本申请提供一种晶圆测试用定倍镜头对准装置，包括基板和滑板；基板上固定安装有摄像组件，用于对晶圆进行拍摄；滑板可滑动安装在基板上，且对应摄像组件设有转向组件；转向组件固定安装在滑板上，用于改变拍摄方向；摄像组件与转向组件之间通过镜头固定块连接；镜头固定块安装在滑板上，内部设有贯穿孔，与摄像组件之间可相对滑动。根据本申请实施例提供的技术方案，通过将摄像组件和转向组件分别安装在基板和滑板上，配合滑板与基板之间的滑动安装结构，便可确保摄像组件在位置不变的情况下，转向组件依然能够与晶圆进行找正对齐。转向组件依然能够与晶圆进行找正对齐。转向组件依然能够与晶圆进行找正对齐。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试用定倍镜头对准装置
[0001]本申请涉及晶圆测试
,具体涉及一种晶圆测试用定倍镜头对准装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.99％。
[0003]现有的晶圆测试用对准镜头为定倍镜头，镜头的焦距是固定的，如果镜头到晶圆的距离发生改变，定倍镜头是无法清晰、准确并快速的识别晶圆，从而无法达到对晶圆实现找正的目的；因此上述问题亟待进行解决。
技术实现思路
[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种晶圆测试用定倍镜头对准装置。
[0005]本申请提供一种晶圆测试用定倍镜头对准装置，包括基板和滑板；
[0006]所述基板上固定安装有摄像组件，用于对晶圆进行拍摄；
[0007]所述滑板可滑动安装在所述基板上，且对应所述摄像组件设有转向组件；所述转向组件固定安装在所述滑板上，用于改变拍摄方向；
[0008]所述摄像组件与转向组件之间通过镜头固定块连接；所述镜头固定块安装在所述滑板上，内部设有贯穿孔，与所述摄像组件之间可相对滑动。
[0009]进一步的，所述摄像组件包括相机和镜头；所述相机固定安装在所述基板上；所述镜头一端固定安装在所述相机上，一端可伸缩安装在所述镜头固定块上。
[0010]进一步的，所述滑板的一端对应所述镜头设有匹配的开口槽，底部对应所述基板设有匹配的滑槽；所述基板通过第一螺栓与所述滑板连接，底面与所述滑板的底面位于同一平面。
[0011]进一步的，所述滑板上对应所述第一螺栓设有阶梯条孔；所述阶梯条孔分别位于所述开口槽的两侧，且分别与所述开口槽的开口方向平行。
[0012]进一步的，所述转向组件包括棱镜和环彩灯；所述棱镜固定安装在所述滑板上，与所述镜头固定块对接；所述环彩灯固定安装在所述滑板的底部；所述滑板位于所述棱镜与环彩灯之间设有相应的通孔。
[0013]进一步的，所述环彩灯上还安装有导线；所述滑板的底部对应所述导线设有导线槽；所述导线槽位于所述基板的一侧，且与所述基板的滑动方向平行。
[0014]进一步的，所述滑板的四角处还分别设有第二螺纹孔；所述第二螺纹孔内分别安装有匹配的第二螺栓，用于调整所述转向组件的拍摄角度。
[0015]本申请具有的优点和积极效果是：
[0016]本技术方案通过将摄像组件和转向组件分别安装在基板和滑板上，配合滑板与基板之间的滑动安装结构，便可确保摄像组件在位置不变的情况下，转向组件依然能够与晶圆进行找正对齐；由于转向组件与摄像组件之间通过镜头定位块进行连接，同时镜头定位块的内部设有贯穿孔，因此面对摄像组件与转向组件之间发生相对位移时，可有效进行长度补偿，从而避免因晶圆与摄像组件之间的距离因发生改变而无法进行检测的问题。
附图说明
[0017]图1为本申请实施例提供的晶圆测试用定倍镜头对准装置的结构示意图；
[0018]图2为本申请实施例提供的晶圆测试用定倍镜头对准装置的底部的结构示意图。
[0019]图中所述文字标注表示为：100
‑
基板；110
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相机；120
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镜头；130
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第一螺栓；200
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滑板；201
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第二螺纹孔；210
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镜头固定块；220
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阶梯条孔；230
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棱镜；240
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环彩灯；241
