具备：振动部，其具有基部和多个振动臂，上述基部具有前端和与上述前端相向的后端，上述多个振动臂的固定端与基部的前端连接并且向离开前端的方向延伸，多个振动臂包括至少一个第1振动臂和位于包括至少一个第1振动臂的第1振动臂组的与长边方向交叉方向的两侧的一对第2振动臂；保持部，其设置于振动部四周的至少局部；以及保持臂，其一端与基部连接，并且另一端与保持部连接，多个振动部具有：压电膜、以及之间隔着压电膜而相向设置的下部电极和上部电极，将一对第2振动臂各自的上部电极相互连结的连结布线设置于基部和保持臂中至少一者的区域。的区域。的区域。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】谐振子和谐振装置
[0001]本专利技术涉及谐振子和谐振装置。
技术介绍
[0002]在电子设备中，作为用于实现计时功能的设备，使用压电振子等谐振子。伴随着电子设备的小型化，谐振子也要求小型化，使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技术而制造的谐振子(以下，也称为“MEMS振子”)受到关注。
[0003]例如，专利文献1记载有如下结构：在具有4个振动臂的振子中，使位于内侧的两个振动臂与位于外侧的两个振动臂反相屈曲振动。
[0004]专利文献1：日本特许第6292229号公报
[0005]然而，在现有技术中，针对用于对多个振动臂中的屈曲振动的相位进行控制的布线的引绕没有进行研究。
技术实现思路
[0006]本专利技术是鉴于这样的状况而完成的，目的在于提供通过简化布线的引绕而能够减少布线中的电容并使振动特性稳定的谐振子和谐振装置。
[0007]本专利技术的一方面所涉及的谐振子具备：振动部，其具有基部和多个振动臂，上述基部具有前端和与前端相向的后端，上述多个振动臂的固定端与基部的前端连接并且向离开前端的方向延伸，多个振动臂包括至少一个第1振动臂和位于包括至少一个第1振动臂的第1振动臂组的与长边方向交叉的方向的两侧的一对第2振动臂；保持部，其设置于振动部四周的至少局部；以及保持臂，其一端与基部连接，并且另一端与保持部连接，多个振动部具有：压电膜以及之间隔着压电膜而相向设置的下部电极和上部电极，将一对第2振动臂各自的上部电极相互连结的连结布线设置于基部和保持臂中至少一者的区域。
[0008]根据本专利技术，通过简化布线的引绕，能够减少布线处的电容而使振动特性稳定。
附图说明
[0009]图1是概略地示出本专利技术的第1实施方式所涉及的谐振装置的外观的立体图。
[0010]图2是概略地示出本专利技术的第1实施方式所涉及的谐振装置的构造的分解立体图。
[0011]图3是取下了上侧基板的本专利技术的第1实施方式所涉及的谐振子的俯视图。
[0012]图4是沿着图3的AA
′
线的剖视图。
[0013]图5是沿着图3的BB
′
线的剖视图。
[0014]图6是取下了上侧基板的本专利技术的第2实施方式所涉及的谐振子的俯视图。
[0015]图7是沿着图7的AA
′
线的剖视图。
[0016]图8是取下了上侧基板的本专利技术的第3实施方式所涉及的谐振子的俯视图。
[0017]图9是取下了上侧基板的本专利技术的第4实施方式所涉及的谐振子的俯视图。
[0018]图10是取下了上侧基板的本专利技术的第5实施方式所涉及的谐振子的俯视图。
具体实施方式
[0019][第1实施方式][0020]以下，参照附图对本专利技术的第1实施方式进行说明。图1是概略地示出本专利技术的第1实施方式所涉及的谐振装置1的外观的立体图。此外，图2是概略地示出本专利技术的第1实施方式所涉及的谐振装置1的构造的分解立体图。
[0021]该谐振装置1具备谐振子10、上盖30、下盖20。上盖30和下盖20设置为隔着谐振子10而相互相向。即，谐振装置1构成为下盖20、谐振子10、上盖30依次层叠。
[0022]此外，通过将谐振子10与下盖20接合，并且将谐振子10与上盖30接合，从而将谐振子10密封。由此，形成有谐振子10的振动空间。谐振子10、下盖20和上盖30分别使用Si基板而形成。而且，谐振子10、下盖20和上盖30的Si基板彼此相互接合。谐振子10和下盖20也可以使用SOI基板而形成。
