一种有机发光显示基板(1)及其制作方法、有机发光显示装置(100)。有机发光显示基板(1)包括衬底和(101)位于衬底(101)一侧且依次设置的有机层(102)、阳极层(104)、有机功能层(105)和阴极层(106)，在被动矩阵有机发光显示区(20)，有机层(102)包括沿第一方向间隔排列且沿第二方向延伸的多个槽(1020)，阳极层(104)包括阵列排布的多个第一阳极(1041)和沿第一方向间隔排列且沿第二方向延伸的多个遮挡部(1042)，多个遮挡部(1042)和多个槽(1020)在衬底(101)上的正投影分布于多个第一阳极(1041)在衬底(101)上的正投影的各个沿第二方向延伸的间隙中，且每个遮挡部(1042)与一个槽(1020)在衬底(101)上的正投影部分交叠以形成隔断槽(103)，阴极层(106)包括沿第二方向延伸且沿第一方向交替排列的多个阴极条(1061)和多个阴极材料部(1062)，每个阴极材料部(1062)位于一个隔断槽(103)内且与相邻阴极条(1061)不连接。不连接。不连接。
【技术实现步骤摘要】
有机发光显示基板及其制作方法、有机发光显示装置
[0001]本申请是于2020年4月29日提交的题为“有机发光显示基板及其制作方法、有机发光显示装置”的中国专利申请No.202080000642.5的分案申请，该中国专利申请No.202080000642.5为PCT申请PCT/CN2020/087912进入国家阶段的申请。
[0002]本公开涉及显示
，尤其涉及一种有机发光显示基板及其制作方法、有机发光显示装置。
技术介绍
[0003]由于具有自发光、对比度高、视角宽、功耗低、响应速度快以及制造成本低等一系列优异特性，有机发光器件作为新一代显示装置的基础，受到越来越多的关注。
[0004]有机发光显示基板的制作良品率，是制约有机发光显示装置走向大规模应用的一个关键问题。
技术实现思路
[0005]根据本公开实施例的一方面，提供一种有机发光显示基板，包括被动矩阵有机发光显示区，有机发光显示基板包括：
[0006]衬底；
[0007]有机层，位于衬底的一侧，包括位于被动矩阵有机发光显示区的沿第一方向间隔排列且沿第二方向延伸的多个槽；
[0008]阳极层，位于有机层远离衬底的表面，包括位于被动矩阵有机发光显示区的呈阵列排布的多个第一阳极，以及位于被动矩阵有机发光显示区的沿第一方向间隔排列且沿第二方向延伸的多个遮挡部，多个遮挡部在衬底上的正投影以及多个槽在衬底上的正投影分布于多个第一阳极在衬底上的正投影的各个沿第二方向延伸的间隙中，并且每个遮挡部在衬底上的正投影与一个槽在衬底上的正投影部分交叠，以形成隔断槽；
[0009]有机功能层，形成于阳极层远离衬底的一侧；以及
[0010]阴极层，形成于有机功能层远离衬底的一侧，包括位于被动矩阵有机发光显示区的沿第二方向延伸且沿第一方向交替排列的多个阴极条和多个阴极材料部，其中，每个阴极条比阳极层更加远离衬底，每个阴极材料部位于一个隔断槽内且与相邻的阴极条不相连接。
[0011]在一些实施例中，有机功能层包括位于被动矩阵有机发光显示区的多个第一部分和多个第二部分，其中，每个第一部分比阳极层更加远离衬底，每个第二部分位于一个隔断槽内且与相邻的第一部分不相连接。
[0012]在一些实施例中，每个遮挡部包括位于槽的两岸且间隔设置的两个遮挡条，两个遮挡条在衬底上的正投影分别与槽在衬底上的正投影部分交叠。
[0013]在一些实施例中，有机层包括第一有机层和第二有机层，有机发光显示基板在所
述衬底的一侧还包括第一数据金属层、第一无机层、第二数据金属层、像素界定层和隔垫物层，其中：
[0014]第一数据金属层、第一无机层、第一有机层、第二数据金属层、第二有机层、阳极层、像素界定层、隔垫物层、有机功能层和阴极层沿远离衬底的方向依次设置；
