一种石墨舟移送装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种石墨舟移送装置，包括用于承载石墨舟的支撑装置、用于夹持硅片的夹片装置和用于托举移动石墨舟到支撑装置上的上料装置，支撑装置的顶面一侧设置有夹片装置，且支撑装置的前部设置有上料装置，夹片装置包括移动板、转动组件、升降组件和夹片组件。本发明专利技术克服现有的石墨舟转移运时，借助推车转运到上料机处，然后人工需要搬运石墨舟装料，搬运过程繁杂，劳动强度较大的问题。劳动强度较大的问题。劳动强度较大的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟移送装置


[0001]本专利技术涉及石墨舟转运设备
，尤其涉及一种石墨舟移送装置。

技术介绍

[0002]申请号为202120806650.0，名称为一种PECVD用石墨舟移送装置，包括箱体以及设置在箱体内缓存架和两个移送机构，所述缓存架用于暂存石墨舟，所述缓存架位于两个移送机构之间，所述移送机构上设置有用于承载石墨舟的载料板，所述移送机构用于驱动载料板，将石墨舟移送至缓存架上，通过移送机构和缓存架的设计，实现石墨舟的更换和运输，无需操作人员等待，实现石墨舟生产加工的连续化，提高了生产的效率。
[0003]上述加工完成后的石墨舟转运时，借助推车转运到上料机处，然后需要人工搬运石墨舟装料，搬运过程繁杂，劳动强度较大，并且转运后也无法很好地夹取出石墨舟中的硅片以待取用。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种石墨舟移送装置，旨在改善上述的问题。
[0005]本专利技术是这样实现的：
[0006]一种石墨舟移送装置，包括用于承载石墨舟的支撑装置、用于夹持硅片的夹片装置和用于托举移动石墨舟到支撑装置上的上料装置，支撑装置的顶面一侧设置有夹片装置，且支撑装置的前部设置有上料装置，夹片装置包括移动板、转动组件、升降组件和夹片组件，其中移动板的正上方设置有用于转向的转动组件，且转动组件的顶部竖直向上安装有升降组件，且升降组件上水平设置有用于夹持硅片的夹片组件。
[0007]进一步的，支撑装置包括机箱和顶板，其中机箱的顶面上水平固定有顶板，且顶板的顶面一侧贯穿底面水平开设有多个滑槽，且多个滑槽中均水平滑动安装有用于承载石墨舟的承载滑架，且顶板的顶面另一侧固定有多个用于盛放硅片的放置框，机箱的内部水平固定安装有多个第一气缸，且多个第一气缸的输出端连接在承载滑架的底端面上。
[0008]进一步的，移动板水平固定在顶板的后端面上，且移动板的顶面上水平固定有两根第一滑杆，且移动板的顶面中部贯穿底面开设有通槽，移动板的底面两端均竖直固定有轴承座，且轴承座之间通过轴承转动连接有平移螺杆，移动板一端的轴承座上水平安装有用于驱动平移螺杆的第四电机。
[0009]进一步的，转动组件包括移动座，移动座水平设置在移动板的正上方，且移动座的底面上水平固定有滑动套设在第一滑杆上的第一滑筒，且移动座的底面中部竖直向下贯穿移动板上的通槽水平固定有平移螺筒，且平移螺筒与平移螺杆螺纹贯穿配合连接，移动座的顶面上通过轴承竖直向上转动连接有转轴，且转轴上水平安装有从动齿轮，移动座的顶面上竖直向上安装有第一电机，且第一电机的输出端安装有与从动齿轮啮合的主动齿轮。
[0010]进一步的，升降组件包括滑框板、滑块和平推板，其中滑框板竖直设置在移动座的正上方，且滑框板的底面与转轴的顶面固定连接，且滑框板中竖直滑动安装有滑块，且滑块
的一端转动设置有用于安装夹片组件的平推板，滑框板的顶部竖直向下安装有第二气缸，且第二气缸的输出端连接在滑块上，滑块的另一端水平安装有第二电机。
