脱泡脱气装置、脱泡脱气方法以及涂布装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种脱泡脱气装置，可以高效地从液体中脱泡脱气，进而容易进行维护等。脱泡脱气装置具备：处理容器(11)，被供给有处理对象的液体(L)，将内部设定为减压气氛；液体投入部(15)，设置在处理容器(11)的内壁(16)，以液体(L)沿着内壁(16)的流动的方式供给液体(L)。体(L)沿着内壁(16)的流动的方式供给液体(L)。体(L)沿着内壁(16)的流动的方式供给液体(L)。

【技术实现步骤摘要】
脱泡脱气装置、脱泡脱气方法以及涂布装置


[0001]本专利技术涉及脱泡脱气装置、脱泡脱气方法以及涂布装置。

技术介绍

[0002]为了在半导体或者玻璃等基板形成薄膜，使用将涂布液从喷嘴排出至基板上从而在基板上涂布的涂布装置。有时使用高粘度的液体作为在形成薄膜时所使用的涂布液(液体)。气体容易溶存于高粘度的液体或者液体中包含气泡的情况较多。若像这样液体中残留较多的气体或者气泡，则在涂布时根据部位的不同会产生涂布不均，而变得无法形成均匀的薄膜。因此，需要从涂布的液体中将溶存的气体脱气以及将液体中的气泡去除(脱泡)。已知有脱泡脱气装置作为从这样的液体中脱泡脱气的构成(例如专利文献1)。专利文献1的脱泡脱气装置在处于真空气氛的处理容器内设置旋转体，向该旋转体供给液体，并通过由旋转体的旋转而产生的离心力使液体飞溅至处理容器的内壁，从而进行从液体中脱泡脱气。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2005
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205322号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]然而，由于专利文献1的脱泡脱气装置构成为使供给有液体的旋转体旋转，在处理容器内存在可旋转地支承旋转体的轴承等，有可能使伴随着该旋转体的旋转而产生的异物混入液体中，因此专利文献1的脱泡脱气装置并不优选。此外，由于液体与处理容器的内壁碰撞，因此存在液体中溶入新的气体或者液体中产生新的气泡这样的问题。此外，在为了维护该脱泡脱气装置而进行清洗等的情况下，旋转体的拆卸作业、轴承部分的清洗作业等较为麻烦，存在在维护上耗费工夫这样的问题。
[0008]本专利技术的目的在于提供一种可以高效地从液体中脱泡脱气、还可以容易进行维护等的脱泡脱气装置、脱泡脱气方法以及涂布装置。
[0009]用于解决上述技术问题的方案
[0010]本专利技术的方案的脱泡脱气装置具备：处理容器，供给有作为处理对象的液体，内部被设定为减压气氛；液体投入部，设置在处理容器的内壁，以液体沿着所述内壁的流动的方式供给液体。
[0011]本专利技术的方案的脱泡脱气方法包括：将处理容器的内部设定为减压气氛的工序；和以从处理容器的内壁沿着内壁流动的方式供给作为处理对象的液体的工序。
[0012]本专利技术的方案的涂布装置具备：喷嘴，将涂布液涂布至基板；上述方案的脱泡脱气装置，对供给至喷嘴的涂布液进行脱泡脱气处理。
[0013]专利技术效果
[0014]根据上述方案的脱泡脱气装置以及脱泡脱气方法，由于液体沿着处理容器的内壁
流动，因此能够抑制液体中溶入新气体以及新气泡的产生，同时能够高效地从液体中脱泡脱气。此外，由于不具有旋转体等可动部分，因此维护等中的清洗等变得容易，能够减轻作业员的负担。
[0015]此外，根据上述方案的涂布装置，由于具备上述方案的脱泡脱气装置，因此能够从由喷嘴排出的涂布液中高效地进行脱泡脱气，其结果为能够减轻形成于基板的薄膜的涂布不均，从而容易形成膜厚均匀的薄膜。
附图说明
[0016]图1是示出第1实施方式的脱泡脱气装置的一例的剖视图。
[0017]图2是沿着图1的A
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A线的剖视图。
[0018]图3的(A)是示出狭缝形成部件的一例的俯视图，图3的(B)是示出狭缝形成部件的一例的剖视图。
[0019]图4是示出液体投入部的另一例的俯视图。
[0020]图5是示出第2实施方式的脱泡脱气装置的一例的剖视图。
[0021]图6是示出第3实施方式的脱泡脱气装置的一例的剖视图。
[0022]图7是示出第4实施方式的脱泡脱气装置的一例的示意图。
[0023]图8是示出第5实施方式的脱泡脱气装置的一例的示意图。
[0024]图9是示出第6实施方式的脱泡脱气装置的一例的示意图。
