本发明专利技术公开了一种电池制备集成系统以及电池制备集成方法，电池制备集成系统包括：花篮存放设备，花篮存放设备处设有用于装载硅片的花篮；石英舟存放设备，石英舟存放设备处设有用于装载硅片的石英舟；扩散设备，用于对石英舟内的若干硅片进行扩散工序或退火工序作业；激光设备，用于对单个硅片进行激光工序作业；第一硅片输送设备；第二硅片输送设备；第三硅片输送设备；第四硅片输送设备；石英舟转移设备，用于将石英舟存放设备内的石英舟转移至扩散设备内，或者将扩散设备内的石英舟转移至石英舟存放设备。与现有技术相比，本发明专利技术将激光工序与扩散、退火工序集成设计，减少了设备投资，节约了设备占地面积，提升了制程良率。提升了制程良率。提升了制程良率。
【技术实现步骤摘要】
一种电池制备集成系统以及电池制备集成方法
[0001]本专利技术涉及电池生产设备
，特别是一种电池制备集成系统以及电池制备集成方法。
技术介绍
[0002]现有技术中，N型TOPCon电池的制程设计组成是硼扩工序作业完成后，通过人工运输或AGV小车运转至激光工序，然后作业完成后再通过人工运输或AGV小车运转至激光后清洗工序(主要目的清洗前硼扩运输轮转生长的氧化层及粉尘)，再通过人工运输或AGV小车运转至退火进行工艺制程，最后工艺完成，下料结束。
[0003]此工艺路线对环境洁净度要求非常高，同时工序繁多；工序间运转极易增加生产碎片率及运输污染所带来的工艺不良品。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是提供一种电池制备集成系统以及电池制备集成方法，以解决现有技术中的技术问题，它能够将激光工序与扩散、退火工序集成设计，减少设备投资，节约设备占地面积，提升制程良率。
[0005]本专利技术提供了一种电池制备集成系统，包括：
[0006]花篮存放设备，所述花篮存放设备处设有用于装载硅片的花篮；
[0007]石英舟存放设备，所述石英舟存放设备处设有用于装载所述硅片的石英舟；
[0008]扩散设备，用于对所述石英舟内的若干所述硅片进行扩散工序或退火工序作业；
[0009]激光设备，用于对单个所述硅片进行激光工序作业；
[0010]第一硅片输送设备，用于将所述花篮存放设备处的所述花篮内的若干所述硅片依次单片输送至所述石英舟存放设备处的所述石英舟内；
[0011]第二硅片输送设备，用于将所述石英舟存放设备处的所述石英舟内的所述硅片依次单片输送至所述花篮存放设备处的所述花篮内；
[0012]第三硅片输送设备，用于将所述石英舟存放设备处的所述石英舟内的所述硅片依次单片输送至所述激光设备内；
[0013]第四硅片输送设备，用于将所述激光设备内的所述硅片依次单片输送至所述石英舟存放设备处的所述石英舟内；
[0014]石英舟转移设备，用于将所述石英舟存放设备内的所述石英舟转移至所述扩散设备内，或者将所述扩散设备内的所述石英舟转移至所述石英舟存放设备；
[0015]其中，所述激光设备包括旋转工作台以及设于所述旋转工作台上的若干托盘，所述托盘用于放置所述硅片，所述旋转工作台的工作路径上设有进料工位以及出料工位，所述进料工位对接于所述第三硅片输送设备的出料端，所述出料工位对应于所述第四硅片输送设备的进料端。
[0016]如上所述的一种电池制备集成系统，其中，优选的是，所述花篮存放设备包括花篮
横移模组以及至少一个花篮传输流线，所述花篮横移模组上设有花篮输送模块，所述花篮输送模块水平滑动的设置在所述花篮横移模组上，所述花篮输送模块的一侧用于与所述花篮传输流线对接，所述花篮输送模块的另一侧用于与所述第一硅片输送设备的进料端或所述第二硅片输送设备的出料端对接。
[0017]如上所述的一种电池制备集成系统，其中，优选的是，所述花篮传输流线设有两个，其一所述花篮传输流线上的所述花篮经由所述花篮输送模块输送至所述第一硅片输送设备的进料端，所述第二硅片输送设备的出料端处的所述花篮经由所述花篮输送模块输送至另一所述花篮传输流线。
[0018]如上所述的一种电池制备集成系统，其中，优选的是，所述第一硅片输送设备、所述第二硅片输送设备、所述第三硅片输送设备以及所述第四硅片输送设备均为皮带输送线。
[0019]如上所述的一种电池制备集成系统，其中，优选的是，所述第一硅片输送设备的出料端处、所述第二硅片输送设备的进料端处、所述第三硅片输送设备的进料端处以及所述第四硅片输送设备的出料端处均设有变节距机构，所述变节距机构内设有可沿重力方向升降的硅片存放部，所述硅片存放部内设有若干沿重力方向间隔设置的硅片存放槽，所述硅片存放槽用于存放所述硅片。
[0020]如上所述的一种电池制备集成系统，其中，优选的是，还设有机械手，所述机械手用于将所述变节距机构中存放的所述硅片转移至所述石英舟存放设备内的所述石英舟内，或，将所述石英舟存放设备内的所述石英舟中存放的所述硅片转移至所述变节距机构的硅片存放部内。
[0021]如上所述的一种电池制备集成系统，其中，优选的是，所述石英舟转移设备包括三轴移动龙门架以及石英舟输送线，所述石英舟输送线对接所述扩散设备，所述三轴移动龙门架用于将所述石英舟存放设备内的所述石英舟转移至所述石英舟输送线，所述石英舟输送线用于将所述石英舟输送至所述扩散设备内，或，所述扩散设备内的所述石英舟输送至所述石英舟输送线，再经由所述三轴移动龙门架转移至所述石英舟存放设备。
