一种正硅酸乙酯封闭式抽料管制造技术

本实用新型专利技术公开了一种正硅酸乙酯封闭式抽料管，包括：封盖、抽液管、废气连接管、氮气连接管；封盖能够安装在原料桶桶口上，封盖设有贯通封盖的抽液管安装孔、废气连接管安装孔和氮气连接管安装孔；抽液管顶端与快速接头固定连接，抽液管底端伸入原料桶内部，抽液管能够插入抽液管安装孔中与封盖固定连接；废气连接管能够插入废气连接管安装孔中与封盖固定连接，废气连接管能够连接气体回收装置；氮气连接管插入氮气连接管安装孔中与封盖固定连接，氮气连接管能够连接氮气管线。解决了正硅酸乙酯需要从原料桶中通过抽料管导入到原料储罐中，此过程需要保护其不受污染，并且需要回收气体避免事故，普通的抽料管无法满足生产需求的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种正硅酸乙酯封闭式抽料管


[0001]本技术涉及抽料管领域，尤其涉及一种正硅酸乙酯封闭式抽料管。

技术介绍

[0002]随着半导体及集成电路制造技术的发展，对原材料的要求也越来越高，其中对沉积生长二氧化硅所需要的正硅酸乙酯的纯度有了更高的要求。
[0003]正硅酸乙酯在潮湿空气中逐渐混浊、静置后析出硅酸沉淀，正硅酸乙酯易燃且有刺激性。
[0004]生产过程中需要将正硅酸乙酯从原料桶中通过抽料管导入到完全无污染的原料储罐中，此过程需要保护正硅酸乙酯不受污染，并且需要回收正硅酸乙酯气体避免造成事故，普通的抽料管无法满足生产需求。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种正硅酸乙酯封闭式抽料管，以克服正硅酸乙酯需要从原料桶中通过抽料管导入到完全无污染的原料储罐中，此过程需要保护正硅酸乙酯不受污染，并且需要回收正硅酸乙酯气体避免造成事故，普通的抽料管无法满足生产需求的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术的技术方案是：
[0007]一种正硅酸乙酯封闭式抽料管，包括：封盖、抽液管、废气连接管、氮气连接管；
[0008]所述封盖能够安装在原料桶桶口上，所述封盖设有贯通封盖的抽液管安装孔、废气连接管安装孔和氮气连接管安装孔；
[0009]所述抽液管顶端与快速接头固定连接，所述抽液管底端伸入原料桶内部，所述抽液管能够插入抽液管安装孔中与封盖固定连接；
[0010]所述废气连接管能够插入废气连接管安装孔中与封盖固定连接，所述废气连接管能够连接气体回收装置；
[0011]所述氮气连接管插入氮气连接管安装孔中与封盖固定连接，所述氮气连接管能够连接氮气管线。
[0012]进一步的，还包括开关阀、出料管、气动隔膜泵、金属软管；所述金属软管一端连接快速接头，另一端连接气动隔膜泵；所述气动隔膜泵连接出料管，所述出料管设有开关阀。
[0013]进一步的，所述抽液管顶端设有用于连接快速接头的卡套式直通接头。
[0014]进一步的，所述废气连接管顶端设有废气连接管快速接头，所述氮气连接管顶端设有氮气连接管快速接头。
[0015]进一步的，所述封盖设有方便扳手拧紧的矩形紧固块。
[0016]进一步的，所述封盖设有用于与原料桶安装的螺纹。
[0017]进一步的，所述封盖设有裙边。
[0018]本技术有益效果：
[0019]能够安装在原料桶桶口上的封盖开设用于安装废气连接管、氮气连接管的安装
孔，废气连接管能够连接气体回收装置回收原料桶内的正硅酸乙酯气体，氮气连接管能够连接氮气管线使得原料桶内通入氮气不受空气污染，解决了正硅酸乙酯需要从原料桶中通过抽料管导入到完全无污染的原料储罐中，此过程需要保护正硅酸乙酯不受污染，并且需要回收正硅酸乙酯气体避免造成事故，普通的抽料管无法满足生产需求的问题。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术公开的一种正硅酸乙酯封闭式抽料管的结构示意图；
[0022]图2为本技术公开的一种正硅酸乙酯封闭式抽料管加装气动隔膜泵的结构示意图；
[0023]图3为本技术公开的一种正硅酸乙酯封闭式抽料管的封盖的结构示意图；
