一种用于晶圆的贴膜设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于晶圆的贴膜设备，属于机械技术领域。本用于晶圆的贴膜设备，包括带有支撑脚的壳体，壳体一端安装有支架，支架上可拆卸转动连接有膜材放卷轴，支架上还具有膜材辅助定位条，壳体一侧固定有安装条一，安装条一上固定有导轨一，导轨一上滑动连接有滑块一，滑块一和呈U型的牵引架相连，牵引架端部均固定有手指气缸，手指气缸的手指端部具有用于夹紧膜材的夹块，安装条一上还固定有齿条一，滑块一上安装有伺服电机一，伺服电机一的输出轴端部和齿轮一相连，壳体顶部固定有安装条二，安装条二上固定有导轨二，导轨二上滑动连接有滑块二，滑块二上固定有定位条，定位条上固定有气缸一，气缸一的活塞杆端部和升降叉相连。降叉相连。降叉相连。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆的贴膜设备


[0001]本技术属于机械
，涉及一种贴膜设备，特别是一种用于晶圆的贴膜设备。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。晶圆贴膜就是将蓝膜或UV膜贴到晶圆上，对晶圆起保护作用以用于后续抛光，减薄，切割等半导体工艺。
[0003]经检索，如中国专利文献公开了一种晶圆贴膜装置【申请号：200920253961.8；公开号：CN201623009U】。这种晶圆贴膜装置，包括机架；机架上固定有面板，面板中部开设有贯通圆孔，面板上设有芯片台，芯片台的上表面高于面板的上表面，贯通圆孔的内径与芯片台的外径之间留有间隙，面板上可拆装定位箍，其设置位置与芯片台同心；面板下固定带有“Z”滑槽的托架，每个托架外侧安装了一个滑块，滑块上设有轴承，该轴承镶嵌在“Z”形滑槽内并沿该“Z”形滑槽往复运动，滑块中部与弹性滚筒相连接，滑块带动弹性滚筒往复运动，该弹性滚筒能够围绕其轴心转动，弹性滚筒的起始位置位于面板一端的上方；“Z”形滑槽固定于面板的下方，且其长度与面板长度对应设置；机架的后端还固定有胶膜套筒，该胶膜套筒上缠绕有胶膜。
[0004]该专利中公开的圆贴膜装置虽然结构简单、故障率低，但是，该装置一次只能对一个晶圆周转板上的晶圆进行贴膜，效率低，因此，设计出一种用于晶圆的贴膜设备是很有必要的。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于晶圆的贴膜设备，该贴膜设备具有工作效率高的特点。
[0006]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种用于晶圆的贴膜设备，包括带有支撑脚的壳体，其特征在于，所述壳体一端安装有支架，支架上可拆卸转动连接有膜材放卷轴，支架上还具有膜材辅助定位条，壳体一侧固定有安装条一，安装条一上固定有导轨一，导轨一上滑动连接有滑块一，滑块一和呈U型的牵引架相连，牵引架端部均固定有手指气缸，手指气缸的手指端部具有用于夹紧膜材的夹块，安装条一上还固定有齿条一，滑块一上安装有伺服电机一，伺服电机一的输出轴端部和齿轮一相连，齿轮一与齿条一相啮合，壳体顶部固定有安装条二，安装条二上固定有导轨二，导轨二上滑动连接有滑块二，滑块二上固定有定位条，定位条上固定有气缸一，且气缸一的活塞杆竖直向下，气缸一的活塞杆端部和升降叉相连，升降叉上水平转动安装有压紧辊，安装条二上还固定有齿条二，滑块二上安装有伺服电机二，伺服电机二的输出轴端部和齿轮二相连，齿轮二与齿条二相啮合，壳体一侧具有操作口，操作口处滑动连接有用于放置晶圆周转板的若干放置台，且放置台呈均匀分布，壳体另一侧还固定有若干气缸二，且气缸二的活塞杆水平设置，气缸二的活塞杆端部
和刀片相连。
[0007]本技术的工作原理如下：拉出放置台并将晶圆周转板放置在放置台上，将放置台推回壳体内，手指气缸在膜材辅助定位条处夹取膜材，伺服电机一带动齿轮一转动，齿轮一与齿条一相啮合并带动滑块一在导轨一上水平移动，手指气缸带动膜材移动，膜材放卷轴进行放卷；气缸一带动压紧辊下降抵靠住晶圆周转板，伺服电机二带动齿轮二转动，齿轮二与齿条二相啮合并带动滑块二在导轨二上水平移动，将膜材与晶圆周转板上的晶圆相贴合，气缸二推动刀片将膜材切断；可同时对多块晶圆周转板上的晶圆进行贴膜，贴膜效率高。
[0008]压紧辊下压时能将膜材压在膜材辅助定位条上，刀片裁断膜材后，因膜材上有自粘性，膜材与膜材辅助定位条粘连，使膜材放卷轴与膜材辅助定位条之间留出一段膜材，方便手指气缸下一次夹取膜材，手指气缸夹取膜材后水平移动时，通过手指气缸的拉动作用可使膜材与膜材辅助定位条之间脱离。
