一种压电器件及其制备方法技术

本申请属于水声测量及半导体器件技术领域，提供一种压电器件及其制备方法，所述压电器件包括第一压电模块、第二压电模块及导电平板；所述第一压电模块包括带有第一基底的第一阵列，所述第一阵列包括多个具有第一高度的第一压电柱；所述第二压电模块包括带有第二基底的第二阵列，所述第二阵列包括多个具有第二高度的第二压电柱；所述第一基底与所述第二基底的电极性相同，所述第一阵列的端面与所述第二阵列的端面对向地固定连接至导电平板的两侧。本申请提供的压电器件，采用对向堆叠的压电柱阵列，能够在保持压电器件截面尺寸不变的情况下全面地提升压电器件的灵敏度，有利于对极微弱的水声信号的识别。弱的水声信号的识别。弱的水声信号的识别。

【技术实现步骤摘要】
一种压电器件及其制备方法


[0001]本申请属于水声测量及半导体器件
，具体地，提供一种压电器件及其制备方法。

技术介绍

[0002]水声换能器通过压电效应将水声信号与电信号进行互相转换，是水声信号处理领域的关键设备。提升水声换能器性能的关键在于改进其使用的压电器件(也称为压电振子、敏感元件)的性能，例如，当前针对于中高频接收水声换能器(水听器)性能改进的研究主要集中在提高换能器的接收灵敏度方面，即通过提高换能器的机电转换效率，实现接收灵敏度的提高，进而增强换能器接收微弱信号的能力以及增大探测范围。
[0003]现有技术中提高换能器的接收灵敏度主要通过提高换能器的机电转换效率实现。例如，目前常见的1
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3型压电复合材料就是通过将整块压电材料的厚度振动转化为许多压电小柱的纵向伸缩振动，改变了材料的振动模态从而来提高性能的。通过将单相的压电材料切割成压电小柱阵列，其整块压电材料的厚度振动（机电耦合系数约为0.5）将转化为压电小柱阵列的纵向长度伸缩振动（机电耦合系数约为0.7），通过改变材料的振动模态，1
‑<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电器件，其特征在于：包括第一压电模块、第二压电模块及导电平板；所述第一压电模块包括带有第一基底的第一阵列，所述第一阵列包括多个具有第一高度的第一压电柱；所述第二压电模块包括带有第二基底的第二阵列，所述第二阵列包括多个具有第二高度的第二压电柱；所述第一基底与所述第二基底的电极性相同，所述第一阵列的端面与所述第二阵列的端面对向地固定连接至导电平板的两侧。2.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于：每个所述第一压电柱的横截面为具有第一边长的正方形，所述第一高度与所述第一边长的比值大于等于5；每个所述第二压电柱的横截面为具有第二边长的正方形，所述第二高度与所述第二边长的比值大于等于5。3.根据权利要求2所述的压电器件，其特征在于：所述第一阵列的阵列周期与所述第一边长的比值为1.3～1.5；所述第二阵列的阵列周期与所述第二边长的比值为1.3～1.5。4.根据权利要求1所述的压电器件，其特征在于：所述第一高度等于所述第二高度且所述第一阵列与所述第二阵列相对于所述导电平板镜像对称；所述第一基底的厚度与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晨旭，荣畋，李剑锋，李迎春，王金龙，赵扬，罗清华，周志权，韩良，罗敏，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学威海，
类型：发明
国别省市：