本发明专利技术实施例公开了一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统，传样装置包括旋转抵触抓取部和端盖部，且旋转抵触抓取部与端盖部之间通过弹性复位元件组连接，其中，旋转抵触抓取部至少包括自内而外顺次套接且同轴设置的中轴组件、至少一组内套筒组件和外套筒组件；且，至少内套筒组件和外套筒组件中远离端盖部的一端各自形成有与样品托配合的配接口；至少内套筒组件和外套筒组件沿周向方向可自转地设置。实现了在不更换传样装置的前提下，能够针对性适配不同的样品托且能够在操作过程中进行自适应/自动切换，大大降低换件时间和真空环境的构建时间，提高整体的操作效率，降低在更换样品托的前提下的操作成本的效果。果。果。
【技术实现步骤摘要】
一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统
[0001]本专利技术实施例涉及真空仪器设备领域，具体涉及一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统。
技术介绍
[0002]在利用真空环境进行的科学研究和工业生产中，人们经常采用真空腔体并通过其内安装的机械装置传输与存放真空腔中的样品。为进行一些实验和生产，人们需要在不破坏真空腔体真空度的前提下利用机械装置对真空内的物品进行抓取、传递和释放。在一些真空内进行通常采用两种具有国际上通用的特定形状的样品托来固定样品。一种是圆台型样品托，头部呈子弹形头部形状，并有横杆。另一种是平板型，具有柄头和较窄的柄颈。对样品托进行抓取、释放和传递是在有关实验和生产中经常使用的一种基本操作。
[0003]现有的真空机械装置中用于抓取、释放和传递样品托的装置仅能实现上述圆台型和平板型两种样品架之一，这是由于两者的形状与尺寸都不一致。然而，随着真空互联装置的普及，经常需要在一个腔体中同时使用两种样品托，再分别传输至不同的实验设备进行后续测量。尽管样品储存台可以简单地通过添加不同形状尺寸的槽，来实现存放两种样品托，至今还没有能同时实现两种样品托的夹持传样装置。现行的解决方案是每次需要抓取另一种形状尺寸的样品托时，将超高真空腔填充至一个大气压后打开腔体，使之暴露大气后再更换另一种样品托对应的夹持传样装置。该操作经常性地将超高真空腔暴露于大气，污染腔体，后续需要通过重新抽真空，烘烤，除气等持续数天的操作恢复来真空，极大地拖延了实验操作的进度。同时，由于真空操作系统在安装和使用中对设备紧凑性的要求，往往每个法兰接口对应的夹持传样装置需要穿过口径狭小的阀延伸到另一腔体的储样台，不可能为了不同的样品托而设置多个并排接口。并且，接口的增加也会导致腔体，隔断阀的口径成倍增加，进而导致设备的成本大幅增加和稳定性降低。
技术实现思路
[0004]为此，本专利技术实施例提供一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统，通过中轴组件、内套筒组件和外套筒组件的配合，实现在不更换传样装置的前提下，能够针对性适配不同的样品托且能够在操作过程中进行自适应切换，大大降低换件时间和真空环境的构建时间，提高整体的操作效率，降低在更换样品托的前提下的操作成本的一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术的实施方式提供如下技术方案：
[0006]在本专利技术实施例的一个方面，提供了一种同轴可切换样品托的传样装置，包括沿轴向方向顺次设置的旋转抵触抓取部和端盖部，且所述旋转抵触抓取部与所述端盖部之间通过弹性复位元件组连接，其中，所述旋转抵触抓取部至少包括自内而外顺次套接且同轴设置的中轴组件、至少一组内套筒组件和外套筒组件；且，
[0007]至少所述内套筒组件和所述外套筒组件中远离所述端盖部的一端各自形成有与
样品托配合的配接口；
[0008]所述中轴组件和/或所述内套筒组件中远离所述端盖部的一端形成有对样品托进行抵触的抵触部，所述弹性复位元件组向所述中轴组件和/或所述内套筒组件提供背离所述端盖部的力，以使得所述中轴组件和/或所述内套筒组件与相邻的套接于外侧的所述内套筒组件和/或所述外套筒组件之间形成的抵触间隙能够向位于所述抵触间隙中的所述样品托施加抵触力；
[0009]至少所述内套筒组件和所述外套筒组件沿周向方向可自转地设置。
[0010]作为本专利技术的一种优选方案，所述外套筒组件上的第一配接口设置于外周面上，所述内套筒组件上的第二配接口设置于远离所述端盖部的端面上。
[0011]作为本专利技术的一种优选方案，所述第一配接口包括自所述外套筒组件中远离所述端盖部的一端的部分外周面沿轴向方向向内延伸的延伸通道，以及自所述延伸通道中靠近所述端盖部的一侧沿周向方向环绕形成的卡接通道；
[0012]所述第二配接口包括自所述内套筒组件中远离所述端盖部的端面上向内凹陷形成的型槽口，且所述型槽口的面积小于内部的所述内套筒组件或所述中轴组件的端面的面积；
[0013]所述中轴组件中远离所述端盖部的端面上形成有与所述型槽口至少部分相对应的嵌槽。
[0014]作为本专利技术的一种优选方案，所述第一配接口为一组相对设置于所述外套筒组件外周面上的形成为L型的弧形槽，所述第二配接口为自所述内套筒组件的端面向内延伸的矩形槽。
[0015]作为本专利技术的一种优选方案，所述外套筒组件包括沿轴向方向自远离所述端盖部的一端至靠近所述端盖部的一端顺次形成的筒身和筒尾，且所述筒尾的外径大于所述筒身的外径，所述筒尾的内径大于所述筒身的内径；
[0016]所述筒尾中远离所述筒身的一端的内壁上形成有内螺纹，所述端盖部包括底座，以及自所述底座朝向所述旋转抵触抓取部延伸的旋装件，所述旋装件的外表面形成有外螺纹。