[0025]图10是示出实施方式的脱泡脱气方法的一例的流程图。
[0026]图11是示意性示出实施方式的涂布装置的一例的侧视图。
[0027]图12是表示本专利技术的实施例中的脱泡脱气处理时间与溶氧率的关系的图表。
[0028]图13是表示比较例中的脱泡脱气处理时间与溶氧率的关系的图表。
具体实施方式
[0029]以下，参照附图对实施方式进行说明，但本专利技术并不限定于以下说明的内容。在附图中，为了容易理解各构成而强调一部分或者简化一部分来表示，有时与实际的结构或者形状、比例尺等不同。在图11中，使用XYZ坐标系说明图中的方向。水平面为XY面。将水平面中的一方向标记为X方向。X方向为后述的台20与喷嘴30的相对移动方向。将在水平面中与X方向正交的方向标记为Y方向。将与X方向以及Y方向垂直的方向标记为Z方向。另外，X方向、Y方向以及Z方向各自在图11中的箭头所指的方向为+方向，与箭头所指的方向相反的方向为－方向。
[0030][第1实施方式][0031]对第1实施方式进行说明。图1是示出第1实施方式的脱泡脱气装置10的一例的剖视图。图2是沿着图1的A
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A线的剖视图。本实施方式的脱泡脱气装置10对于作为处理对象的液体L进行脱泡脱气处理。如图1以及图2所示，脱泡脱气装置10具备处理容器11和真空泵P1。处理容器11中投入有进行脱泡脱气处理的液体L。另外，在液体L中，例如在脱泡脱气处理前，液体L中溶存有较多的气体或者包含较多的气泡，而在脱泡脱气处理后，溶存于液体L中的气体的量减少或者气泡的量减少。在本说明书中，液体L在脱泡脱气处理前后的状态不同，但统一标记为液体L。
[0032]真空泵P1将处理容器11的内部减压。真空泵P1例如能够使用涡轮泵、隔膜泵等公知的泵。在处理容器11的一部分设置有与真空泵P1连接的未图示的连接管。
[0033]如图1所示，处理容器11具备主体部12和盖部13。处理容器11的内部被减压，因此其形成为具有耐压性的材质、尺寸等。处理容器11例如由金属制、树脂制等形成。此外，在处理对象的液体L包含有机溶剂等的情况下，例如若考虑到耐腐蚀性等，处理容器11例如优选为金属制。此外，出于提高相对于液体L的耐腐蚀性的目的，也可以在处理容器11的内表面形成覆膜等。
[0034]主体部12形成为上部开放的有底的筒形状。如图2所示，主体部12的剖面为圆形状，但不限定于该方案，例如剖面也可以为椭圆形状、长圆形状、四边形状等多边形状。对于处理容器11的内径以及高度等尺寸，可根据投入的液体L的量(每单位时间的投入量)等适当设定。盖部13安装在主体部12的上端部，通过密封主体部12的上端使处理容器11内处于密闭状态。盖部13可以相对于主体部12可拆卸。盖部13的材质没有特别限定，但优选为与主体部12同样的材质，例如可使用金属、树脂等。
[0035]在主体部12设置有排出口14和液体投入部15。主体部12的下部形成有朝向下方稍带圆的底部112，以使被脱泡脱气处理的液体L容易流动。排出口14设置在底部112的大致中央处。另本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种脱泡脱气装置，其特征在于，具备：处理容器，被供给有处理对象的液体，将内部设定为减压气氛；液体投入部，设置在所述处理容器的内壁，以所述液体沿着所述内壁流动的方式供给所述液体。2.如权利要求1所述的脱泡脱气装置，其特征在于，所述液体投入部具备狭缝形成部件，在与所述内壁之间形成供所述液体排出的狭缝。3.如权利要求2所述的脱泡脱气装置，其特征在于，所述狭缝形成部件在所述处理容器的内壁整周形成所述狭缝。4.如权利要求2或3所述的脱泡脱气装置，其特征在于，所述狭缝的宽度被设定为0.1mm至5mm。5.如权利要求2或3所述的脱泡脱气装置，其特征在于，所述狭缝形成部件具备倾斜部，使与所述狭缝连续的部分朝向下方倾斜。6.如权利要求2或3所述的脱泡脱气装置，其特征在于，所述处理容器具备多个供给口，在所述内壁和所述狭缝形成部件之间供给所述液体。7.如权利要求2或3所述的脱泡脱气装置，其特征在于，所述处理容器在所述狭缝的下方的所述内壁朝向下方形成为波状。8.如权利要求2或3所述的脱泡脱气装置，其特征在于，所述处理容器在所述狭缝的下方的所述内壁被设置为朝向内侧倾斜。9.如权利要求1或2所述的脱泡脱气...

【专利技术属性】
技术研发人员：近藤士朗，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：