[0015]在被动矩阵有机发光显示区，第二数据金属层通过多个第一过孔与第一数据金属层连接，通过多个第二过孔与阳极层连接，任意沿第一方向相邻的两个第一阳极之间通过第一数据金属层或第二数据金属层连接。
[0016]在一些实施例中，槽贯穿第二有机层并且延伸至第一有机层内。
[0017]在一些实施例中，每个槽在衬底上的正投影的沿第一方向的宽度为5微米
‑
10微米。
[0018]在一些实施例中，每个槽在垂直于衬底方向上的深度为2微米
‑
2.5微米。
[0019]在一些实施例中，每个槽的两个侧壁与底壁的夹角分别为120度
‑
140度。
[0020]在一些实施例中，每个遮挡条在衬底上的正投影与对应的槽在衬底上的正投影的交叠部分的沿第一方向的宽度为0.8微米
‑
1微米。
[0021]在一些实施例中，所述的有机发光显示基板，还包括主动矩阵有机发光显示区，有机发光显示基板还包括位于衬底与第一数据金属层之间、且沿远离衬底的方向依次设置的半导体层、第一绝缘层、第一栅金属层、第二绝缘层、第二栅金属层和第三绝缘层，其中：
[0022]在主动矩阵有机发光显示区，第一数据金属层通过多个第三过孔与半导体层连接，通过多个第四过孔与第二数据金属层连接，阳极层通过多个第五过孔与第二数据金属层连接。
[0023]在一些实施例中，主动矩阵有机发光显示区围绕被动矩阵有机发光显示区的部分边缘；或者，主动矩阵有机发光显示区包绕被动矩阵有机发光显示区。
[0024]在一些实施例中，衬底包括第一有机柔性层、第二有机柔性层，以及位于第一有机柔性层和第二有机柔性层之间的第一无机阻挡层。
[0025]根据本公开实施例的另一方面，提供一种有机发光显示装置，包括前述任一实施例的有机发光显示基板。
[0026]在一些实施例中，有机发光显示基板还包括主动矩阵有机发光显示区；有机发光显示装置还包括：在有机发光显示基板上的正投影位于被动矩阵有机发光显示区的至少一个功能器件。
[0027]根据本公开实施例的又一方面，提供一种有机发光显示基板的制作方法，有机发光显示基板包括被动矩阵有机发光显示区，制作方法包括：
[0028]在衬底的一侧形成有机层；
[0029]在有机层远离衬底的表面形成阳极层，阳极层包括位于被动矩阵有机发光显示区的呈阵列排布的多个第一阳极，以及位于被动矩阵有机发光显示区的沿第一方向间隔排列且沿第二方向延伸的多个遮挡部，多个遮挡部在衬底上的正投影分布于多个第一阳极在衬底上的正投影的各个沿第二方向延伸的间隙中；
[0030]在阳极层远离衬底的一侧依次形成像素界定层和隔垫物层；
[0031]对有机层进行刻蚀，形成位于被动矩阵有机发光显示区的沿第二方向延伸的多个槽，多个槽在衬底上的正投影分布于多个第一阳极在衬底上的正投影的各个沿第二方向延
伸的间隙中，并且每个槽在衬底上的正投影与一个遮挡部在衬底上的正投影部分交叠，以形成隔断槽；
[0032]在隔垫物层远离衬底的一侧依次形成有机功能层和阴极层，其中，阴极层包括位于被动矩阵有机发光显示区的沿第二方向延伸且沿第一方向交替排列的多个阴极条和多个阴极材料部，其中，每个阴极条比阳极层更加远离衬底，每个阴极材料部位于一个隔断槽内且与相邻的阴极条不相连接。
[0033]在一些实施例中，对有机层进行刻蚀包括：
[0034]在隔垫物层远离衬底的一侧形成硬掩模，硬掩模对应隔断槽的槽口的区域为镂空区域；
[0035]透过硬掩模对有机层进行干刻，形成槽；
[0036]剥离掉硬掩模。
[0037]在一些实施例中，形成硬掩模包括：
[0038]在隔垫物层远离衬底的一侧依次形成硬掩模覆盖层和光致刻蚀剂覆盖层；
[0039]对光致刻蚀剂覆盖层依次进行曝光和显影，得到光致刻蚀剂保护掩模，光致刻蚀剂保护掩模对应隔断槽的槽口的区域为镂空区域；
