正硅酸乙酯自动灌装系统技术方案

本技术公开了一种正硅酸乙酯自动灌装系统，包括：与PLC控制器连接的吹扫供气、产品供给单元、第一、第二、第三、第四、第七、第八、排废用阀门、第四、第五压力表；第一阀门两端连接吹扫供气、产品供给单元出口；产品供给单元出口与并接的排废用、第二阀门进口连接，第二、第四阀门出口并接后通过进口管道连接容器；吹扫供气单元出口连接第三阀门进口，第三阀门出口与并接的第七、第八、第四阀门进口连接，第七阀门出口连接真空泵，第八阀门出口连接尾气吸收装置，第七、第八、第四阀门并接节点与第八阀门间的管道通过出口管道连接容器；第四压力表设在并接节点与第八阀门间的管道，第五压力表设在进口管道。确保正硅酸乙酯灌装不受到污染。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学品灌装领域，尤其涉及正硅酸乙酯自动灌装系统。

技术介绍

1、随着半导体及集成电路制造技术的发展，特别是主流工艺进入10纳米以后，工艺对材料的要求也越来越高，其中对沉积生长二氧化硅等应用所需要的正硅酸乙酯(teos)的纯度有了更高的要求。

2、现有灌装系统的生产工艺全流程已实现自动化控制，但是灌装系统与客户使用的容器的连接处仍不可避免地会进入空气，产品与空气接触后发生反应，不仅影响灌装后的产品纯度，而且会对灌装系统造成污染。

技术实现思路

1、本技术提供一种正硅酸乙酯自动灌装系统，以克服灌装系统与客户使用的容器的连接处进入空气发生反应所造成的问题，以更好的将产品灌装到客户使用的容器中，确保正硅酸乙酯不受污染的进行灌装。

2、为了实现上述目的，本技术的技术方案是：

3、一种正硅酸乙酯自动灌装系统，包括：与plc控制器电性连接的吹扫供气单元、产品供给单元、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第七阀门、第八阀门、排废用阀门、第四压力表和第五压力表；

4、所述第一阀门两端分别连接吹扫供气单元出口和产品供给单元出口；

5、所述产品供给单元出口与并接的排废用阀门进口和第二阀门进口连接，所述第二阀门出口与第四阀门出口并接后通过进口管道与待灌装容器的进口阀门连接；

6、所述吹扫供气单元出口连接第三阀门进口，所述第三阀门出口与并接的第七阀门进口、第八阀门进口和第四阀门进口连接，所述第七阀门出口连接真空泵，所述第八阀门出口连接尾气吸收装置，所述第七阀门、第八阀门和第四阀门并接的节点与第八阀门之间的管道通过出口管道与待灌装容器的出口阀门连接；

7、所述第四压力表设在第七阀门、第八阀门和第四阀门并接的节点与第八阀门之间的管道上，所述第五压力表设在进口管道上。

8、进一步的，所述吹扫供气单元包括与plc控制器电性连接的氦气进气阀门和氮气进气阀门，所述氦气进气阀门进口连接氦气气源，所述氮气进气阀门出口连接氮气气源，所述氦气进气阀门出口和氮气进气阀门出口并接形成吹扫供气单元出口。

9、进一步的，所述氦气进气阀门出口和氮气进气阀门出口均设有气体过滤器。

10、进一步的，所述产品供给单元包括多个与plc控制器电性连接的进料阀门，所述进料阀门进口连接产品储罐，多个所述进料阀门出口并接形成产品供给单元的出口。

11、进一步的，还包括与plc控制器电性连接的容器称重模块和罐体称重模块，所述容器称重模块用于待灌装容器的称重，所述罐体称重模块用于产品储罐的称重。

12、进一步的，所述产品供给单元出口和第二阀门进口间设有液体过滤器。

13、进一步的，所述产品供给单元出口和第二阀门进口间设有与plc控制器电性连接的第二压力表和第三压力表，所述液体过滤器位于第二压力表和第三压力表之间。

14、进一步的，所述供气单元出口和第三阀门进口间设有与plc控制器电性连接的第一压力表。

15、进一步的，还包括与plc控制器电性连接的取样用阀门和第十阀门，所述取样用阀门进口和第十阀门进口与第二阀门进口并接，所述第十阀门出口连接在线分析仪器。

16、本技术的有益效果：

17、本技术提供的正硅酸乙酯自动灌装系统，通过吹扫供气单元灌装载气和提供吹扫气，吹扫气将上一次灌装时管道内残余的物料从排废用阀门排出，避免混料，通过产品供给单元提供产品以对管道进行冲洗，保证灌装管道的清洁，从而确保产品纯度；

