【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片制作，特别涉及一种用于晶圆成像的扫描方法、装置、存储介质及电子设备。
技术介绍
1、集成电路前道晶圆工艺控制缺陷检测通常由光学方式的全检和电子束式的抽检组合进行，全检的工艺节拍决定了整个fab晶圆的产量输出，随着现代电子设备的普及以及ai人工智能的推广，对于芯片、存储器等带来周期性的需求爆发，在有限扩产的fab内单产线各工艺环节提高生产节拍成为fab当前的迫切需求，在相同的检测设备成本投入下，前道全检中晶圆缺陷检测节拍的提高能够提高整个fab的产能。
2、目前集成电路晶圆缺陷自动光学检测设备晶圆成像常规采用弓字形扫描成像方案。采用弓字形扫描方式，扫描路径由两个轴，横向轴负责每行扫描，竖向轴负责移动成像至下一行。两行之间的转换由上一行的减速停止，下一行成像宽度的加减速移动，下一样扫描开始的加速过程。两行之间的转换过程无扫描成像，对于整个扫描过程是停顿过程。导致在进行扫描成像时效率低的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种用于晶圆成像的扫...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆成像的扫描方法，其特征在于，用于控制集成有图像采集装置的运动平台对晶圆进行螺旋扫描成像，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的用于晶圆成像的扫描方法，其特征在于，所述根据所述轨迹曲线控制所述运动平台对所述晶圆从外向内进行螺旋扫描成像的步骤包括：
3.根据权利要求1所述的用于晶圆成像的扫描方法，其特征在于，所述根据所述轨迹曲线控制所述运动平台对所述晶圆从外向内进行螺旋扫描成像的步骤还包括：
4.根据权利要求2所述的用于晶圆成像的扫描方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的用于晶圆成像的...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆成像的扫描方法，其特征在于，用于控制集成有图像采集装置的运动平台对晶圆进行螺旋扫描成像，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的用于晶圆成像的扫描方法，其特征在于，所述根据所述轨迹曲线控制所述运动平台对所述晶圆从外向内进行螺旋扫描成像的步骤包括：
3.根据权利要求1所述的用于晶圆成像的扫描方法，其特征在于，所述根据所述轨迹曲线控制所述运动平台对所述晶圆从外向内进行螺旋扫描成像的步骤还包括：
4.根据权利要求2所述的用于晶圆成像的扫描方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的用于晶圆成像的扫描方法，其特征在于，所述扫描线速度与所述图像采集装置的采集频率匹配；
6.根据权利要求1所述的用于晶圆成像的扫描方法，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：马铁中，林新鹏，陈森，
申请(专利权)人：昂坤视觉北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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