本发明专利技术公开了一种半导体制备装置用超高纯净不锈钢管生产线，包括第一生产区域、第二生产区域、第三生产区域、第一横移区域和第二横移区域，所述第一生产区域包括精轧管设备、内外脱脂装置、光亮热处理装置、矫直装置和齐头装置，第二生产区域包括精密抛光设备、表面检查台和超声波涡流联合无损探伤设备，第三生产区域包括电解抛光和清洗装置、纯化和清洗装置、吹扫干燥装置和包装装置。通过上述方式，本发明专利技术采用自动化装备与流程间的智能化传送装置相结合，构成基本智能化生产线，使流程顺畅、管线连线短，避免生产流程的交叉和迂回往返，使得半导体制备装置用超高纯净不锈钢管制造全程连续生产，保证了整个生产过程高效运行。保证了整个生产过程高效运行。保证了整个生产过程高效运行。
【技术实现步骤摘要】
半导体制备装置用超高纯净不锈钢管生产线
[0001]本专利技术涉及不锈钢管生产设备领域，特别是涉及一种半导体制备装置用超高纯净不锈钢管生产线。
技术介绍
[0002]先进制程对晶圆生产环境纯净度再度提升，才能确保半导体芯片不受污染，提升生产良率。从28纳米走到7纳米，要求输送气体管道的金属杂质要求须下降100倍甚至更低。14纳米及以下先进制程的晶圆，其薄膜层非常薄，对氧气十分敏感，很容易被氧化，因此对晶圆制作的输送特种气体的316L不锈钢无缝管的洁净度要求更高。同时，该超高洁净316L不锈钢无缝管，生产工艺流程复杂。而目前不锈钢管整个生产过程以单机作业为主离散型生产，按离散型生产工序间的物料转移难度较大。同时，半导体精密器件生产过程中需要使用大量多种类的超净高纯特种气体，这种气体的纯净程度对半导体产品的质量和性能有着极大影响，为确保输送气体的清洁程度，需要保证不锈钢管内表面极高的光滑度以及优良的耐磨、耐腐蚀特性。因此，从生产线的设计角度入手，合理布局生产线工艺流程，高效、稳定的生产不锈钢管，减少生产流转过程中出现的损失，对半导体制备装置用超高洁净不锈钢管的产业化生产尤为重要。
[0003]半导体制备装置用超高纯净不锈钢无缝管生产线，通过生产线高质量的制造满足AISI 316L不锈钢无缝管的铁素体含量控制在≤1％、非金属夹杂物超高纯净化、晶粒度控制在5级甚至更细且完全奥氏体组织均匀一致、管内表面粗糙度Ra0.13~0.20μm，Cr/Fe比＞1.5:1，CrOX/FeOX比＞2:1，同时兼顾力学性能、晶间腐蚀性能、疲劳性能等。钢管外径为9.53mm*0.89mm ~76.2mm*2.54mm，外径公差
±
0.02mm~
±
0.05mm，壁厚公差
±
10%，直线0.2mm/m以下，长度为≤12m等技术指标要求。为此，整个精轧管加工要在企业现有管坯制备的基础上，通过配置先进的精轧管、脱脂、固溶热处理、精密矫直、超声波涡流联合探伤、电解抛光、纯化等自动化工序设备以及工序自动联线装置。建立基本的工业化生产工艺技术与流程，使工艺产线布局合理。实现连续稳定生产，减少生产过程的交叉和迂回往返，提高产线自动化水平和生产效率。
技术实现思路
[0004]本专利技术主要解决的技术问题是提供一种半导体制备装置用超高纯净不锈钢管生产线，采用自动化装备与流程间的智能化传送装置相结合，构成基本智能化生产线，使流程顺畅、管线连线短，避免生产流程的交叉和迂回往返，使得半导体制备装置用超高纯净不锈钢管制造全程连续生产，保证了整个生产过程高效运行。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种半导体制备装置用超高纯净不锈钢管生产线，包括呈平行设置的第一生产区域、第二生产区域和第三生产区域，所述第一生产区域和第二生产区域的左侧通过第一横移区域连通，所述第二生产区域和第三生产区域的右侧通过第二横移区域连通，所述第一生产区域的右端为管坯进口，
第三生产区域的左端为成品超高纯净不锈钢管的出口；所述第一生产区域包括从右往左依次设置的精轧管设备、内外脱脂装置、光亮热处理设备和矫直装置，所述第一生产区域内送入的管坯通过粗轧管和精密轧管、外壁脱脂和内壁脱脂、亮固溶热处理炉、矫直处理后送入第一横移区域，管坯再通过第一横移区域进入第二生产区域；所述第二生产区域包括从左往右依次设置的锯切装置、精密抛光装置、表面检查台和超声波涡流联合无损探伤装置，送入所述第二生产区域的管坯通过锯切齐头、抛光处理、表面检查、无损探伤后送入第二横移区域，不锈钢管再通过第二横移区域送入第三成产区域；所述第三生产区域包括电解抛光清洗装置、纯化清洗装置、吹扫干燥装置和包装装置、送入所述第二生产区域的不锈钢管通过电解抛光清洗、纯化清洗吹扫干燥和包装后送入仓储。
[0006]在本专利技术一个较佳实施例中，所述内外脱脂装置对管坯的外壁进油缠绕刮油、环形喷淋、刮脱脂液、二次漂洗和刮水处理进行脱脂，再通过内壁二次脱脂、二次漂洗、管外壁二次漂洗进行内壁脱脂。
