显示面板及其制作方法、显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种显示面板及其制作方法、显示装置。显示面板还包括：基板、有源层、第一金属层以及第二金属层；有源层设置于基板上，并包括多个驱动有源部，每一驱动有源部包括导体子层与第一半导体子层；第一金属层设置于有源层远离基板的一侧，并包括多个驱动栅极，一驱动栅极对应位于一驱动有源部远离基板的一侧；第二金属层设置于第一金属层远离有源层的一侧，并包括多个驱动源极和多个驱动漏极；其中，导体子层包括间隔设置的第一导体子部和第二导体子部，第一半导体子层至少连接于第一导体子部与第二导体子部之间。本发明专利技术可以实现具有超短沟道的驱动晶体管，并提高驱动晶体管的稳定性和驱动效果。稳定性和驱动效果。稳定性和驱动效果。

【技术实现步骤摘要】
显示面板及其制作方法、显示装置


[0001]本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种显示面板及其制作方法、及具有该显示面板的显示装置。

技术介绍

[0002]有机发光二极管(Organic Light
‑
Emitting Diode，OLED)、微型发光二极管(Micro LED)以及迷你发光二极管（Mini LED）等显示技术都是采用电流驱动显示的新兴显示技术。
[0003]其中，在OLED、Micro LED以及Mini LED等显示器件中，通过驱动晶体管传输电信号至有机发光层或者LED芯片中，以实现显示器件的发光。因此，驱动晶体管需要具有较大的电流通过能力，而现有的驱动晶体管中常采用氧化物半导体材料作为有源层，若需要提高驱动晶体管的电流通过能力，则需要提高氧化物半导体材料的迁移率，但是氧化物半导体材料提高迁移率的同时会使得稳定性下降，导致驱动晶体管的稳定性和迁移率无法均衡，并不能有效提高驱动晶体管的电流通过能力。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种显示面板及其制作方法，能够实现具有短沟道的驱动晶体管，提高驱动晶体管的电流通过能力。
[0005]本专利技术实施例提供一种显示面板，所述显示面板包括多个驱动晶体管，各所述驱动晶体管包括驱动有源部、驱动栅极以及与所述驱动有源部搭接的驱动源极和驱动漏极；所述显示面板还包括：基板；有源层，设置于所述基板上，并包括多个所述驱动有源部，每一所述驱动有源部包括导体子层与第一半导体子层；第一金属层，设置于所述有源层远离所述基板的一侧，并包括多个所述驱动栅极，一所述驱动栅极对应位于一所述驱动有源部远离所述基板的一侧；第二金属层，设置于所述第一金属层远离所述有源层的一侧，并包括多个所述驱动源极和多个所述驱动漏极；其中，在每一所述驱动有源部中，所述导体子层包括间隔设置的第一导体子部和第二导体子部，所述第一半导体子层至少连接于所述第一导体子部与所述第二导体子部之间。
[0006]在本专利技术的一种实施例中，各所述驱动有源部包括源极接触区、漏极接触区以及位于所述源极接触区和所述漏极接触区之间的沟道区，所述导体子层还包括设置于所述第一导体子部与所述第二导体子部之间并位于所述沟道区内的隔断槽；其中，所述第一半导体子层至少填充于所述隔断槽内，至少所述第一导体子部延伸至所述源极接触区，至少所述第二导体子部延伸至所述漏极接触区。
[0007]在本专利技术的一种实施例中，所述显示面板还包括设置于所述第一金属层远离所述有源层一侧的第二金属层，所述第二金属层包括多个所述驱动源极和多个所述驱动漏极，且一所述驱动源极与一所述驱动有源部位于所述源极接触区内的部分电性连接，一所述驱动漏极与一所述驱动有源部位于所述漏极接触区内的部分电性连接。
[0008]在本专利技术的一种实施例中，一所述驱动源极与对应的一所述驱动有源部的所述第一导体子部电性连接，一所述驱动漏极与对应的一所述驱动有源部的所述第二导体子部电性连接。
[0009]在本专利技术的一种实施例中，所述第一半导体子层填充于所述隔断槽内并部分延伸至所述源极接触区和所述漏极接触区内，所述第一半导体子层包括至少设置于所述源极接触区内并位于所述第一导体子部远离所述基板一侧的源极接触子部、以及至少设置于所述漏极接触区内并位于所述第二导体子部远离所述基板一侧的漏极接触子部，且所述源极接触子部与所述第一导体子部电性连接，所述漏极接触子部与所述第二导体子部电性连接。
[0010]在本专利技术的一种实施例中，一所述驱动源极与对应的一所述驱动有源部的所述源极接触子部电性连接，一所述驱动漏极与对应的一所述驱动有源部的所述漏极接触子部电性连接。
[0011]在本专利技术的一种实施例中，在同一所述驱动有源部中，所述隔断槽沿第一方向上的长度小于所述源极接触子部和所述漏极接触子部之间的距离，且所述第一方向为所述源极接触子部指向所述漏极接触子部的方向。
[0012]在本专利技术的一种实施例中，所述隔断槽沿所述第一方向上的长度小于或等于3微米。
[0013]在本专利技术的一种实施例中，一所述驱动有源部的所述隔断槽在所述基板上的正投影位于对应的一所述驱动栅极在所述基板上的正投影的覆盖范围以内。
[0014]在本专利技术的一种实施例中，所述显示面板还包括多个开关晶体管，一所述开关晶体管与一所述驱动晶体管电性连接，各所述开关晶体管包括开关有源部、开关栅极以及与所述开关有源部搭接的开关源极和开关漏极；其中，所述有源层还包括多个所述开关有源部，所述第一金属层还包括多个所述开关栅极，所述第二金属层还包括多个所述开关源极、多个所述开关漏极以及多个扫描线，所述开关有源部包括第二半导体子层，一所述开关栅极对应位于一所述开关有源部远离所述基板的一侧，一所述扫描线对应位于一所述开关栅极远离对应的一所述开关有源部的一侧。