[0017]作为本专利技术的一种优选方案，套接于所述外套筒组件内的所述内套筒组件包括沿轴向方向顺次形成的套合筒和卡接筒，且所述套合筒的外径不大于所述筒身的内径，所述卡接筒的外径大于所述筒身的内径，且不大于所述筒尾的内径；
[0018]所述卡接筒的外壁与所述筒尾的内壁上沿轴向方向还配合形成有凹槽和凸条，以使得所述外套筒组件与所述内套筒组件仅能沿轴向方向发生位移。
[0019]作为本专利技术的一种优选方案，所述弹性复位元件组包括位于所述内套筒组件与所述端盖部之间的粗弹簧，以及位于所述中轴组件与所述端盖部之间的细弹簧。
[0020]作为本专利技术的一种优选方案，所述端盖部中朝向所述旋转抵触抓取部的一端向上凸起形成有多个同轴设置的凸环，所述凸环的外侧和内部各自抵触有其中一个所述粗弹簧或所述细弹簧的其中一端，所述粗弹簧的另一端抵触所述内套筒组件中的卡接筒的端面上，所述细弹簧的另一端抵触所述中轴组件的端面。
[0021]作为本专利技术的一种优选方案，所述外套筒组件和所述内套筒组件上沿径向方向设置有轴线在同一条直径上的观察通孔；
[0022]所述中轴组件的外表面中与所述观察通孔在径向方向相对应的位置上形成有标识；
[0023]所述标识沿周向方向延伸设置。
[0024]作为本专利技术的一种优选方案，与位于最外层的所述内套筒组件相邻的所述内套筒组件或所述中轴组件的外表面上沿径向方向向内凹陷形成有容纳槽，所述容纳槽中通过弹性件收纳有限位块，位于最外层的所述内套筒组件和所述外套筒组件的卡接通道上各自形成有贯通的定位孔，向内挤压所述内套筒组件能够使得两个所述定位孔在径向方向上相对应，所述限位块能够贯穿所述定位孔并延伸至所述卡接通道中；
[0025]所述限位块沿轴向方向的前端和后端形成为自靠近所述中轴组件的一端至远离所述中轴组件的一端向内收缩的斜面。
[0026]在本专利技术实施例的另一个方面，还提供了一种超高真空传样系统，包括根据上述所述的同轴可切换样品托的传样装置，以及多种接口不同的样品托。
[0027]作为本专利技术的一种优选方案，样品托至少包括圆台型样品托和方板型样品托
[0028]本专利技术的实施方式具有如本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种同轴可切换样品托的传样装置，其特征在于，包括沿轴向方向顺次设置的旋转抵触抓取部和端盖部(800)，且所述旋转抵触抓取部与所述端盖部(800)之间通过弹性复位元件组连接，其中，所述旋转抵触抓取部至少包括自内而外顺次套接且同轴设置的中轴组件(600)、至少一组内套筒组件(400)和外套筒组件(300)；且，至少所述内套筒组件(400)和所述外套筒组件(300)中远离所述端盖部(800)的一端各自形成有与样品托配合的配接口；所述中轴组件(600)和/或所述内套筒组件(400)中远离所述端盖部(800)的一端形成有对样品托进行抵触的抵触部，所述弹性复位元件组向所述中轴组件(600)和/或所述内套筒组件(400)提供背离所述端盖部(800)的力，以使得所述中轴组件(600)和/或所述内套筒组件(400)与相邻的套接于外侧的所述内套筒组件(400)和/或所述外套筒组件(300)之间形成的抵触间隙能够向位于所述抵触间隙中的所述样品托施加抵触力；至少所述内套筒组件(400)和所述外套筒组件(300)沿周向方向可自转地设置。2.根据权利要求1所述的一种同轴可切换样品托的传样装置，其特征在于，所述外套筒组件(300)上的第一配接口(310)设置于外周面上，所述内套筒组件(400)上的第二配接口(410)设置于远离所述端盖部(800)的端面上。3.根据权利要求2所述的一种同轴可切换样品托的传样装置，其特征在于，所述第一配接口(310)包括自所述外套筒组件(300)中远离所述端盖部(800)的一端的部分外周面沿轴向方向向内延伸的延伸通道，以及自所述延伸通道中靠近所述端盖部(800)的一侧沿周向方向环绕形成的卡接通道；所述第二配接口(410)包括自所述内套筒组件(400)中远离所述端盖部(800)的端面上向内凹陷形成的型槽口，且所述型槽口的面积小于内部的所述内套筒组件(400)或所述中轴组件(600)的端面的面积；所述中轴组件(600)中远离所述端盖部(800)的端面上形成有与所述型槽口至少部分相对应的嵌槽(610)；优选地，所述第一配接口(310)为一组相对设置于所述外套筒组件(300)外周面上的形成为L型的弧形槽，所述第二配接口(410)为自所述内套筒组件(400)的端面向内延伸的矩形槽。4.根据权利要求1
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3中任意一项所述的一种同轴可切换样品托的传样装置，其特征在于，所述外套筒组件(300)包括沿轴向方向自远离所述端盖部(800)的一端至靠近所述端盖部(800)的一端顺次形成的筒身和筒尾(320)，且所述筒尾(320)的外径大于所述筒身的外径，所述筒尾(320)的内径大于所述筒身的内径；所述筒尾(320)中远离所述筒身的一端的内壁上形成有内螺纹，所述端盖部(800)包括底座，以及自所述底座朝向所述旋转抵触抓取部延伸的旋装件，所述旋装件的外表面形...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘立巍，王业亮，杨涵，黄元，马远骁，叶术军，杨惠霞，张腾，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：
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