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本发明公开一种圆顶安装治具，用于将圆顶组件安装于腔室顶盖内侧，圆顶组件具有多个连接孔，用于配合连接件锁定圆顶组件和腔室顶盖，且多个连接孔围绕圆顶组件的轴线环形分布，包括固定板、驱动机构和支架；固定板通过驱动机构安装于支架；驱动机构用于驱动固...
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