下载一种石墨舟移送装置的技术资料

文档序号:35698243

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本发明公开了一种石墨舟移送装置,包括用于承载石墨舟的支撑装置、用于夹持硅片的夹片装置和用于托举移动石墨舟到支撑装置上的上料装置,支撑装置的顶面一侧设置有夹片装置,且支撑装置的前部设置有上料装置,夹片装置包括移动板、转动组件、升降组件和夹片组...
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