18、通过吹扫供气单元提供气体向连接待灌装容器的进口阀门和出口阀门进行打压，压力值达到第四压力表和第五压力表设定值后，将气体排空到尾气吸附装置直至压力达到第四压力表和第五压力表排空设定值，通过真空泵对容器的进口阀门和出口阀门进行抽真空直至压力达到第四压力表和第五压力表真空设定值，重复多次以置换掉灌装系统与容器连接处的空气和与空气接触的残余物料，避免污染产品，从而确保产品纯度。

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【技术保护点】

1.一种正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，包括：与PLC控制器电性连接的吹扫供气单元、产品供给单元、第一阀门(1)、第二阀门(2)、第三阀门(3)、第四阀门(4)、第七阀门(7)、第八阀门(8)、排废用阀门(11)、第四压力表(P4)和第五压力表(P5)；

2.根据权利要求1所述的正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，所述吹扫供气单元包括与PLC控制器电性连接的氦气进气阀门(1201)和氮气进气阀门(1202)，所述氦气进气阀门(1201)进口连接氦气气源，所述氮气进气阀门(1202)出口连接氮气气源，所述氦气进气阀门(1201)出口和氮气进气阀门(1202)出口并接形成吹扫供气单元出口。

3.根据权利要求2所述的正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，所述氦气进气阀门(1201)出口和氮气进气阀门(1202)出口均设有气体过滤器(14)。

4.根据权利要求1所述的正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，所述产品供给单元包括多个与PLC控制器电性连接的进料阀门，所述进料阀门进口连接产品储罐，多个所述进料阀门出口并接形成产品供给单元的出口。

5.根据权利要求4所述的正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，还包括与PLC控制器电性连接的容器称重模块(1805)和罐体称重模块，所述容器称重模块(1805)用于待灌装容器的称重，所述罐体称重模块用于产品储罐的称重。

6.根据权利要求1所述的正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，所述产品供给单元出口和第二阀门(2)进口间设有液体过滤器(15)。

7.根据权利要求6所述的正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，所述产品供给单元出口和第二阀门(2)进口间设有与PLC控制器电性连接的第二压力表(P2)和第三压力表(P3)，所述液体过滤器(15)位于第二压力表(P2)和第三压力表(P3)之间。

8.根据权利要求1所述的正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，所述供气单元出口和第三阀门(3)进口间设有与PLC控制器电性连接的第一压力表(P1)。

9.根据权利要求1所述的正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，还包括与PLC控制器电性连接的取样用阀门(9)和第十阀门(10)，所述取样用阀门(9)进口和第十阀门(10)进口与第二阀门(2)进口并接，所述第十阀门(10)出口连接在线分析仪器。

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【技术特征摘要】

1.一种正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，包括：与plc控制器电性连接的吹扫供气单元、产品供给单元、第一阀门(1)、第二阀门(2)、第三阀门(3)、第四阀门(4)、第七阀门(7)、第八阀门(8)、排废用阀门(11)、第四压力表(p4)和第五压力表(p5)；

2.根据权利要求1所述的正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，所述吹扫供气单元包括与plc控制器电性连接的氦气进气阀门(1201)和氮气进气阀门(1202)，所述氦气进气阀门(1201)进口连接氦气气源，所述氮气进气阀门(1202)出口连接氮气气源，所述氦气进气阀门(1201)出口和氮气进气阀门(1202)出口并接形成吹扫供气单元出口。

3.根据权利要求2所述的正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，所述氦气进气阀门(1201)出口和氮气进气阀门(1202)出口均设有气体过滤器(14)。

4.根据权利要求1所述的正硅酸乙酯自动灌装系统，其特征在于，所述产品供给单元包括多个与plc控制器电性连接的进料阀门，所述进料阀门进口连接产品储罐，多个所述进料阀门出口并接形成产品供给单元的出口。

5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐鹏，邓涛，魏学成，刘长城，
申请(专利权)人：大连恒坤新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：