[0024]图4为本技术公开的一种正硅酸乙酯封闭式抽料管的封盖的剖视图；
[0025]图5为本技术公开的一种正硅酸乙酯封闭式抽料管的废气连接管和氮气连接管的结构示意图；
[0026]图6为本技术公开的一种正硅酸乙酯封闭式抽料管插入原料桶的半剖示意图；
[0027]图中：1、开关阀，2、出料管，3、气动隔膜泵，4、金属软管，5、快速接头，6、卡套式直通接头，7、矩形紧固块，8、封盖，8
‑
1、抽液管安装孔，8
‑
2废气连接管安装孔，8
‑
3、氮气连接管安装孔，8
‑
4、螺纹，9、裙边，10、抽液管，11、废气连接管，11
‑
1、废气连接管快速接头，12、氮气连接管，12
‑
1、氮气连接管快速接头，A、原料桶。
具体实施方式
[0028]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]本实施例提供了一种正硅酸乙酯封闭式抽料管，如图1所示，包括：封盖8、抽液管10、废气连接管11、氮气连接管12；
[0030]所述封盖8能够安装在原料桶桶口上，如图3和图4所示，所述封盖8设有贯通封盖8的抽液管安装孔8
‑
1、废气连接管安装孔8
‑
2和氮气连接管安装孔8
‑
3；
[0031]所述抽液管10顶端与快速接头5固定连接，如图6所示，所述抽液管10底端伸入原料桶A内部，所述抽液管10能够插入抽液管安装孔8
‑
1中与封盖8焊接固定；
[0032]所述废气连接管11能够插入废气连接管安装孔8
‑
2中与封盖8焊接固定，所述废气连接管11能够连接气体回收装置，避免人员因误操作吸入正硅酸乙酯气体损害身体；
[0033]所述氮气连接管12插入氮气连接管安装孔8
‑
3中与封盖8焊接固定，所述氮气连接
管12能够连接氮气管线，保证原料桶内处于正压氮气保护状态，避免空气污染正硅酸乙酯。
[0034]在具体实施例中，如图2所示，还包括开关阀1、出料管2、气动隔膜泵3、金属软管4；所述金属软管4一端连接快速接头5，另一端连接气动隔膜泵3；所述气动隔膜泵3连接出料管2，所述出料管2设有开关阀1。正硅酸乙酯易燃，气动隔膜泵1工作中无热量产生，同时不会产生电火花，能够在保证安全的前提下提供吸力，金属软管连接方便移动，使开关阀便于与原料储罐对接。
[0035]在具体实施例中，所述抽液管10顶端设有用于连接快速接头5的卡套式直通接头6。
[0036]在具体实施例中，如图5所示，所述废气连接管11顶端设有废气连接管快速接头11
‑
1，所述氮气连接管12顶端设有氮气连接管快速接头12
‑
1。
[0037]废气连接管快速接头使得废气连接管能够与气体回收装置快速连接，氮气连接管快速接头使得氮气连接管能够与氮气管线快速连接，便于操作人员的安装。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种正硅酸乙酯封闭式抽料管，其特征在于，包括：封盖(8)、抽液管(10)、废气连接管(11)、氮气连接管(12)；所述封盖(8)能够安装在原料桶桶口上，所述封盖(8)设有贯通封盖(8)的抽液管安装孔(8
‑
1)、废气连接管安装孔(8
‑
2)和氮气连接管安装孔(8
‑
3)；所述抽液管(10)顶端与快速接头(5)固定连接，所述抽液管(10)底端伸入原料桶内部，所述抽液管(10)能够插入抽液管安装孔(8
‑
1)中与封盖(8)固定连接；所述废气连接管(11)能够插入废气连接管安装孔(8
‑
2)中与封盖(8)固定连接，所述废气连接管(11)能够连接气体回收装置；所述氮气连接管(12)插入氮气连接管安装孔(8
‑
3)中与封盖(8)固定连接，所述氮气连接管(12)能够连接氮气管线。2.根据权利要求1所述的一种正硅酸乙酯封闭式抽料管，其特征在于，还包括开关阀(1)、出料管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐鹏，邓涛，魏学成，刘长城，陈文全，乔传航，
申请(专利权)人：大连恒坤新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：