一种圆顶安装治具制造技术

本发明专利技术公开一种圆顶安装治具，用于将圆顶组件安装于腔室顶盖内侧，圆顶组件具有多个连接孔，用于配合连接件锁定圆顶组件和腔室顶盖，且多个连接孔围绕圆顶组件的轴线环形分布，包括固定板、驱动机构和支架；固定板通过驱动机构安装于支架；驱动机构用于驱动固定板带动圆顶组件沿预设方向朝向腔室顶盖动作；固定板具有安装面，用于暂固圆顶组件，固定板上设置有与圆顶组件的多个连接孔对应的通孔结构；圆顶组件的多个连接孔中至少两个连接孔形成第一连接孔组，通孔结构包括与第一连接孔组对应的第一通孔组，第一通孔组用于露出第一连接孔组，以当圆顶组件与腔室顶盖接触时锁紧圆顶组件与腔室顶盖。该治具可实现简单快速可靠且单人安装圆顶组件。单人安装圆顶组件。单人安装圆顶组件。

【技术实现步骤摘要】
一种圆顶安装治具


[0001]本专利技术涉及安装治具
，特别涉及一种圆顶安装治具。

技术介绍

[0002]目前机台圆顶由两人安装，且安装过程中容易造成圆顶磕碰甚至破损、或者因圆顶滑动造成机台上气体注入的密封O形环脱落，从而导致密封失效，发生故障警报，延长维修时间，增加维修成本。

技术实现思路

[0003]根据一些实施例，本申请提供一种圆顶安装治具，用于将圆顶组件安装于腔室顶盖内侧，所述圆顶组件具有用于配合连接件锁定所述圆顶组件和所述腔室顶盖的多个连接孔，且所述多个连接孔围绕所述圆顶组件的轴线环形分布，包括：固定板、驱动机构和支架；
[0004]所述固定板通过所述驱动机构安装于所述支架；所述驱动机构用于驱动所述固定板带动所述圆顶组件沿预设方向朝向所述腔室顶盖动作；
[0005]所述固定板具有安装面，用于暂固所述圆顶组件，所述固定板上设置有与所述圆顶组件的多个连接孔对应的通孔结构；所述圆顶组件的多个连接孔中至少两个连接孔形成第一连接孔组，所述通孔结构包括与所述第一连接孔组对应的第一通孔组，所述第一通孔组用于露出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种圆顶安装治具，用于将圆顶组件安装于腔室顶盖内侧，所述圆顶组件具有多个连接孔，用于配合连接件锁定所述圆顶组件和所述腔室顶盖，且所述多个连接孔围绕所述圆顶组件的轴线环形分布，其特征在于，包括：固定板、驱动机构和支架；所述固定板通过所述驱动机构安装于所述支架；所述驱动机构用于驱动所述固定板带动所述圆顶组件沿预设方向朝向所述腔室顶盖动作；所述固定板具有安装面，用于暂固所述圆顶组件，所述固定板上设置有与所述圆顶组件的多个连接孔对应的通孔结构；所述圆顶组件的多个连接孔中至少两个连接孔形成第一连接孔组，所述通孔结构包括与所述第一连接孔组对应的第一通孔组，所述第一通孔组用于露出所述第一连接孔组，以当所述圆顶组件与所述腔室顶盖接触时锁紧所述圆顶组件与所述腔室顶盖。2.根据权利要求1所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述第一通孔组包括与所述第一连接孔组中的连接孔一一对应的第一通孔。3.根据权利要求1所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述圆顶组件的多个连接孔中至少两个连接孔形成第二连接孔组；所述圆顶安装治具还包括安装于所述固定板的定位机构，所述定位机构凸出于所述安装面并与所述第二连接孔组配合定位。4.根据权利要求3所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述通孔结构还包括与所述第二连接孔组对应的第二通孔组；所述第二通孔组包括与所述第二连接孔组中的连接孔一一对应的第二通孔，所述定位机构包括与所述第二通孔一一对应的定位杆，所述定位杆与所述第二通孔连接并探出所述安装面。5.根据权利要求1所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述圆顶安装治具还包括第一导向机构，所述第一导向机构安装于所述腔室顶盖，并与所述固定板滑动配合以为所述圆顶组件朝向所述腔室顶盖动作时提供导向作用。6.根据权利要求5所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述圆顶组件的多个连接孔中至少一个连接孔形成第三连接孔组，所述通孔结构还包括与所述第三连接孔组对应的第三通孔组，所述第一导向机构包括与所述第三连接孔组中连接孔一一对应的第一导向杆，所述第一导向杆用于与所述第三连接孔组以及所述第三通孔组配合导向。7.根据权利要求6所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈浩淼，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：