[0011]进一步的，平推板与滑块之间设置有转架，且转架上的转动杆通过轴承贯穿转动连接在滑块上，且转架上的转动杆端部与第二电机的输出端连接，且转架靠近平推板的一端水平固定有第二气缸，且第二气缸的另一端固定在平推板上，平推板与滑块之间有伸缩杆，且伸缩杆的两端分别固定与平推板与滑块相邻的端面上。
[0012]进一步的，夹片组件包括夹板和夹片，其中夹板水平设置，且夹板的一端固定在平推板上，且夹板上贯穿开设有拼装槽，且夹板的顶面上沿水平方向安装有多个滑座，且多个滑座滑动安装在夹板上的拼装槽中，且多个滑座的底面上竖直向下固定有夹片。
[0013]进一步的，夹板的顶面上沿水平方向竖直开设有多个定位螺孔，滑座上竖直向下螺纹贯穿开设有固定螺栓，且固定螺栓配合定位螺孔用于安装滑座在夹板上，夹片上均贯穿安装有吸盘，且吸盘上连通有吸管，夹板上水平固定有吸泵，且吸泵的进风口连通有进风管，且吸泵的进风管上与吸管连通。
[0014]进一步的，上料装置包括用于抬升石墨舟上料的托料架和用于转运石墨舟的转运板，其中托料架竖直固定在机箱的前端面上，且托料架的前部设置有转运板，且托料架的两侧竖直端面上竖直贯穿开设有滑道，且托料架的中部通过轴承竖直转动连接有托料螺杆，且托料架的底面上竖直固定有第三电机，且第三电机的输出端连接在托料螺杆的底端转轴上，托料架的滑道中竖直滑动安装有托料滑板，且托料滑板的中部竖直贯穿固定有螺纹配合托料螺杆的托料螺筒，且托料滑板的前端面上水平固定有第二滑杆，且第二滑杆的正上方水平滑动设置有托料框，托料框的底面上水平固定有滑动套设在第二滑杆的第二滑筒，且托料框的顶面两端均竖直固定有挡板，且挡板上水平固定有用于压紧石墨舟的第三气缸。
[0015]进一步的，转运板的底面上安装有滚轮，且转运板的顶面上沿水平方向均匀固定有多个支框，且多个支框中水平转动连接有多个导轮，转运板的顶面前端竖直向上固定有推架，且推架靠近转运板的一侧设置有推板，且推架上水平螺纹贯穿安装有推料螺杆，且推料螺杆的一端通过轴承转动连接在推板上，且推板的一端面水平固定有第三滑杆贯穿推架用于导向推板平移。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0017](1)、使用时利用上料装置竖直方向上带动石墨舟进行上升，到达机箱的顶板上，然后将石墨舟放置在承载滑架上，然后使用夹片装置将硅片从石墨舟中均匀夹持铺设在一旁，从而方便夹持使用；
[0018](2)、支撑装置包括机箱和顶板，其中机箱的顶面上水平固定有顶板，且顶板的顶面一侧贯穿底面水平开设有多个滑槽，且多个滑槽中均水平滑动安装有用于承载石墨舟的承载滑架，且顶板的顶面另一侧固定有多个用于盛放硅片的放置框，机箱的内部水平固定安装有多个第一气缸，且多个第一气缸的输出端连接在承载滑架的底端面上，从而方便利用第一气缸驱动承载石墨舟进行滑动转运，便于后期移动进行加热和装载硅片；
[0019](3)、使用时通过第四电机驱动平移螺杆进行转动驱动升降组件在移动板上水平滑动，调节夹持硅片的位置，然后使用第二气缸竖直推动滑块在滑框板中竖直滑动，调节夹片的高度，然后利用夹片组件上的多个夹片上的吸盘，启动吸泵通过吸管连通吸盘，产生负
压吸附硅片在夹片上，然后利用转动组件通过第一电机驱动主动齿轮配合转轴上的从动齿轮进行转动，从而改变夹持的方向，进而实现多方向的夹持调节，提高夹持的灵活性。
[0020](4)、使用时转运板承载携带石墨舟到达脱料架上，然后手动转动推料螺杆水平推动推板进行水平滑动，推动石墨舟在转运板上滑动，推动送到托料框中，然后在通过第三电机带动托料螺杆转动，竖直方向上驱动托料框上升，到达机箱的顶板上，然后将石墨舟放置在承载滑架上。
