一种基于真空系统P/T变化过程的系统框架技术方案

本发明专利技术的一种基于真空系统P/T变化过程的系统框架，属于真空技术领域，包括静态定点计算和动态计算，静态定点计算主要为两组互锁的极限真空度与抽速之间的计算，初始条件仅为腔室及管道的信息，主要功能为抽排腔室内部空间气体；动态计算主要为定点的高真空计算及实时压强/时间曲线，需将真空系统所有信息填写完整，根据逻辑进行相关的真空计算。本发明专利技术的有益效果是动态定点计算可实现从大气压一直到高真空各个压强段的时间计算，逻辑内部自动判断输入目标压强所在的压强范围以及各个泵之间的关系，进行自动计算。进行自动计算。进行自动计算。

【技术实现步骤摘要】
一种基于真空系统P/T变化过程的系统框架


[0001]本专利技术涉及真空
，具体讲是一种基于真空系统P/T变化过程的系统框架。

技术介绍

[0002]随着真空技术的发展，越来越多形式的真空设备逐渐投入市场，尤其是科技领域，对真空环境的要求日益增多，以满足各种实验的需求。
[0003]随着真空需求的不断增多，关于真空系统的真空计算也逐步产生了相应的需求，各个真空设备生产厂家也对不同要求的真空度设备进行单独的计算。但由于计算方式并未统一，且每次计算都需要重新对计算过程进行梳理，导致计算过程繁琐，且计算结果精度不高。同时，单独对于计算而言只有静态单点计算方式，并不能体现出整个真空系统的P/T变化过程，无法很直观的看出整个真空系统的特性。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种基于真空系统P/T变化过程的系统框架，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]本专利技术的技术方案是：系统框架包括真空系统计算的逻辑框图，此逻辑框图针对真空计算底层程序进行了详细的描述。
[0006]其中，真空计算底层程序包括低真空计算程序和高真空计算程序；
[0007]具体的，低真空计算程序：
[0008][0009][0010]具体的，高真空计算程序：
[0011]由于在高真空计算中存在多种材质，且在程序中定义的全部为变量代码，无法直接推到出T关于Pz的函数，故用逆向思维进行求解，判断Pz与目标P之间的差值，进行循环计算，终止时记录T。
[0012][0013]由于在在动态计算中，可选项为中间泵，所以还需增加一个自动判断逻辑程序；
[0014]具体的，自动判断逻辑程序：
[0015][0016]'判断中间泵是否参与'。
[0017]此逻辑框图主要分为两大层面：一为静态定点计算，二为动态计算。静态定点计算主要为两组互锁的极限真空度与抽速之间的计算，初始条件仅为腔室及管道的信息，主要功能为抽排腔室内部空间气体；动态计算主要为定点的高真空计算及实时压强/时间曲线，需将真空系统所有信息填写完整，根据逻辑进行相关的真空计算，动态定点计算可实现从大气压一直到高真空各个压强段的时间计算，逻辑内部自动判断输入目标压强所在的压强范围以及各个泵之间的关系，进行自动计算；在动态计算中，可选项为中间泵，可根据实际需要增加相应的中间泵进行计算，中间泵与主抽泵之间通过主抽泵的开启压强进行自动切换。除此之外，在真空系统的所有相关计算中，任何计算结果都带有相应的安全系数，每次计算有且仅有一个安全系数。
[0018]逻辑中必要输入量：
[0019]L/W/HorD/H、q1、n、PorSp
’
、Sp、Np、S、S
’
、N、Pk、N
’
、P、P
’
；
[0020]逻辑中非必要输入量：
[0021]D1/D2、D3/H3、S3、q2、q3；
[0022]各参数定义：
[0023]L/W/H：方形腔体的长/宽/高；
[0024]D/H：圆形腔体的直径与长度；
[0025]q1：不锈钢静态放气率(可在界面更改)；
[0026]n：安全系数；
[0027]P
’
：静态极限压强(有默认值，静态放气率状态)；
[0028]Sp
’
：静态压强下抽速；
[0029]Sp：预抽泵抽速；
[0030]Np：预抽泵数量；
[0031]S：主抽泵抽速；
[0032]N：主抽泵数量；
[0033]S
’
：中间泵抽速；
[0034]N
’
：中间泵数量；
[0035]Pk：主抽泵开启压强；
[0036]P：目标压强；
[0037]D1/D2：胶圈内径与线径；
[0038]D3/H3：真空管道直径与长度；
[0039]S3：其他材质面积；
[0040]q2：胶圈静态放气率(有默认值，可在界面更改)；
[0041]q3：其他材质静态放气率(有默认值，可在界面更改)。
[0042]曲线界面为各个压强段的时间/压强曲线，由于压强范围为大气到高真空，故压强坐标为Log坐标，数据之间相对应的转换及曲线全部由内部自动处理，输出曲线为LogP/T曲线。
[0043]本专利技术通过改进在此提供一种基于真空系统P/T变化过程的系统框架，与现有技术相比，具有如下改进及优点：
[0044]本专利技术自动计算程度高，使用方便，功能多样；本专利技术能够针对真空系统快速进行动态计算。
附图说明
[0045]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步解释:
[0046]图1为本专利技术的真空系统计算的逻辑框图。
具体实施方式
[0047]下面将结合附图1对本专利技术进行详细说明，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0048]在真空领域，为了使设备初期的方案阶段计算更加方便、快捷、准确的计算，需要对整体计算进行集成，形成计算界面，保证计算统一的过程中更方便、快捷。
[0049]本专利技术通过改进在此提供一种基于真空系统P/T变化过程的系统框架，真空系统计算的逻辑框图如图1所示，此逻辑框图针对真空计算底层程序进行了详细的描述，各线型功能及参数如下：
[0050]线型：
[0051]黑色虚线：代表可选择性功能；
[0052]灰色虚线：代表相对应程序位置报警功能；
[0053]双点划线：代表互锁功能；
[0054]灰色实线：代表静态计算路径；
[0055]黑色实线：代表动态计算路径；
[0056]逻辑中必要输入量：
[0057]L/W/HorD/H、q1、n、PorSp
’
、Sp、Np、S、S
’
、N、Pk、N
’
、P、P
’
；
[0058]逻辑中非必要输入量：
[0059]D1/D2、D3/H3、S3、q2、q3；
[0060]各参数定义：
[0061]L/W/H：方形腔体的长/宽/高；
[0062]D/H：圆形腔体的直径与长度；
[0063]q1：不锈钢静态放气率(可在界面更改)；
[0064]n：安全系数；
[0065]P
’
：静态极限压强(有默认值，静态放气率状态)；
[0066]Sp
’
：静态压强下抽速；
[0067]Sp：预抽泵抽速；
[0068]Np：预抽泵数量；
[0069]S：主抽泵抽速；
[0070]N：主抽泵数本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于真空系统P/T变化过程的系统框架，包括真空系统计算的逻辑框图，其特征在于：所述逻辑框图即真空计算底层程序，所述逻辑框图包括静态定点计算和动态计算；静态定点计算为两组互锁的极限真空度与抽速之间的计算，功能为抽排腔室内部空间气体；动态计算为定点的高真空计算及实时压强/时间曲线，高真空计算需将真空系统所有信息填写完整，根据逻辑进行真空计算。2.根据权利要求1所述的一种基于真空系统P/T变化过程的系统框架，其特征在于：所述真空计算底层程序包括低真空计算程序和高真空计算程序。3.根据权利要求1所述的一种基于真空系统P/T变化过程的系统框架，其特征在于：在所述动态计算中，能够根据需求...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭壮柱，
申请(专利权)人：北京中科科美科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：