一种用于晶圆输送的升降机配重机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆输送的升降机配重机构，包括配重块放置架，配重块放置架内可放置一根或多根配重块；配重块放置架上设有配重块压板；配重块放置架上设有与升降机导轨接触且可沿升降机导轨移动的导轮组件；配重块放置架上还设有助滑块。本实用新型专利技术提供的配重机构，设置的配重块压板可固定配重块位置，防止配重块在升降机高速运行时晃动或掉落，另外设置的导轮组件和助滑块可有效防止配重机构左右和前后晃动，减少备件更换及维修的次数和时间，在保证设备稳定运行的同时也大大提升了产品出货的效率。因此，本申请所提供的配重机构在半导体加工制造、尤其是晶圆的运输过程具有较好的实用价值和技术改进意义。过程具有较好的实用价值和技术改进意义。过程具有较好的实用价值和技术改进意义。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆输送的升降机配重机构


[0001]本技术属于硅晶圆加工
，具体涉及一种用于晶圆输送的升降机配重机构。

技术介绍

[0002]在晶圆加工完成及装盒包装后，为方便储存与出货，需要将其放入到自动仓储中，自动仓储由多层货架、输送机构、堆垛机、升降机等构成，由堆垛机将产品放入或取出货架，通过升降机将产品跨楼层上下运送，并利用计算机实现对产品取放的控制和管理。
[0003]在自动仓储实际使用过程中，堆垛机将产品从货架上取出后放到输送机，输送机将其送至升降机，升降机将产品由二楼储存区送至一楼出货区，最后装箱出货。在此过程中升降机需要高速地上下运行，同时升降机配重机构也高速升降，现有配重机构仅安装塑料材质的滑块来防止配重机构晃动，由于配重机构过重且高速运行导致滑块极易磨损失效，也就导致升降机的配重机构会前后左右的来回晃动，而前后晃动会使配重机构与升降机外壳或吊篮产生摩擦，左右晃动会使配重机构的外侧配重块压板与升降机的导轨发生摩擦，导致压板在使用一段时间后就会因磨损严重而有断裂的风险，一旦断裂就会导致升降机无法使用，因此需要经常维修及更本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆输送的升降机配重机构，包括配重块放置架，其特征在于，所述配重块放置架内可放置一根或多根配重块；所述配重块放置架上设有配重块压板，所述配重块压板与所述配重块放置架固定后，与放置的最顶部的配重块接触；所述配重块放置架上设有与升降机导轨接触且可沿所述升降机导轨移动的导轮组件；所述配重块放置架上还设有助滑块，所述助滑块的侧面设有可容纳所述升降机导轨边缘部分的长槽，当所述配重机构上下运行时，所述助滑块可沿所述升降机导轨移动，并使所述升降机导轨与所述配重块放置架处于同一平面。2.如权利要求1所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，所述配重块放置架包括左侧放置杆和右侧放置杆，所述左侧放置杆和所述右侧放置杆的内侧均设有用于放置所述配重块的U型槽。3.如权利要求2所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，所述左侧放置杆和所述右侧放置杆的上部分别开设有配重块安装孔。4.如权利要求1所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，所述配重块压板包括内压板和外压板，所述内压板和所述外压板分别置于所述配重块放置架的两侧，并通过第一螺丝连接固定。5.如权利要求1所述的用于晶圆输送的升降机配重机构，其特征在于，所述配重块放置架的下侧设有配重块支撑块，用于支撑放置的最底部...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴泓明，钟佑生，陈志刚，周军磊，李常存，
申请(专利权)人：郑州合晶硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：