[0009]所述壳体一侧还安装有电控箱，气缸一、气缸二、手指气缸、伺服电机一和伺服电机二均通过线路与该电控箱电联。
[0010]所述放置台上连接有把手。
[0011]采用以上结构，方便在取放晶圆周转板时利用把手推动放置台。
[0012]所述放置台两侧还具有取放缺口。
[0013]采用以上结构，取出晶圆周转板时，可利用取放缺口方便取出。
[0014]所述壳体顶部具有若干辅助口，壳体顶部铰接有能将辅助口封闭住的盖板。
[0015]采用以上结构，通过辅助口方便对壳体内部进行一系列操作，比如更换膜材卷，检查维修等。
[0016]与现有技术相比，本用于晶圆的贴膜设备具有该优点：本技术中拉出放置台并将晶圆周转板放置在放置台上，将放置台推回壳体内，手指气缸在膜材辅助定位条处夹取膜材，伺服电机一带动齿轮一转动，齿轮一与齿条一相啮合并带动滑块一在导轨一上水平移动，手指气缸带动膜材移动，膜材放卷轴进行放卷；气缸一带动压紧辊下降抵靠住晶圆周转板，伺服电机二带动齿轮二转动，齿轮二与齿条二相啮合并带动滑块二在导轨二上水平移动，将膜材与晶圆周转板上的晶圆相贴合，气缸二推动刀片将膜材切断；可同时对多块晶圆周转板上的晶圆进行贴膜，贴膜效率高。
附图说明
[0017]图1是本技术的立体结构示意图。
[0018]图2是本技术中俯视的平面结构示意图。
[0019]图3是本技术中拆去部分的平面结构示意图。
[0020]图4是本技术中安装条一的平面结构示意图。
[0021]图5是本技术中牵引架的立体结构示意图。
[0022]图6是本技术中放置台的立体结构示意图。
[0023]图中，1、壳体；2、盖板；3、支架；4、电控箱；5、把手；6、放置台；6a、取放缺口；7、安装条一；8、晶圆周转板；9、气缸二；10、刀片；11、膜材辅助定位条；12、牵引架；13、手指气缸；14、膜材放卷轴；15、齿条一；16、安装条二；17、齿条二；18、导轨二；19、定位条；20、滑块二；
21、齿轮二；22、伺服电机二；23、气缸一；24、升降叉；25、压紧辊；26、导轨一；27、滑块一；28、支撑脚；29、伺服电机一；30、齿轮一；31、夹块。
具体实施方式
[0024]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0025]如图1
‑
图6所示，本用于晶圆的贴膜设备，包括带有支撑脚28的壳体1，壳体1一端安装有支架3，支架3上可拆卸转动连接有膜材放卷轴14，支架3上还具有膜材辅助定位条11，壳体1一侧固定有安装条一7，安装条一7上固定有导轨一26，导轨一26上滑动连接有滑块一27，滑块一27和呈U型的牵引架12相连，牵引架12端部均固定有手指气缸13，手指气缸13的手指端部具有用于夹紧膜材的夹块31，安装条一7上还固定有齿条一15，滑块一27上安装有伺服电机一29，伺服电机一29的输出轴端部和齿轮一30相连，齿轮一30与齿条一15相啮合，壳体1顶部固定有安装条二16，安装条二16上固定有导轨二18，导轨二18上滑动连接有滑块二20，滑块二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的贴膜设备，包括带有支撑脚(28)的壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)一端安装有支架(3)，支架(3)上可拆卸转动连接有膜材放卷轴(14)，支架(3)上还具有膜材辅助定位条(11)，壳体(1)一侧固定有安装条一(7)，安装条一(7)上固定有导轨一(26)，导轨一(26)上滑动连接有滑块一(27)，滑块一(27)和呈U型的牵引架(12)相连，牵引架(12)端部均固定有手指气缸(13)，手指气缸(13)的手指端部具有用于夹紧膜材的夹块(31)，安装条一(7)上还固定有齿条一(15)，滑块一(27)上安装有伺服电机一(29)，伺服电机一(29)的输出轴端部和齿轮一(30)相连，齿轮一(30)与齿条一(15)相啮合，壳体(1)顶部固定有安装条二(16)，安装条二(16)上固定有导轨二(18)，导轨二(18)上滑动连接有滑块二(20)，滑块二(20)上固定有定位条(19)，定位条(19)上固定有气缸一(23)，且气缸一(23)的活塞杆竖直向下，气缸一(23)的活塞杆端部和升降叉(24)相连，升降叉(24)上水平转动安装有压紧辊(25)，安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘烽，郁曹佳，殷秋鹤，刘兆山，郭云静，
申请(专利权)人：嘉兴联康沃源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：