[0022]如上所述的一种电池制备集成系统，其中，优选的是，所述扩散设备包括依次设置的净化台以及扩散炉体，所述石英舟经由所述净化台进入所述扩散炉体内。
[0023]如上所述的一种电池制备集成系统，其中，优选的是，所述扩散炉体内设有六个并列设置的炉管，三个所述炉管用于扩散工序作业，另外三个所述炉管用于退火工序作业。
[0024]本申请还提供了一种电池制备集成方法，利用前述的电池制备集成系统进行作业，包括以下步骤：
[0025]所述第一硅片输送设备将所述花篮存放设备处的所述花篮内的若干所述硅片依次单片输送至所述石英舟存放设备处的所述石英舟内；
[0026]所述石英舟转移设备将所述石英舟存放设备处的所述石英舟转移至所述扩散设备进行扩散工序作业；
[0027]扩散工序作业完成后，所述石英舟转移设备将所述扩散设备内的所述石英舟转移至所述石英舟存放设备；
[0028]所述第三硅片输送设备将所述石英舟存放设备处的所述石英舟中的硅片转移至所述激光设备进行激光工序作业；
[0029]激光工序作业完成后，所述第四硅片输送设备将所述激光设备内的所述硅片输送至所述石英舟存放设备处的所述石英舟内；
[0030]所述石英舟转移设备将所述石英舟存放设备处的所述石英舟转移至所述扩散设备进行退火工序作业；
[0031]退火工序作业完成后，所述石英舟转移设备将所述扩散设备内的所述石英舟转移至所述石英舟存放设备；
[0032]所述第二硅片输送设备将所述石英舟存放设备处的所述石英舟中的硅片转移至花篮存放设备处的所述花篮内。
[0033]与现有技术相比，本专利技术将激光工序与扩散、退火工序集成设计，减少了设备投资，节约了设备占地面积，提升了制程良率。
附图说明
[0034]图1是本专利技术的结构示意图。
[0035]附图标记说明：
[0036]10
‑
花篮存放设备，11
‑
花篮横移模组，12
‑
花篮传输流线，13
‑
花篮输送模块；
[0037]20
‑
石英舟存放设备；
[0038]30
‑
扩散设备，31
‑
净化台，32
‑
扩散炉体；
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电池制备集成系统，其特征在于，包括：花篮存放设备，所述花篮存放设备处设有用于装载硅片的花篮；石英舟存放设备，所述石英舟存放设备处设有用于装载所述硅片的石英舟；扩散设备，用于对所述石英舟内的若干所述硅片进行扩散工序或退火工序作业；激光设备，用于对单个所述硅片进行激光工序作业；第一硅片输送设备，用于将所述花篮存放设备处的所述花篮内的若干所述硅片依次单片输送至所述石英舟存放设备处的所述石英舟内；第二硅片输送设备，用于将所述石英舟存放设备处的所述石英舟内的所述硅片依次单片输送至所述花篮存放设备处的所述花篮内；第三硅片输送设备，用于将所述石英舟存放设备处的所述石英舟内的所述硅片依次单片输送至所述激光设备内；第四硅片输送设备，用于将所述激光设备内的所述硅片依次单片输送至所述石英舟存放设备处的所述石英舟内；石英舟转移设备，用于将所述石英舟存放设备内的所述石英舟转移至所述扩散设备内，或者将所述扩散设备内的所述石英舟转移至所述石英舟存放设备；其中，所述激光设备包括旋转工作台以及设于所述旋转工作台上的若干托盘，所述托盘用于放置所述硅片，所述旋转工作台的工作路径上设有进料工位以及出料工位，所述进料工位对接于所述第三硅片输送设备的出料端，所述出料工位对应于所述第四硅片输送设备的进料端。2.根据权利要求1所述的电池制备集成系统，其特征在于：所述花篮存放设备包括花篮横移模组以及至少一个花篮传输流线，所述花篮横移模组上设有花篮输送模块，所述花篮输送模块水平滑动的设置在所述花篮横移模组上，所述花篮输送模块的一侧用于与所述花篮传输流线对接，所述花篮输送模块的另一侧用于与所述第一硅片输送设备的进料端或所述第二硅片输送设备的出料端对接。3.根据权利要求2所述的电池制备集成系统，其特征在于：所述花篮传输流线设有两个，其一所述花篮传输流线上的所述花篮经由所述花篮输送模块输送至所述第一硅片输送设备的进料端，所述第二硅片输送设备的出料端处的所述花篮经由所述花篮输送模块输送至另一所述花篮传输流线。4.根据权利要求1所述的电池制备集成系统，其特征在于：所述第一硅片输送设备、所述第二硅片输送设备、所述第三硅片输送设备以及所述第四硅片输送设备均为皮带输送线。5.根据权利要求1所述的电池制备集成系统，其特征在于：所述第一硅片输送设备的出料端处、所述第二硅片输送设备的进料端处、所述第三硅片输送设备的进料端处以及所述第四硅片输送设备的出料端处...
【专利技术属性】
技术研发人员：周超，李宝男，
申请(专利权)人：晶科能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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