一种应用于超高纯化学品的过滤器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种应用于超高纯化学品的过滤器，涉及化学品制造装置领域，包括过滤器主体、主管路、高纯氮气钢瓶、真空泵与排出管路，所述主管路和排出管路分别和过滤器主体连通，所述高纯氮气钢瓶包括气相阀门和氮气管路；所述真空泵包括真空阀门和真空管路，所述氮气管路和真空管路并联后和主管路连通，所述高纯氮气钢瓶和真空泵交替工作。本实用新型专利技术公开的一种应用于超高纯化学品的过滤器，以克服过滤器残留空气和杂质对正硅酸乙酯纯度的影响。响。响。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于超高纯化学品的过滤器


[0001]本技术涉及化学品制造装置领域，尤其涉及一种应用于超高纯化学品的过滤器。

技术介绍

[0002]目前超高纯正硅酸乙酯主要应用于集成电路芯片制造过程中的低压化学气相淀积工艺(LPCVD)沉积二氧化硅薄膜。超高纯正硅酸乙酯的制备方法主要有两条路线，即四氯化硅法和硅粉法，制程过程中需要有效的去除杂质的污染，都需要合成后对正硅酸乙酯进行过滤，而过滤处理通常需要使用过滤器，过滤器由两部分组成：滤器和滤芯，待过滤的液体由滤器进口压入，经滤芯自外向里透过滤层而被过滤，然后经出口排出，杂质被截流在滤芯的深层及表面，从而液体达到过滤的目的。
[0003]现有的过滤器在长期使用过程中，杂质会严重堵塞滤芯，影响滤芯的净化效果，因此需要对滤芯更换，更换滤芯的过程中外界的空气及杂质会进入过滤器内部，使得空气和杂质残留在过滤器内部，影响正硅酸乙酯的纯度。

