一种框架切片机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种框架切片机，属于机械技术领域。本切片机，包括底板，底板上安装有箱体，箱体上具有过料通道，底板上通过若干支撑脚固定有环形轨道，且环形轨道穿过过料通道，环形轨道上滑动连接有若干滑座，且滑座呈均匀分布，滑座上水平安装有导杆一，导杆一上滑动连接有活动座一，活动座一与滑座之间还具有支撑弹簧一，活动座一上水平安装有导杆二，且导杆二与导杆一相互垂直，导杆二上滑动连接有活动座二，活动座二与活动座一之间还具有支撑弹簧二，活动座二上安装有圆形定位台，圆形定位台上开设有用于定位晶圆周转板的定位槽，箱体上部设有切割机构，箱体下部设有对中夹紧机构，对中夹紧机构包括安装板和气缸一。对中夹紧机构包括安装板和气缸一。对中夹紧机构包括安装板和气缸一。

【技术实现步骤摘要】
一种框架切片机


[0001]本技术属于机械
，涉及一种切片机，特别是一种框架切片机。

技术介绍

[0002]经过贴膜设备对晶圆周转板上的晶圆进行贴膜后，晶圆周转板上多余的膜材需要进行切割，将膜材切割成与晶圆相同的圆形，再进入下一步工序中对晶圆进行冲洗烘干等操作，因此，设计出一种框架切片机是很有必要的。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种框架切片机，该切片机具有操作简单的特点。
[0004]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种框架切片机，包括底板，其特征在于，所述底板上安装有箱体，箱体上具有过料通道，底板上通过若干支撑脚固定有环形轨道，且环形轨道穿过过料通道，环形轨道上滑动连接有若干滑座，且滑座呈均匀分布，滑座上水平安装有导杆一，导杆一上滑动连接有活动座一，活动座一与滑座之间还具有支撑弹簧一，活动座一上水平安装有导杆二，且导杆二与导杆一相互垂直，导杆二上滑动连接有活动座二，活动座二与活动座一之间还具有支撑弹簧二，活动座二上安装有圆形定位台，圆形定位台上开设有用于定位晶圆周转板的定位槽，箱体上部设有切割机构，箱体下部设有对中夹紧机构，对中夹紧机构包括安装板和气缸一，安装板固定在箱体下部，安装板一端水平固定有导轨一，导轨一上滑动连接有滑块一，滑块一和联动杆一的中部相连，联动杆一的端部竖直固定有对中柱一，安装板另一端水平固定有导轨二，导轨二上滑动连接有滑块二，滑块二和联动杆二的中部相连，联动杆二的端部竖直固定有对中柱二，安装板中部转动安装有带轮一和带轮二，带轮一与带轮二之间套设有同步带，联动杆一的中部通过连接件一和同步带一侧相连，联动杆二的中部通过连接件二和同步带另一侧相连，气缸一安装在安装板一端，且气缸一的活塞杆水平设置，气缸一的活塞杆端部通过传动件和连接件一相连，底板上还具有能使滑座移动的驱动结构。
[0005]本技术的工作原理如下：人工将晶圆周转板放置在圆形定位台上的定位槽内，滑座带动晶圆周转板在环形轨道上移动至箱体内，对中夹紧机构将圆形定位台对中并夹紧固定位置后，切割机构对晶圆周转板上多余的膜材进行切割，切割完成后滑座带动晶圆周转板从箱体上的过料通道内传出，人工取下晶圆周转板，操作简单。
[0006]气缸一通过传动件带动连接件一移动，连接件一带动同步带在带轮一和带轮二之间传动，同步带带动连接件二与连接件一往相反方向移动；进行对中夹紧工作时，连接件一和连接件二分别带动联动杆一和联动杆二相向移动，对中柱一和对中柱二同时向中间靠近，将圆形定位台对中夹紧，在支撑弹簧一和支撑弹簧二作用下，活动座一和活动座二能分别在导杆一和导杆二上滑动，使圆形定位台能小幅度移动，使晶圆周转板上的晶圆能准确对准切割机构，避免环形轨道带动滑座移动至切割位置时产生的位置误差。
[0007]所述圆形定位台上还具有取放口。
[0008]采用以上结构，便于取放晶圆周转板。
[0009]所述驱动结构包括驱动带、若干导轮和伺服电机一，导轮转动安装在底板上，驱动带套设在导轮上，滑座和驱动带相连，伺服电机一安装在底板上，伺服电机一的输出轴和其中一个导轮相连。
[0010]采用以上结构，伺服电机一带动导轮转动，导轮带动驱动带在多个导轮上来回转动，驱动带带动滑座移动。
[0011]所述切割机构包括伺服电机二、旋转杆、调整块、锁紧螺杆、气缸二和切割轮，伺服电机二安装在箱体上部，伺服电机二的输出轴和旋转杆一端相连，调整块滑动连接在旋转杆另一端，且旋转杆呈水平布置，调整块和气缸二相连，且气缸二的活塞杆竖直向下，气缸二的活塞杆端部和升降块相连，切割轮安装在升降块上，锁紧螺杆螺纹连接在调整块上，且锁紧螺杆端部与旋转杆相抵靠。
[0012]采用以上结构，根据晶圆周转盘尺寸滑动调整块，并利用锁紧螺杆固定，进行切割时气缸二通过升降块带动切割轮向下移动，伺服电机二通过旋转杆带动切割轮绕圆形转动。
[0013]所述箱体顶部和箱体一侧均具有辅助口，箱体上铰接有能将辅助口封闭住的盖板。
