谐振装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及谐振装置。本发明专利技术提供一种谐振装置，具备：下盖，具有凹部；和谐振器，该谐振器搭载于下盖，并具有振动臂和保持部，振动臂能够在包含凹部在内的空间进行面外弯曲振动，保持部设置在振动臂的周围且具有与振动臂的末端部对置的对置部分，保持部的对置部分位于比直线靠谐振器的外侧，该直线将从振动臂的末端部朝向下盖的凹部延伸的垂线与下盖的凹部的交点、和振动臂的末端部侧的凹部的开口边缘连结。结。结。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】谐振装置


[0001]本专利技术涉及谐振装置。

技术介绍

[0002]作为在电子设备中用于实现计时功能的器件，使用压电振子等谐振器。随着电子设备的小型化，谐振器也被要求小型化，使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微电子机械系统)技术而被制造的谐振器(以下，也称为“MEMS振子”)备受关注。
[0003]例如，在专利文献1中记载了如下结构：通过使振动臂过激励，使振动臂上的调整膜与上盖的底板及下盖的底板中的至少一方碰撞而削去调整膜，由此减小振动臂的重量，调整谐振器的谐振频率。
[0004]专利文献1：国际公开第2017/212677号公报
[0005]然而，在现有的技术中，在使振动臂过激励的情况下，若从振动臂飞散的调整膜飞散到上盖与谐振器之间的间隙、谐振器的内壁，则存在产生绝缘不良的担忧。
[0006]此外，这样的课题不限于使振动臂过激励的情况，在针对与下盖接合的谐振器，使用离子束等对调整膜进行修整加工来调整振动臂的谐振频率的情况下也同样产生。