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导线；250
‑
导线槽。
具体实施方式
[0020]为了使本领域技术人员更好地理解本申请的技术方案，下面结合附图对本申请进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本申请的保护范围有任何的限制作用。
[0021]请参考图1
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2，本实施例提供一种晶圆测试用定倍镜头对准装置，包括基板100和滑板200；其中基板100上固定安装有摄像组件，用于对晶圆进行拍摄，而滑板200上则是固定安装有转向组件，用于和摄像组件进行对接，从而改变摄像组件的拍摄方向；滑板200与基板100之间可相对滑动，转向组件与摄像组件之间通过镜头固定块210进行连接；镜头固定块210的内部设有用于连接摄像组件与转向组件的贯穿孔，因此，当滑板200与基板100之间相对滑动时，镜头固定块210可对摄像组件与转向组件之间的距离进行补偿，从而既能适应晶圆位置的改变，又能确保摄像组件的正常拍摄。
[0022]在一优选实施例中，摄像组件包括相机110和镜头120；其中相机110固定安装在基板100上，而镜头120则是一端固定安装在相机110上，一端可伸缩安装在镜头固定块210上。
[0023]优选的，镜头固定块210通过第三螺栓安装在滑板200上；滑板200上对应第三螺栓设有匹配的第三螺纹孔；当镜头固定块210通过第三螺栓锁紧在滑板200上时，与镜头120之间为相对固定连接，可限制镜头120与镜头固定块210之间发生相对位移，因此，调节伸缩时，需要先松动第三螺栓，使镜头120与镜头固定块210之间可相对滑动。
[0024]在一优选实施例中，转向组件包括棱镜230和环彩灯240；其中棱镜230固定安装在滑板200上，与镜头固定块210进行对接，而环彩灯240则是安装在滑板200远离棱镜230的一侧，与棱镜230之间通过滑板200上的通孔进行对接。
[0025]优选的，环彩灯240上还安装有导线241；滑板200的底部则是对应导线设有导线槽250；导线槽250的长度方向与基板100和滑板200之间的滑动方向平行。
[0026]在一优选实施例中，滑板200的一端对应镜头120设有匹配的开口槽，底部对应基板100设有匹配的滑槽；对接安装后，基板100可滑动安装在滑槽内，通过第一螺栓130进行锁紧，镜头120则是位于开口槽内可与滑板200进行相对滑动。
[0027]优选的，滑板200上对应第一螺栓130设有阶梯条孔220；阶梯条孔220分别位于开
口槽的两侧，且分别与开口槽的开口方向平行。
[0028]优选的，基板100上对应第一螺栓130设有匹配的第一螺纹孔；第一螺纹孔两个为一组，两组第一螺纹孔分别与阶梯条孔220相对应。
[0029]在一优选实施例中，滑板200的四角处还分别设有第二螺纹孔孔201；通过在第二螺纹孔201内安装匹配的第二螺栓，可对工作台进行支撑，从而调节摄像组件的拍摄角度。
[0030]本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。以上所述仅是本申请的优选实施方式，应当指出，由于文字表达本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试用定倍镜头对准装置，其特征在于，包括基板(100)和滑板(200)；所述基板(100)上固定安装有摄像组件，用于对晶圆进行拍摄；所述滑板(200)可滑动安装在所述基板(100)上，且对应所述摄像组件设有转向组件；所述转向组件固定安装在所述滑板(200)上，用于改变拍摄方向；所述摄像组件与转向组件之间通过镜头固定块(210)连接；所述镜头固定块(210)安装在所述滑板(200)上，内部设有贯穿孔，与所述摄像组件之间可相对滑动。2.根据权利要求1所述的晶圆测试用定倍镜头对准装置，其特征在于，所述摄像组件包括相机(110)和镜头(120)；所述相机(110)固定安装在所述基板(100)上；所述镜头(120)一端固定安装在所述相机(110)上，一端可伸缩安装在所述镜头固定块(210)上。3.根据权利要求2所述的晶圆测试用定倍镜头对准装置，其特征在于，所述滑板(200)的一端对应所述镜头(120)设有匹配的开口槽，底部对应所述基板(100)设有匹配的滑槽；所述基板(100)通过第一螺栓(130)与所述滑板(200)连接，底面与所述滑板(200)的底面位于同一平面。4.根据权利要求3所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，
申请(专利权)人：北京柯泰光芯半导体装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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