[0040]透过光致刻蚀剂保护掩模对硬掩模覆盖层进行湿刻，得到硬掩模。
[0041]在一些实施例中，硬掩本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种有机发光显示基板，包括第一有机发光显示区，有机发光显示基板包括：衬底；有机层，位于衬底的一侧，包括位于第一有机发光显示区的沿第一方向间隔排列且沿第二方向延伸的多个槽；阳极层，位于所述有机层远离衬底的表面，包括位于第一有机发光显示区的呈阵列排布的多个第一阳极；多个遮挡部，位于第一有机发光显示区，所述遮挡部沿第一方向间隔排列且沿第二方向延伸，至少部分相邻的两个第一阳极在衬底上的正投影之间具有沿第二方向延伸的间隙，多个遮挡部在衬底上的正投影以及多个槽在衬底上的正投影分布于所述间隙中；每个遮挡部在衬底上的正投影与一个槽在衬底上的正投影部分交叠，以形成隔断槽；有机功能层，形成于阳极层远离衬底的一侧；以及阴极层，形成于有机功能层远离衬底的一侧，包括位于第一有机发光显示区的沿第二方向延伸且沿第一方向交替排列的多个阴极条和多个阴极材料部，其中，每个阴极材料部位于一个隔断槽内且与相邻的阴极条不相连接。2.根据权利要求1所述的有机发光显示基板，其中，有机功能层包括位于第一有机发光显示区的多个第一部分和多个第二部分，其中，第一部分比阳极层更加远离衬底，第二部分位于一个隔断槽内且与相邻的第一部分不相连接。3.根据权利要求1所述的有机发光显示基板，其中，每个遮挡部包括位于槽的第一方向上的两岸且间隔设置的两个遮挡条，两个遮挡条在衬底上的正投影分别与槽在衬底上的正投影部分交叠。4.根据权利要求3所述的有机发光显示基板，其中，在第一方向上，所述两个遮挡条之间的间隔小于所述槽的开口的尺寸。5.根据权利要求3所述的有机发光显示基板，其中，所述槽的远离所述衬底基板的一侧的开口尺寸，大于所述槽的槽底的尺寸。6.根据权利要求3所述的有机发光显示基板，其中，有机层包括第一有机层和第二有机层，有机发光显示基板在所述衬底的一侧还包括第一数据金属层、第一绝缘层、第二数据金属层、像素界定层和隔垫物层，其中：第一数据金属层、第一绝缘层、第一有机层、第二数据金属层、第二有机层、阳极层、像素界定层、隔垫物层、有机功能层和阴极层沿远离衬底的方向依次设置。7.根据权利要求3所述的有机发光显示基板，其中，在第一有机发光显示区包括第一连接结构；沿第一方向排布的至少两个第一阳极之间通过所述第一连接结构连接。8.根据权利要求7所述的有机发光显示基板，其中，在第一有机发光显示区还包括第二连接结构，通过多个第一过孔与第一连接结构连接，通过多个过孔与阳极层连接；所述第一连接结构与第一数据金属层同层，所述第二连接结构与所述第二数据金属结构同层。9.根据权利要求1所述的有机发光显示基板，其中，所述槽的深度小于所述有机层的厚度。10.根据权利要求6所述的有机发光显示基板，其中，每个槽贯穿第二有机层并且延伸至第一有机层内。11.根据权利要求6所述的有机发光显示基板，其中，每个槽在衬底上的正投影的沿第
一方向的宽度为5微米
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10微米。12.根据权利要求6所述的有机发光显...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾立，高涛，
申请(专利权)人：成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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