显示面板及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种显示面板及其制作方法。显示面板包括驱动有源部和驱动栅极；显示面板还包括基板、有源层以及第一金属层；有源层设置于基板的一侧，并包括多个驱动有源部；第一金属层设置于有源层远离基板的一侧，并包括多个驱动栅极，一驱动栅极对应位于一驱动有源部远离基板的一侧；其中，驱动有源部包括间隔设置的第一导体化子部和第二导体化子部、以及连接于第一导体化子部和第二导体化子部之间的沟道子部，且沟道子部沿第一方向上的尺寸小于驱动栅极沿第一方向上的尺寸，第一方向为第一导体化子部指向第二导体化子部的方向。本发明专利技术可以实现具有短沟道的驱动晶体管，有效提高驱动晶体管的电流通过能力。动晶体管的电流通过能力。动晶体管的电流通过能力。

【技术实现步骤摘要】
显示面板及其制作方法


[0001]本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种显示面板及其制作方法。

技术介绍

[0002]有机发光二极管(Organic Light
‑
Emitting Diode，OLED)显示器件、Micro
‑
LED(微型发光二极管)以及mini LED（迷你发光二极管）都是采用电流驱动显示的新兴显示技术。
[0003]其中，在OLED、Micro
‑
LED以及mini LED等显示器件中，通过驱动晶体管传输电信号至有机发光层或者LED芯片中，以实现显示器件的发光。因此，驱动晶体管需要具有较大的电流通过能力，而现有的驱动晶体管中常采用氧化物半导体材料作为有源层，若需要提高驱动晶体管的电流通过能力，则需要提高氧化物半导体材料的迁移率，但是氧化物半导体材料提高迁移率的同时会使得稳定性下降，导致驱动晶体管的稳定性和迁移率无法均衡，并不能有效提高驱动晶体管的电流通过能力。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种显示面板及其制作方法，能够实现具有短沟道的驱动晶体管，提高驱动晶体管的电流通过能力。
[0005]本专利技术实施例提供一种显示面板，所述显示面板包括多个驱动晶体管，各所述驱动晶体管包括驱动有源部、驱动栅极以及与所述驱动有源部搭接的驱动源极和驱动漏极；所述显示面板还包括：基板；有源层，设置于所述基板的一侧，并包括多个所述驱动有源部；第一金属层，设置于所述有源层远离所述基板的一侧，并包括多个所述驱动栅极，一所述驱动栅极对应位于一所述驱动有源部远离所述基板的一侧；其中，所述驱动有源部包括间隔设置的第一导体化子部和第二导体化子部、以及连接于所述第一导体化子部和所述第二导体化子部之间的沟道子部，且所述沟道子部沿第一方向上的尺寸小于所述驱动栅极沿所述第一方向上的尺寸，所述第一方向为所述第一导体化子部指向所述第二导体化子部的方向。
[0006]在本专利技术的一种实施例中，所述沟道子部在所述基板上的正投影位于所述驱动栅极在所述基板上的正投影的覆盖范围以内，所述第一导体化子部在所述基板上的正投影、所述第二导体化子部在所述基板上的正投影皆与对应的所述驱动栅极在所述基板上的正投影部分重叠。
[0007]在本专利技术的一种实施例中，所述第一导体化子部在所述基板上的正投影与所述驱动栅极在所述基板上的正投影的重叠部分沿所述第一方向上的长度、以及所述第二导体化子部在所述基板上的正投影与所述驱动栅极在所述基板上的正投影的重叠部分沿所述第一方向上的长度皆大于或等于0.25微米。
[0008]在本专利技术的一种实施例中，所述沟道子部在所述基板上的正投影边界到所述驱动栅极在所述基板上的正投影边界的距离大于或等于2.5微米，所述沟道子部沿所述第一方向上的长度小于或等于2.5微米。
[0009]在本专利技术的一种实施例中，所述第一金属层还包括与多个所述驱动栅极间隔设置的多个存储电极件，每一所述存储电极件皆对应位于一所述驱动有源部远离所述基板的一侧，且一所述存储电极件与对应的一所述驱动有源部的所述第一导体化子部或所述第二导体化子部相对设置。
[0010]在本专利技术的一种实施例中，所述显示面板还包括设置于所述第一金属层远离所述有源层一侧的第二金属层，所述第二金属层包括多个所述驱动源极，一所述驱动源极对应位于一所述驱动栅极远离对应的一所述驱动有源部的一侧，其中，所述驱动源极与所述第一导体化子部电性连接，所述沟道子部在所述基板上的正投影位于所述驱动源极在所述基板上的正投影的覆盖范围以内。
[0011]在本专利技术的一种实施例中，所述第二金属层还包括多个所述驱动漏极，一所述驱动漏极对应位于一所述驱动栅极远离对应的一所述驱动有源部的一侧，且所述驱动漏极与所述第二导体化子部电性连接。
[0012]在本专利技术的一种实施例中，所述显示面板还包括设置于所述第一金属层远离所述基板一侧并与所述第二金属层异层设置的第三金属层，所述第三金属层包括多个所述驱动漏极，一所述驱动漏极对应位于一所述驱动栅极远离对应的一所述驱动有源部的一侧，且所述驱动漏极与所述第二导体化子部电性连接。
[0013]在本专利技术的一种实施例中，所述第三金属层位于所述第二金属层远离所述有源层的一侧，且所述第三金属层还包括第一电源信号线以及多个第一电极件，其中，一所述第一电极件对应与一所述驱动源极电性连接，所述驱动漏极的一端连接于所述第二导体化子部，另一端连接于所述第一电源信号线。
[0014]在本专利技术的一种实施例中，所述第二金属层位于所述第三金属层远离所述有源层的一侧，且所述第二金属层还包括多个第一电极件，且一所述第一电极件对应与一所述驱动源极电性连接，其中，一所述驱动源极的一端连接于对应的一所述驱动有源部的所述第一导体化子部，另一端连接于对应的一所述第一电极件。