[0021](5)、使用时将石墨舟放置在移动架的顶部板上，运动到支撑装置的上料处，然后启动第五气缸带动滑块座在滑条上滑动，使滑块座运动到石墨舟正上方，然后启动第四气缸带动滑条朝向石墨舟下移，然后夹架在第六气缸的驱动下夹持石墨舟两端，滑动到本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟移送装置，其特征在于：包括用于承载石墨舟的支撑装置(1)、用于夹持硅片的夹片装置(2)和用于托举移动石墨舟到支撑装置(1)上的上料装置，所述支撑装置(1)的顶面一侧设置有夹片装置(2)，且支撑装置(1)的前部设置有上料装置，所述夹片装置(2)包括移动板(21)、转动组件(25)、升降组件(26)和夹片组件(27)，其中移动板(21)的正上方设置有用于转向的转动组件(25)，且转动组件(25)的顶部竖直向上安装有升降组件(26)，且升降组件(26)上水平设置有用于夹持硅片的夹片组件(27)。2.根据权利要求1所述的一种石墨舟移送装置，其特征在于，所述支撑装置(1)包括机箱(11)和顶板(12)，其中机箱(11)的顶面上水平固定有顶板(12)，且顶板(12)的顶面一侧贯穿底面水平开设有多个滑槽(13)，且多个滑槽(13)中均水平滑动安装有用于承载石墨舟的承载滑架(14)，且顶板(12)的顶面另一侧固定有多个用于盛放硅片的放置框(16)，所述机箱(11)的内部水平固定安装有多个第一气缸(15)，且多个第一气缸(15)的输出端连接在所述承载滑架(14)的底端面上。3.根据权利要求2所述的一种石墨舟移送装置，其特征在于，所述移动板(21)水平固定在顶板(12)的后端面上，且移动板(21)的顶面上水平固定有两根第一滑杆(22)，且移动板(21)的顶面中部贯穿底面开设有通槽，所述移动板(21)的底面两端均竖直固定有轴承座(23)，且轴承座(23)之间通过轴承转动连接有平移螺杆(24)，所述移动板(21)一端的轴承座(23)上水平安装有用于驱动平移螺杆(24)的第四电机。4.根据权利要求3所述的一种石墨舟移送装置，其特征在于，所述转动组件(25)包括移动座(251)，所述移动座(251)水平设置在移动板(21)的正上方，且移动座(251)的底面上水平固定有滑动套设在第一滑杆(22)上的第一滑筒(252)，且移动座(251)的底面中部竖直向下贯穿移动板(21)上的通槽水平固定有平移螺筒(253)，且平移螺筒(253)与平移螺杆(24)螺纹贯穿配合连接，所述移动座(251)的顶面上通过轴承竖直向上转动连接有转轴(254)，且转轴(254)上水平安装有从动齿轮(257)，所述移动座(251)的顶面上竖直向上安装有第一电机(255)，且第一电机(255)的输出端安装有与从动齿轮(257)啮合的主动齿轮(256)。5.根据权利要求4所述的一种石墨舟移送装置，其特征在于，所述升降组件(26)包括滑框板(261)、滑块(262)和平推板(268)，其中滑框板(261)竖直设置在移动座(251)的正上方，且滑框板(261)的底面与转轴(254)的顶面固定连接，且滑框板(261)中竖直滑动安装有滑块(262)，且滑块(262)的一端转动设置有用于安装夹片组件(27)的平推板(268)，所述滑框板(261)的顶部竖直向下安装有第二气缸(263)，且第二气缸(263)的输出端连接在滑块(262)上，所述滑块(262)的另一端水平安装有第二电机(264)。6.根据权利要求5所述的一种石墨舟移送装置，其特征在于，所述平推板(268)与滑块(262)之间设置有转架(265)，且转架(265)上的转动杆通过轴承贯穿转动连接在滑块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈晓，金龙，姬良莉，
申请(专利权)人：江苏格林保尔光伏有限公司，
类型：发明
国别省市：