技术实现思路

[0007]本专利技术是鉴于这样的状况而完成的，其目的在于提供一种谐振装置，该谐振装置在调整振动臂的谐振频率时，能够抑制因来自振动臂的飞散物而产生绝缘不良。
[0008]本专利技术的一个方式所涉及的谐振装置具备：下盖，具有第一凹部；和谐振器，该谐振器搭载于上述下盖，并具有振动臂和保持部，上述振动臂能够在包含上述第一凹部在内的空间进行面外弯曲振动，上述保持部设置在上述振动臂的周围且具有与上述振动臂的末端部对置的对置部分，上述保持部的上述对置部分位于比直线靠上述谐振器的外侧，该直线将从上述振动臂的末端部朝向上述下盖的上述第一凹部延伸的垂线与上述下盖的上述第一凹部的交点、和上述振动臂的末端部侧的上述第一凹部的开口边缘连结。
[0009]根据本专利技术，在调整振动臂的谐振频率时，能够抑制因来自振动臂的飞散物而产生绝缘不良。
附图说明
[0010]图1是简要地表示本专利技术的第一实施方式所涉及的谐振装置的外观的立体图。
[0011]图2是简要地表示本专利技术的第一实施方式所涉及的谐振装置的构造的分解立体图。
[0012]图3是取下了上侧基板的本专利技术的第一实施方式所涉及的谐振器的俯视图。
[0013]图4是沿着图1的AA
′
线的剖视图。
[0014]图5是用于说明谐振器的频率调整方法的一个例子的图。
[0015]图6是简要地表示本专利技术的第一实施方式所涉及的谐振装置的主要部分的图。
[0016]图7是用于说明本专利技术的第一实施方式所涉及的谐振装置的功能的图。
[0017]图8是简要地表示本专利技术的第二实施方式所涉及的谐振装置的主要部分的图。
[0018]图9是用于说明本专利技术的第二实施方式所涉及的谐振装置的功能的图。
[0019]图10是简要地表示本专利技术的第三实施方式所涉及的谐振装置的主要部分的图。
[0020]图11是用于说明本专利技术的第三实施方式所涉及的谐振装置的功能的图。
[0021]图12是简要地表示本专利技术的第四实施方式所涉及的谐振装置的主要部分的图。
[0022]图13是用于说明本专利技术的第四实施方式所涉及的谐振装置的功能的图。
[0023]图14是简要地表示本专利技术的第五实施方式所涉及的谐振装置的主要部分的图。
[0024]图15是用于说明本专利技术的第五实施方式所涉及的谐振装置的功能的图。
[0025]图16是简要地表示本专利技术的第六实施方式所涉及的谐振装置的主要部分的图。
具体实施方式
[0026][第一实施方式][0027]以下，参照附图对本专利技术的第一实施方式进行说明。图1是简要地表示本专利技术的第一实施方式所涉及的谐振装置1的外观的立体图。另外，图2是简要地表示本专利技术的第一实施方式所涉及的谐振装置1的构造的分解立体图。
[0028]该谐振装置1具备谐振器10、和隔着谐振器10相互对置地设置的盖体(上盖30及下盖20)。即，谐振装置1通过将下盖20、谐振器10以及上盖30依次层叠而构成。
[0029]另外，谐振器10与下盖20及上盖30被接合，由此将谐振器10密封并形成谐振器10的振动空间。谐振器10、下盖20以及上盖30分别使用Si基板来形成。而且，谐振器10、下盖20以及上盖30的Si基板彼此相互接合。谐振器10及下盖20也可以使用SOI基板来形成。
[0030]谐振器10是使用MEMS技术而被制造的MEMS谐振器。此外，在本实施方式中，以谐振器10使用硅基板来形成为例进行说明。以下，对谐振装置1的各结构详细地进行说明。
[0031](1.上盖30)
[0032]上盖30具有沿着XY平面设置的矩形平板状的底板32、和从底板32的周缘部沿Z轴方向(即，上盖30与谐振器10的层叠方向)延伸的侧壁33。在上盖30中，在与谐振器10对置的面，设置有由底板32的表面与侧壁33的内表面形成的凹部31(第二凹部的一个例子)。凹部31形成供谐振器10振动的空间亦即振动空间的一部分。
[0033](2.下盖20)
[0034]下盖20具备沿着XY平面设置的矩形平板状的底板22、和从底板22的周缘部沿Z轴方向(即，下盖20与谐振器10的层叠方向)延伸的侧壁23。在下盖20中，在与谐振器10对置的面，设置有由底板22的表面与侧壁23的内表面形成的凹部21(第一凹部的一个例子)。凹部21形成谐振器10的振动空间的一部分。借助上述的上盖30和下盖20，该振动空间被气密地密封，维持真空状态。也可以在该振动空间填充例如惰性气体等气体。
[0035](3.谐振器10)
[0036]图3是简要地表示本实施方式所涉及的谐振器10的构造的俯视图。使用图3对本实施方式所涉及的谐振器10的各结构进行说明。谐振器10具备振动部120、保持部140以及保持臂110。
[0037](a)振动部120
[0038]振动部120具有沿着图3的正交坐标系中的XY平面扩展的矩形的轮廓。振动部120设置于保持部140的内侧，在振动部120与保持部140之间以规定的间隔形成有空间。在图3的例子中，振动部120具有基部130和四个振动臂135A～135D(也统称为“振动臂135”)。此外，振动臂的数量并不限定于四个，例如设定为一个以上的任意数量。在本实施方式中，各振动臂135与基部130一体地形成。
[0039]基部130具有前端的面131A(以下，也称为“前端131A”)和后端的面131B(以下，也称为“后端131B”)。基部130的前端131A和后端131B设置为相互对置。
[0040]基部130在前端131A与后述的振动臂135连接，在后端131B与后述的保持臂110连接。基部130在从前端131A朝向后端131B的方向上的前端131A与后端131B的最长距离亦即基部长度为40μm左右。另外，基部130在与基部长度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种谐振装置，其中，具备：下盖，具有第一凹部；和谐振器，该谐振器搭载于所述下盖，并具有振动臂和保持部，所述振动臂能够在包含所述第一凹部在内的空间进行面外弯曲振动，所述保持部设置在所述振动臂的周围且具有与所述振动臂的末端部对置的对置部分，所述保持部的所述对置部分位于比直线靠所述谐振器的外侧，所述直线将从所述振动臂的末端部朝向所述下盖的所述第一凹部延伸的垂线与所述下盖的所述第一凹部的交点、和所述振动臂的末端部侧的所述第一凹部的开口边缘连结。2.根据权利要求1所述的谐振装置，其中，所述谐振装置还具备上盖，所述上盖具有第二凹部，并被配置成所述第二凹部与所述下盖的所述第一凹部对置的朝向，所述谐振器配置在所述上盖和所述下盖之间，所述振动臂能够在包含所述上盖的所述第二凹部和所述下盖的所述第一凹部在内的空间进行面外弯曲振动。3.根据权利要求2所述的谐振装置，其中，所述振动臂的末端部侧的所述第二凹部的开口边缘位于比所述振动臂的末端部侧的所述第一凹部的开口边缘靠所述谐振器的内侧。4.根据权利要求2所述的谐振装置，其中，所述振动臂的末端部侧的所述第二凹部的开口边缘位于比所述振动臂的末端部侧的所述第一凹部的开口边缘靠所述谐振器的外侧。5.根据权利要求2～4中任一项所述的谐振装置，其中，所述振动臂的末端部侧的所述第二凹部的...

【专利技术属性】
技术研发人员：福光政和，岸武彦，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：