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本发明公开了一种用于晶圆成像的扫描方法、装置、存储介质及电子设备，用于控制集成有图像采集装置的运动平台对晶圆进行螺旋扫描成像，该方法包括：获取在晶圆上的扫描半径、扫描线速度、以及螺旋的螺距，并根据扫描半径、扫描线速度以及螺旋的螺距计算运动平...
该专利属于昂坤视觉（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昂坤视觉（北京）科技有限公司授权不得商用。

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