一种蘑菇云MEMS仿生压电矢量水听器制造技术

本发明专利技术属于防生水听器技术领域，具体为一种蘑菇云MEMS仿生压电矢量水听器，解决了背景技术中的技术问题，其包括蘑菇云型仿生纤毛、硅基底器件层、套筒形硅材衬底和四个感应模块，硅基底器件层覆盖至套筒形硅材衬底的上端口，且套筒形硅材衬底和硅基底器件层之间通过埋氧层相连，硅基底器件层中间镂空形成正交十字梁，蘑菇云型仿生纤毛刚性连接至正交十字梁的中心，四个感应模块分别固定至正交十字梁的四根粱臂上，感应模块从上至下依次包括上电极层、压电层和下电极层。蘑菇云型仿生纤毛的摆动会引起该正交方向上十字梁的形变而基本不会造成另一正交方向上梁的形变，可有效降低交叉灵敏度的干扰。叉灵敏度的干扰。叉灵敏度的干扰。

【技术实现步骤摘要】
一种蘑菇云MEMS仿生压电矢量水听器


[0001]本专利技术属于防生水听器
，具体为一种蘑菇云MEMS仿生压电矢量水听器。

技术介绍

[0002]国内外当前压电水听器，基本以一维传感为主，不能同时感知水平多方向的速度脉动，单个传感器无法探测水下通信领域的矢量性特征。由于压电材料本身无功耗，基于压电材料制备MEMS矢量水听器，其多方向性性能研究尤为突出，且在大规模生产和低制造成本方面具有很大优势。声压信息的采集由压电薄膜实现，当声信号作用在水听器上时，振动薄膜在声信号的作用下产生应变，由于AlN的正压电效应，在压电层的上下表面将感应出极性相反的等量电荷，电荷经过水听器的电极传送至后端电荷放大器中，实现对声信号的检测。由于采用大敏感面积、多阵列的结构使得压电水听器能够感应微弱的声压变化，具有低频响应好、高灵敏度的特点。随着MEMS技术的发展，传感器的小型化已成为必然。MEMS技术具有体积小，重量轻，功耗低，性能稳定等优点，适合批量生产，价格低廉，易于与IC集成。因此，MEMS矢量水听器是未来水听器的发展趋势。由于压电材料本身无功耗，基于压电材本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蘑菇云MEMS仿生压电矢量水听器，其特征在于，包括蘑菇云型仿生纤毛(1)、硅基底器件层(5)、套筒形硅材衬底(9)和四个感应模块(8)，硅基底器件层(5)覆盖至套筒形硅材衬底(9)的上端口，且套筒形硅材衬底(9)和硅基底器件层(5)之间通过埋氧层(6)相连，硅基底器件层(5)中间镂空形成正交十字梁，蘑菇云型仿生纤毛(1)刚性连接至正交十字梁的中心，四个感应模块(8)分别固定至正交十字梁的四根粱臂上，感应模块(8)从上至下依次包括上电极层(2)、至少一层的压电层(3)和下电极层(4)。2.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔丹凤，薛晨阳，臧俊斌，张志东，段潇雅，李鹏璐，范正，巫春生，
申请(专利权)人：苏州恒朝科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：