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本实用新型公开了一种用于晶圆输送的升降机配重机构，包括配重块放置架，配重块放置架内可放置一根或多根配重块；配重块放置架上设有配重块压板；配重块放置架上设有与升降机导轨接触且可沿升降机导轨移动的导轮组件；配重块放置架上还设有助滑块。本实用新型...
该专利属于郑州合晶硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州合晶硅材料有限公司授权不得商用。

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