一种连续旋转偏振的检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种连续旋转偏振的检测装置，其包括光源、第一反光部、第二反光部、拍摄部、起偏部和检偏部，由光源单次输出单色光，控制起偏部旋转至该单色光对应的偏振角度，通过起偏部第一角度偏振态的旋转调节，使得明场光路的出光角度发生改变，配合检偏部的第一角度偏振态预设，能够从多种角度对芯片进行检测，待检测芯片上获得不同的打光效果，并结合光源切换不同的颜色时拍摄获得的图样，经过对比分析，可以更全面的获得芯片在不同打光效果下凸显出的缺陷，以及不同检测面上存在的不同的缺陷，提高检测效果、检测精准度。检测精准度。检测精准度。

【技术实现步骤摘要】
一种连续旋转偏振的检测装置


[0001]本申请涉及芯片检测
，特别涉及一种连续旋转偏振的检测装置。

技术介绍

[0002]在这一部分中提供的信息是为了一般地呈现本公开的背景的目的。在本部分中描述的程度上，当前署名的专利技术人的工作以及在提交时可能不构成现有技术的描述的各方面，既不明示地也不暗示地被认为是本公开的现有技术。
[0003]芯片生产中，通常需要人工对料盘内的芯片进行检测，并且需要目视判断产品是否损坏，受限于人工检测效率较低，进而影响了产品的检测速率。
[0004]随着芯片发展，一个芯片具有多个不同的面需要采用不同的检测设备进行检测，现有的光学检测设备不能满足CMOS芯片等带有偏振特性芯片的缺陷检测需求。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的缺陷，本申请提供一种连续旋转偏振的检测装置，以解决现有技术不能满足带有偏振特性芯片的缺陷检测需求的问题。
[0006]本专利技术的上述目的主要是通过如下技术方案予以实现的：
[0007]一种连续旋转偏振的检测装置，其包括：
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续旋转偏振的检测装置，其特征在于，其包括：光源，可输出不同颜色的第一光路；第一反光部和第二反光部，所述第一反光部设于所述第一光路的路径中，并反射所述第一光路至所述第二反光部上，所述第二反光部用于设在芯片上方，并反射所述第一光路至所述芯片上；拍摄部，用于设在所述芯片上方，并用于对所述芯片进行图像拍摄；起偏部，可转动的设于所述光源与所述第一反光部之间，以使所述第一光路具备第一角度偏振态；检偏部，可转动的设于所述拍摄部与所述第二反光部之间，且所述检偏部具有第二角度偏振态。2.如权利要求1所述连续旋转偏振的检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括驱动部，所述驱动部的输出端与所述起偏部连接，并用于驱动所述起偏部轴向旋转。3.如权利要求2所述连续旋转偏振的检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括控制器及指示件，所述指示件设于所述驱动部上，并当所述驱动部每驱动所述起偏部旋转一圈时，向所述控制器输出识别信号，所述控制器与所述驱动部连接，并通过所述识别信号控制所述起偏部的旋转角度。4.如权利要求3所述连续旋转偏振的检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：王林梓，张立芳，白宇，付欢，马铁中，
申请(专利权)人：昂坤视觉北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：