技术实现思路

[0004]本技术公开了一种应用于超高纯化学品的过滤器，以克服过滤器残留空气和杂质对正硅酸乙酯纯度的影响。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术的技术方案是：
[0006]一种应用于超高纯化学品的过滤器，包括过滤器主体、主管路、高纯氮气钢瓶、真空泵与排出管路，所述主管路和排出管路分别和过滤器主体连通，所述高纯氮气钢瓶包括气相阀门和氮气管路；所述真空泵包括真空阀门和真空管路，所述氮气管路和真空管路并联后和主管路连通，所述高纯氮气钢瓶和真空泵交替工作。
[0007]进一步地，还包括远传绝压压力表，所述远传绝压压力表通过主管路和过滤器主体相连通。
[0008]进一步地，还包括安全阀，所述安全阀和过滤器主体连通；所述安全阀和过滤器主体的连通处与所述主管路和过滤器主体的连通处相对设置。
[0009]进一步地，还包括取样管路，所述取样管路和排出管路相连通。
[0010]进一步地，所述过滤器主体包括壳体和顶盖，所述顶盖和壳体可拆卸连接；所述顶盖和壳体的连接处设置有密封圈。
[0011]进一步地，所述过滤器主体内部设置有超高纯正硅酸乙酯，所述过滤器主体和超高纯正硅酸乙酯的接触面采用电化学抛光处理。
[0012]进一步地，还包括支撑底座，所述过滤器主体和支撑底座固定连接。
[0013]本技术公开的一种应用于超高纯化学品的过滤器的有益效果：
[0014]1、采用氮气管路和真空管路交替工作，真空泵通过真空管路和主管路将过滤器主体抽真空，然后启动高纯氮气钢瓶将高纯氮气通过氮气管路和主管路输入过滤器主体内
部，滤芯更换后可以在短时间内对过滤器主体内部空气进行排出并置换为高纯氮气，防止空气对产品纯度的影响；
[0015]2、将高纯氮气钢瓶、真空泵等外接配件均安装在过滤器主体外部并通过对应的管路连接，便于维修和更换高纯氮气钢瓶和真空泵等外接配件，避免维修和更换过程中进入杂质。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术公开的应用于超高纯化学品的过滤器的整体结构示意图。
[0018]图中：1、过滤器主体；11、壳体；12、顶盖；2、主管路；21、进液阀门；3、高纯氮气钢瓶；31、气相阀门；32、氮气管路；4、真空泵；41、真空阀门；42、真空管路；5、排出管路；51、排液阀门；6、取样管路；61、取样阀门；7、远传绝压压力表；8、安全阀；81、连接管路；9、支撑底座。
具体实施方式
[0019]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图1，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]参照图1，一种应用于超高纯化学品的过滤器，包括过滤器主体1、主管路2、高纯氮气钢瓶3、真空泵4、排出管路5、取样管路6、远传绝压压力表7与安全阀8。
[0021]过滤器主体1选用316L不锈钢材质制成，过滤器主体1包括具有上端开口的壳体11和顶盖12，顶盖12和壳体11通过螺栓连接在一起，壳体11于其开口处设置有密封圈，密封圈优选为采用超声处理的聚四氟密封圈，使得聚四氟密封圈达到洁净的程度，减少杂质的析出，不易污染正硅酸乙酯。壳体11内周面于其与超高纯正硅酸乙酯的接触面采用电化学抛光处理，利用电化学进行的表面打磨，可以使不锈钢处理面更加平整光滑，从而达到耐腐蚀的目的，防止过滤器主体1内壁渗出金属类污染源污染超高纯正硅酸乙酯。
[0022]过滤器主体1的上端侧壁开设有入口，主管路2通过该入口和过滤器主体1连通，远传绝压压力表7安装于主管路2上，主管路2上安装有进液阀门21，当进液阀门21开启时，远传绝压压力表7对过滤器主体1内部进行压力监控，实现对滤芯的实时监控。
[0023]过滤器主体1的下方固设有支撑底座9，在支撑底座9的作用下，使得过滤器主体1底壁和地面之间形成间隔，排出管路5设置于该间隔处，过滤器主体1的底壁开设有出口，排出管路5通过该出口和过滤器主体1连通，排出管路5上安装有排液阀门51。取样管路6和排出管路5相连通，取样管路6上安装有取样阀门61，排液阀门51和取样阀门61交替工作，当排液阀门51关闭，取样阀门61开启时，从出口排出的液体通过排出管路5进入取样管路6内部，
实现对产品的取样；当排液阀门51开启，取样阀门61关闭时，从出口排出的液体通过排出管路5排出。
[0024]高纯氮气钢瓶3包括气相阀门31和氮气管路32；真空泵4包括真空阀门41和真空管路42，氮气管路32和真空管路42并联后和主管路2连通，高纯氮气钢瓶3和真空泵4交替工作，当真空阀门41开启时，进液阀门21关闭，气相阀门31关闭，真空泵4通过真空管路42和主管路2将过滤器主体1内部抽真空；当气相阀门31开启时，进液阀门21关闭，真空阀门41关闭，氮气管路32和主管路2连通，此时高纯氮气钢瓶3将高纯氮气通过氮气管路32和主管路2输入过滤器主体1内部，当设备停用时通过向过滤器内填充高纯氮气进行保护，防止过滤器主体1被污染，且滤芯更换后可以在短时间内对过滤器主体1内部空气进行排出并置换为高纯氮气，防止空气对产品纯度的影响。
[0025]安全阀8和过滤器主体1之间设置有连接管路81，安全阀8通过连接管路81和过滤器主体1相连通，安全阀8和过滤器主体1的连通处与入口相对设置，安全阀8能够在过滤器主体1内部压力异常时对滤芯进行保护。
[0026]本申请的实施原理为：当需要更换该过滤器内部的滤芯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于超高纯化学品的过滤器，其特征在于，包括过滤器主体(1)、主管路(2)、高纯氮气钢瓶(3)、真空泵(4)与排出管路(5)，所述主管路(2)和排出管路(5)分别和过滤器主体(1)连通，所述高纯氮气钢瓶(3)包括气相阀门(31)和氮气管路(32)；所述真空泵(4)包括真空阀门(41)和真空管路(42)，所述氮气管路(32)和真空管路(42)并联后和主管路(2)连通，所述高纯氮气钢瓶(3)和真空泵(4)交替工作。2.根据权利要求1所述的一种应用于超高纯化学品的过滤器，其特征在于，还包括远传绝压压力表(7)，所述远传绝压压力表(7)通过主管路(2)和过滤器主体(1)相连通。3.根据权利要求1所述的一种应用于超高纯化学品的过滤器，其特征在于，还包括安全阀(8)，所述安全阀(8)和过滤器主体(1)连通；所述安全阀(8)和过滤器主体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓涛，徐鹏，魏学成，刘长城，陈文全，乔传航，
申请(专利权)人：大连恒坤新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：