[0014]采用以上结构，可从辅助口处方便对箱体内部进行一系列操作，比如滑动调节调整块，检查维修等。
[0015]所述盖板上具有把手。
[0016]与现有技术相比，本框架切片机具有该优点：本技术中人工将晶圆周转板放置在圆形定位台上的定位槽内，滑座带动晶圆周转板在环形轨道上移动至箱体内，对中夹紧机构将圆形定位台对中并夹紧固定位置后，切割机构对晶圆周转板上多余的膜材进行切割，切割完成后滑座带动晶圆周转板从箱体上的过料通道内传出，人工取下晶圆周转板，操作简单。
附图说明
[0017]图1是本技术的立体结构示意图。
[0018]图2是本技术中对中夹紧机构的平面结构示意图。
[0019]图3是本技术中拆去部分的平面结构示意图。
[0020]图4是本技术中滑座的立体结构示意图。
[0021]图5是图3中A处的放大图。
[0022]图中，1、底板；2、支撑脚；3、环形轨道；4、滑座；5、圆形定位台；5a、取放口；6、晶圆周转板；7、驱动带；8、导轮；9、伺服电机一；10、箱体；11、把手；12、盖板；13、导轨一；14、带轮一；15、连接件一；16、同步带；17、连接件二；18、带轮二；19、对中柱二；20、联动杆二；21、滑块二；22、导轨二；23、传动件；24、气缸一；25、安装板；26、对中柱一；27、联动杆一；28、滑块一；29、伺服电机二；30、旋转杆；31、调整块；32、锁紧螺杆；33、气缸二；34、升降块；35、切割轮；36、支撑弹簧一；37、导杆一；38、支撑弹簧二；39、活动座一；40、活动座二；41、导杆二。
具体实施方式
[0023]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0024]如图1
‑
图5所示，本框架切片机，包括底板1，底板1上安装有箱体10，箱体10中部开设有过料通道，底板1上通过支撑脚2固定有环形轨道3，支撑脚2的数量为4个，且环形轨道3穿过过料通道，环形轨道3上滑动连接有滑座4，滑座4的数量为6个，且滑座4呈均匀分布，滑座4上水平安装有导杆一37，导杆一37上滑动连接有活动座一39，活动座一39与滑座4之间还具有支撑弹簧一36，活动座一39上水平安装有导杆二41，且导杆二41与导杆一37相互垂直，导杆二41上滑动连接有活动座二40，活动座二40与活动座一39之间还具有支撑弹簧二38，活动座二40上固定安装有圆形定位台5，圆形定位台5上开设有用于定位晶圆周转板6的定位槽，箱体10上部设有切割机构，箱体10下部设有对中夹紧机构，对中夹紧机构包括安装板25和气缸一24，安装板25固定在箱体10下部，安装板25一端水平固定有导轨一13，导轨一13上滑动连接有滑块一28，滑块一28和联动杆一27的中部相连，联动杆一27的端部竖直固定有对中柱一26，安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种框架切片机，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)上安装有箱体(10)，箱体(10)上具有过料通道，底板(1)上通过若干支撑脚(2)固定有环形轨道(3)，且环形轨道(3)穿过过料通道，环形轨道(3)上滑动连接有若干滑座(4)，且滑座(4)呈均匀分布，滑座(4)上水平安装有导杆一(37)，导杆一(37)上滑动连接有活动座一(39)，活动座一(39)与滑座(4)之间还具有支撑弹簧一(36)，活动座一(39)上水平安装有导杆二(41)，且导杆二(41)与导杆一(37)相互垂直，导杆二(41)上滑动连接有活动座二(40)，活动座二(40)与活动座一(39)之间还具有支撑弹簧二(38)，活动座二(40)上安装有圆形定位台(5)，圆形定位台(5)上开设有用于定位晶圆周转板(6)的定位槽，箱体(10)上部设有切割机构，箱体(10)下部设有对中夹紧机构，对中夹紧机构包括安装板(25)和气缸一(24)，安装板(25)固定在箱体(10)下部，安装板(25)一端水平固定有导轨一(13)，导轨一(13)上滑动连接有滑块一(28)，滑块一(28)和联动杆一(27)的中部相连，联动杆一(27)的端部竖直固定有对中柱一(26)，安装板(25)另一端水平固定有导轨二(22)，导轨二(22)上滑动连接有滑块二(21)，滑块二(21)和联动杆二(20)的中部相连，联动杆二(20)的端部竖直固定有对中柱二(19)，安装板(25)中部转动安装有带轮一(14)和带轮二(18)，带轮一(14)与带轮二(18)之间套设有同步带(16)，联动杆一(27)的中部通过连接件一(15)和同步带(16)一侧相连，联动杆二(20)的中部通过连接件二(17)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘烽，陆金发，郭云静，殷秋鹤，
申请(专利权)人：嘉兴联康沃源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：