[0007]在本专利技术一个较佳实施例中，所述矫直装置为高精度矫直管机，管坯经过矫直处理后被矫管材屈服强度达到200MPa及以上，矫后管材直线度＜0.10
‑
0.20mm/m，矫直盲区控制＜160mm
‑
300mm，矫直速度实现了0
‑
30m/min。
[0008]在本专利技术一个较佳实施例中，所述超声波涡流联合无损探伤装置通过涡流检测系统和PRP无线传输超声探头旋转体探伤系统对钢管进行无损探伤。
[0009]在本专利技术一个较佳实施例中，所述电解抛光清洗装置包括电解抛光设槽区、装卸料区、槽式浸泡超声波清洗区、内孔冲洗区、漂洗区和吹干区，控制酸液温度为45~60℃，直流多脉冲电压≤30V，电流密度为5~50A/dm2，电解抛光时间5~15 min。
[0010]在本专利技术一个较佳实施例中，所述纯化清洗装置包括装卸料区、纯化槽区、槽式浸泡超声波清洗区、内孔清洗区、漂洗区和吹干区。
[0011]在本专利技术一个较佳实施例中，所述吹扫干燥装置先在风淋间内先完成管表面吹扫，然后逐支对内孔通过高纯氮气吹扫，氮气经0.001μm过滤器过滤，含量达到99.999％，温度为60℃
±
5℃。
[0012]在本专利技术一个较佳实施例中，所述第一横移区域和第二横移区域包括定距块式传送带和带式传送带。
[0013]在本专利技术一个较佳实施例中，所述第一生产区域、第二生产区域和第三生产区域的内部通过自动连线设备连通各装置，自动连线设备包括水平和升降输送板链、输送辊道、拨料机构、输送V型辊道、翻料机构和顶升调节装置、输送同步带、储料架和立体库。
[0014]在本专利技术一个较佳实施例中，所述超高纯净不锈钢管的外径为9.53
‑
76.2mm、壁厚为0.89
‑
2.54mm，长度为6
‑
12m。
[0015]本专利技术的有益效果是：本专利技术半导体制备装置用超高纯净不锈钢管生产线，制造过程主要工序均采用辊道装置平行传送，局部采用桥式超重机吊运，使半导体制备装置用超高洁净不锈钢管全流程自动传送，基本实现全流程智能化生产，保证了整个制造过程连续和稳定运行。
[0016]本专利技术半导体制备装置用超高纯净不锈钢管生产线，工艺流程呈Ｓ”形布置，整个制造过程非常流畅，避免了制造过程的在制品物流交叉和迂回往返。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：图1是本专利技术半导体制备装置用超高洁净不锈钢管生产线一较佳实施例的结构示意图；图2是半导体制备装置用超高洁净不锈钢管生产线的工作流程示意图；附图中各部件的标记如下：1、精细轧制装置本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体制备装置用超高纯净不锈钢管生产线，其特征在于，包括呈平行设置的第一生产区域、第二生产区域和第三生产区域，所述第一生产区域和第二生产区域的左侧通过第一横移区域连通，所述第二生产区域和第三生产区域的右侧通过第二横移区域连通，所述第一生产区域的右端为管坯进口，第三生产区域的左端为成品超高纯净不锈钢管的出口；所述第一生产区域包括从右往左依次设置的精轧管设备、内外脱脂装置、光亮热处理装置和矫直装置，所述第一生产区域内送入的管坯通过粗轧管和精密轧管、外壁脱脂和内壁脱脂、亮固溶热处理炉、矫直处理后送入第一横移区域，管坯再通过第一横移区域进入第二生产区域；所述第二生产区域包括从左往右依次设置的锯切装置、精密抛光设备、表面检查台和超声波涡流联合无损探伤设备，送入所述第二生产区域的管坯通过锯切齐头处理、抛光处理、表面检查、无损探伤后送入第二横移区域，不锈钢管再通过第二横移区域送入第三成产区域；所述第三生产区域包括从右往左依次设置的电解抛光清洗装置、纯化清洗装置、吹扫干燥装置和包装装置、送入所述第二生产区域的不锈钢管通过电解抛光清洗、纯化清洗吹扫干燥和包装后送入仓储。2.根据权利要求1所述的半导体制备装置用超高纯净不锈钢管生产线，其特征在于，所述内外脱脂装置对管坯的外壁进油缠绕刮油、环形喷淋、刮脱脂液、二次漂洗和刮水处理进行脱脂，再通过内壁二次脱脂、二次漂洗、管外壁二次漂洗进行内壁脱脂。3.根据权利要求1所述的半导体制备装置用超高纯净不锈钢管生产线，其特征在于，所述矫直装置为高精度矫直管机，管坯经过矫直处理后被矫管材屈服强度达到200MPa及以上，矫后管材直线度＜0.10
‑
0.20mm/m，矫直盲区控制＜160mm
‑
300mm，矫直速度实现了0
‑
30m/min。4.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：高虹，
申请(专利权)人：江苏武进不锈股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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