[0015]在本专利技术的一种实施例中，所述显示面板还包括多个开关晶体管，一所述开关晶体管与一所述驱动晶体管电性连接，且各所述开关晶体管包括开关有源部、开关栅极以及与所述开关有源部搭接的开关源极和开关漏极；其中，所述有源层包括多个所述开关有源部，所述第一金属层包括多个所述开关栅极，所述第二金属层包括多个所述开关源极、多个所述开关漏极以及多个扫描线，且一所述开关栅极对应位于一所述开关有源部远离所述基板的一侧，一所述扫描线对应位于一所述开关栅极远离对应的一所述开关有源部的一侧。
[0016]根据本专利技术的上述目的，本专利技术实施例还提供一种显示面板的制作方法，所述显示面板包括多个驱动晶体管，各所述驱动晶体管包括驱动有源部、驱动栅极以及与所述驱动有源部搭接的驱动源极和驱动漏极；所述显示面板的制作方法包括以下步骤：提供基板；
在所述基板的一侧形成有源层，所述有源层中形成有多个所述驱动有源部，其中，对各所述驱动有源部进行导体化处理，以在各所述驱动有源部中形成相间隔的第一导体化子部和第二导体化子部、以及连接于所述第一导体化子部和所述第二导体化子部之间的沟道子部；在所述有源层远离所述基板的一侧形成第一金属层，所述第一金属层中形成有多个所述驱动栅极，一所述驱动栅极对应位于一所述驱动有源部远离所述基板的一侧，且所述沟道子部沿第一方向上的长度小于所述驱动栅极沿所述第一方向上的长度，所述第一方向为所述第一导体化子部指向所述第二导体化子部的方向。
[0017]根据本专利技术的上述目的，本专利技术实施例还提供一种显示装置，所述显示装置包括所述显示面板以及装置主体，且所述显示面板与所述装置主体组合为一体。
[0018]本专利技术的有益效果：相对于现有技术，在顶栅结构中采用栅极遮挡并对有源层进行导体化处理，以在有源层中形成沟道和位于沟道两侧的导体化部分，其沟道长度由栅极长度决定，一般等于栅极长度；而本专利技术中驱动有源部的沟道子部的长度小于驱动栅极的长度，以实现具有短沟道的驱动晶体管，有效提高了驱动晶体管的电流通过能力；此外，本专利技术中驱动栅极位于驱动有源部远离基板的一侧，进而防止了驱动栅极远离驱动有源部一侧的膜层中的离子扩散到驱动有源部中而导致驱动有源部的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括多个驱动晶体管，各所述驱动晶体管包括驱动有源部、驱动栅极以及与所述驱动有源部搭接的驱动源极和驱动漏极；所述显示面板还包括：基板；有源层，设置于所述基板的一侧，并包括多个所述驱动有源部；第一金属层，设置于所述有源层远离所述基板的一侧，并包括多个所述驱动栅极，一所述驱动栅极对应位于一所述驱动有源部远离所述基板的一侧；其中，所述驱动有源部包括间隔设置的第一导体化子部和第二导体化子部、以及连接于所述第一导体化子部和所述第二导体化子部之间的沟道子部，且所述沟道子部沿第一方向上的尺寸小于所述驱动栅极沿所述第一方向上的尺寸，所述第一方向为所述第一导体化子部指向所述第二导体化子部的方向。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述沟道子部在所述基板上的正投影位于所述驱动栅极在所述基板上的正投影的覆盖范围以内，所述第一导体化子部在所述基板上的正投影、所述第二导体化子部在所述基板上的正投影皆与对应的所述驱动栅极在所述基板上的正投影部分重叠。3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第一导体化子部在所述基板上的正投影与所述驱动栅极在所述基板上的正投影的重叠部分沿所述第一方向上的长度、以及所述第二导体化子部在所述基板上的正投影与所述驱动栅极在所述基板上的正投影的重叠部分沿所述第一方向上的长度皆大于或等于0.25微米。4.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述沟道子部在所述基板上的正投影边界到所述驱动栅极在所述基板上的正投影边界的距离大于或等于2.5微米，所述沟道子部沿所述第一方向上的长度小于或等于2.5微米。5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属层还包括与多个所述驱动栅极间隔设置的多个存储电极件，每一所述存储电极件皆对应位于一所述驱动有源部远离所述基板的一侧，且一所述存储电极件与对应的一所述驱动有源部的所述第一导体化子部或所述第二导体化子部相对设置。6.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括设置于所述第一金属层远离所述有源层一侧的第二金属层，所述第二金属层包括多个所述驱动源极，一所述驱动源极对应位于一所述驱动栅极远离对应的一所述驱动有源部的一侧，其中，所述驱动源极与所述第一导体化子部电性连接，所述沟道子部在所述基板上的正投影位于所述驱动源极在所述基板上的正投影的覆盖范围以内。7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述第二金属层还包括多个所述驱动漏极，一所述驱动漏极对应位于一所述驱动栅极远离对应的一所述驱动有源部的一侧，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢马才，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：