[0023]谐振子10是使用MEMS技术而制造的MEMS谐振子。另外，在本实施方式中，以谐振子10使用硅基板而形成的情况作为例子进行说明。以下，对谐振装置1的各结构详细地进行说明。
[0024](1.上盖30)
[0025]上盖30沿着XY平面以平板状扩张，在其背面形成有例如具有矩形状的开口的凹部31。凹部31由侧壁33围起，形成谐振子10振动的空间亦即振动空间的局部。
[0026](2.下盖20)
[0027]下盖20具有：沿着XY平面而设置的矩形平板状的底板22；以及从底板22的周缘部沿Z轴方向(即，下盖20与谐振子10的层叠方向)延伸的侧壁23。在下盖20上，且在与谐振子10相向的面上，形成有由底板22的表面和侧壁23的内表面形成的凹部21。凹部21形成谐振子10的振动空间的局部。通过上述的上盖30和下盖20，将该振动空间气密地密封，维持真空状态。也可以在该振动空间填充有例如不活泼气体等气体。
[0028](3.谐振子10)
[0029]图3是概略地示出本实施方式所涉及的谐振子10的构造的俯视图。使用图3对本实施方式所涉及的谐振子10的各结构进行说明。谐振子10具备振动部120、保持部140、保持臂111、112、布线191、192、连结布线193。
[0030](a)振动部120
[0031]振动部120具有：沿着图3的正交坐标系中的XY平面而扩张的矩形的轮廓。振动部120设置于保持部140的内侧，在振动部120与保持部140之间以预定间隔形成有空间。图3的例子中，振动部120具有基部130和4个振动臂135A～135D(也集中称为“振动臂135”)。另外，振动臂的数量不限定于4个，例如也可以设定为3个以上的任意数量。在本实施方式中，各振动臂135与基部130一体地形成。
[0032]基部130具有：Y轴方向上的前端的面131A(以下，也称为“前端131A”)和Y轴方向上的后端的面131B(以下，也称为“后端131B”)。前端131A与后端131B设置为相互相向。
[0033]基部130的前端131A与振动臂135连接。基部130的后端131B与保持臂111、112连接。另外，图3的例子中，在俯视时，基部130具有大致长方形的形状，但不局限于此，相对于沿着长边131a的垂直平分线规定的假想平面P以大致面对称形成即可。基部130例如也可以是长边131b比长边131a短的梯形、以长边131a作为直径的半圆的形状。此外，长边131a、
131b、短边131c、131d不限定于直线，也可以是曲线。
[0034]基部130的Y轴方向上的前端131A与后端131B之间的最长距离例如为40μm左右。此外，基部130的X轴方向上的侧端彼此的最长距离例如为285μm左右。基部130的尺寸是一例，不限定于本实施方式所示的数值。这点上针对其他部位的尺寸也相同。
[0035]振动臂135沿Y轴方向延伸，并具有相同的大小。振动臂135在基部130与保持部140之间与Y轴方向平行地设置，一端与基部130的前端131A连接而成为固定端，另一端成为开放端。此外，振动臂135在X轴方向上以预定间隔并列设置。另外，振动臂135例如X轴方向的宽度为50μm左右，例如Y轴方向的长度为420μm左右。
[0036]振动臂135的开放端本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种谐振子，其特征在于，具备：振动部，其具有基部和多个振动臂，所述基部具有前端和与所述前端相向的后端，所述多个振动臂的固定端与所述基部的所述前端连接，并且向离开所述前端的方向延伸，所述多个振动臂包括至少一个第1振动臂和位于包括所述至少一个第1振动臂的第1振动臂组的与长边方向交叉方向的两侧的一对第2振动臂；保持部，其设置于所述振动部四周的至少局部；以及保持臂，其一端与所述基部连接，并且另一端与所述保持部连接，所述多个振动部具有：压电膜、以及之间隔着所述压电膜而相向设置的下部电极和上部电极，将所述一对第2振动臂各自的所述上部电极相互连结的连结布线设置于所述基部和所述保持臂中至少一者的区域。2....
【专利技术属性】
技术研发人员：樋口敬之，河合良太，井上义久，福光政和，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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