部之间的中线上,定向挡板(3)的中间开有缝隙作为射线入射点,两个夹紧部用于夹紧固定蓝宝石晶棒的棒身,直线滑块(2)用于与蓝宝石晶棒的Notch槽卡嵌配合,直线滑块(2)与推拉机构连接向定向挡板(3)滑移;工作平台(1)安装在可翻转的支座上,支座的转轴与直线滑块(2)的滑移方向垂直。2.根据权利要求1所述的一种Notch槽蓝宝石晶棒检测工装,其特征在于:所述的工作平台(1)上开有两条横向的滑槽和一条竖向的滑槽,两条横向的滑槽位于同一直线,竖向的滑槽位于两条横向的滑槽之间的中线上;每条横向的滑槽中滑动装嵌有一个夹持立柱(4),两个夹持立柱(4)与安装在工作平台(1)底部的丝杠(5)螺旋配合连接,且两个夹持立柱(4)与丝杠(5)旋合的旋向相反;直线滑块(2)限制在竖向的滑槽内,直线滑块(2)与工作平...

【专利技术属性】
技术研发人员:单光宇杨立明
申请(专利权)人:太原源瀚科技有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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