温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于防生水听器技术领域，具体为一种蘑菇云MEMS仿生压电矢量水听器，解决了背景技术中的技术问题，其包括蘑菇云型仿生纤毛、硅基底器件层、套筒形硅材衬底和四个感应模块，硅基底器件层覆盖至套筒形硅材衬底的上端口，且套筒形硅材衬底和硅基底器件...
该专利属于苏州恒朝科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州恒朝科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。