[0015]根据本专利技术的上述目的，本专利技术实施例还提供一种显示面板的制作方法，所述显示面板包括多个驱动晶体管，各所述驱动晶体管包括驱动有源部、驱动栅极以及与所述驱动有源部搭接的驱动源极和驱动漏极；所述显示面板的制作方法包括以下步骤：提供基板；在所述基板上形成有源层，所述有源层包括多个所述驱动有源部，每一所述驱动有源部包括导体子层与第一半导体子层，其中，在每一所述驱动有源部中，所述导体子层包括间隔的第一导体子部和第二导体子部，所述第一半导体子层至少连接于所述第一导体子部与所述第二导体子部之间；
在所述有源层远离所述基板的一侧形成第一金属层，所述第一金属层包括多个所述驱动栅极，一所述驱动栅极对应位于一所述驱动有源部远离所述基板的一侧；在所述第一金属层远离所述有源层的一侧形成第二金属层，所述第二金属层包括多个所述驱动源极和多个所述驱动漏极。
[0016]根据本专利技术的上述目的，本专利技术实施例还提供一种显示装置，所述显示装置包括所述显示面板以及装置主体，所述装置主体与所述显示面板组合为一体。
[0017]本专利技术的有益效果：本专利技术通过在驱动有源部中设置导体子层和第一半导体子层，且导体子层包括间隔设置的第一导体子部和第二导体子部，且第一半导体子层至少连接于第一导体子部和第二导体子部之间，进而驱动有源部可以在第一导体子部和第二导体子部之间的间隔区域内形成沟道，可以通过导体子层的精确光刻得到更小尺寸的沟道，以得到具有超短沟道的驱动晶体管，有效提高驱动晶体管的电流通过能力；此外，本专利技术中驱动栅极位于驱动有源部远离基板的一侧，进而防止驱动栅极远离驱动有源部一侧的膜层中的离子扩散到驱动有源部中而导致驱动有源部的电性受到影响，可以提高驱动晶体管的稳定性和驱动效果。
附图说明
[0018]下面结合附图，通过对本专利技术的具体实施方式详细描述，将使本专利技术的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0019]图1为本专利技术实施例提供的显示面板的一种结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的一种3T1C的像素驱动电路示意图；图3为本专利技术实施例提供的显示面板的另一种结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的显示面板的另一种结构示意图；图5为本专利技术实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括多个驱动晶体管，各所述驱动晶体管包括驱动有源部、驱动栅极以及与所述驱动有源部搭接的驱动源极和驱动漏极；所述显示面板还包括：基板；有源层，设置于所述基板上，并包括多个所述驱动有源部，每一所述驱动有源部包括导体子层与第一半导体子层；第一金属层，设置于所述有源层远离所述基板的一侧，并包括多个所述驱动栅极，一所述驱动栅极对应位于一所述驱动有源部远离所述基板的一侧；第二金属层，设置于所述第一金属层远离所述有源层的一侧，并包括多个所述驱动源极和多个所述驱动漏极；其中，在每一所述驱动有源部中，所述导体子层包括间隔设置的第一导体子部和第二导体子部，所述第一半导体子层至少连接于所述第一导体子部与所述第二导体子部之间。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，各所述驱动有源部包括源极接触区、漏极接触区以及位于所述源极接触区和所述漏极接触区之间的沟道区，所述导体子层还包括设置于所述第一导体子部与所述第二导体子部之间并位于所述沟道区内的隔断槽；其中，所述第一半导体子层至少填充于所述隔断槽内，至少所述第一导体子部延伸至所述源极接触区，至少所述第二导体子部延伸至所述漏极接触区。3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，一所述驱动源极与对应的一所述驱动有源部的所述第一导体子部电性连接，一所述驱动漏极与对应的一所述驱动有源部的所述第二导体子部电性连接。4.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，一所述驱动源极与一所述驱动有源部位于所述源极接触区内的部分电性连接，一所述驱动漏极与一所述驱动有源部位于所述漏极接触区内的部分电性连接。5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述第一半导体子层填充于所述隔断槽内并部分延伸至所述源极接触区和所述漏极接触区内，所述第一半导体子层包括至少设置于所述源极接触区内并位于所述第一导体子部远离所述基板一侧的源极接触子部、以及至少设置于所述漏极接触区内并位于所述第二导体子部远离所述基板一侧的漏极接触子部，且所述源极接触子部与所述第一导体子部电性连接，所述漏极接触子部与所述第二导体子部电性连接。6.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，一所述驱动源极与对应的一所述驱动有源部的所述源极接触子部电性连接，一所述驱动漏极...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚江波，卢马才，刘娟，陈寿清，欧青青，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：