一种芯片测试装置制造方法及图纸

本申请公开了一种芯片测试装置，包括：测试台、探针组件和测试盒，探针组件包括探针固定座、探针连接杆和第一调节机构，探针连接杆设于探针和第一调节机构之间，第一调节机构通过探针固定座连接于测试台上，第一调节机构用于沿相互垂直的第一方向和第二方向调节探针连接杆的位置；测试盒设于测试台的台面上，其内形成有空腔，空腔内用于固定待测芯片，测试盒顶面上设有透明观察窗，并开设有若干个第一通孔，第一通孔上均覆盖有第二调节机构；第二调节机构用于配合第一调节机构对探针连接杆位置的调节动作。该芯片测试装置可对芯片同时进行更多项测试。进行更多项测试。进行更多项测试。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片测试装置


[0001]本申请一般涉及半导体测试领域，尤其涉及一种芯片测试装置。

技术介绍

[0002]在对芯片进行各种性能测试时，需要将芯片放置于测试盒内，并将测试盒做成的封闭空间，这样一方面可在测试盒中聚集惰性气体，以防止空气对测试产生的影响；另一方面可有效防止外部电场或磁场对测试产生的影响。现有的测试装置一般需要在测试盒的侧壁开设通孔，以供固定有探针的探针连接杆伸入其内，这样需要将用来调节探针位置的探针位置调节机构设置于测试盒内，当需要多个探针对芯片进行同时测试时，有可能因测试盒内局部聚集过多的探针位置调节机构而发生相互干渉，导致无法将某些探针伸入至设定位置，从而影响芯片测试工作。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可对芯片同时进行更多项测试的芯片测试装置。
[0004]具体技术方案如下：
[0005]本申请提供一种芯片测试装置，包括：
[0006]测试台；
[0007]探针组件，所述探针组件包括探针固定座、探针连接杆和第一调节机构，所述探针连接杆的一端用于固定探针，其另一端连接于所述第一调节机构上，所述第一调节机构通过所述探针固定座连接于所述测试台上，所述第一调节机构用于沿第一方向和第二方向调节所述探针连接杆的位置，其中所述第一方向和所述第二方向均平行于所述测试台的台面，且上述两个方向相互垂直；
[0008]测试盒，所述测试盒设于所述测试台的台面上，其内形成有空腔，所述测试盒内侧底面平行于所述测试台的台面，其上用于固定待测芯片，所述测试盒顶面上设有透明观察窗，并开设有若干个用于连通所述空腔与所述测试盒外侧的第一通孔，所述第一通孔上均覆盖有第二调节机构，所述探针连接杆由所述测试盒外侧穿过所述第二调节机构伸入至所述测试盒内侧，所述探针连接杆和所述第二调节机构之间、所述第二调节机构和所述第一通孔之间均为密封连接；所述第二调节机构用于配合所述第一调节机构对所述探针连接杆位置的调节动作。
[0009]可选的，所述封盖板上设有第二通孔，所述第二调节机构包括：
[0010]第一滑片，所述第一滑片覆盖于所述第一通孔，其上具有第二通孔，所述第一滑片底面与所述测试盒顶面形成有第一滑动连接结构，所述第一滑片通过所述第一滑动连接结构可沿第三方向往复，所述第三方向平行于所述测试台的台面；
[0011]第二滑片，所述第二滑片覆盖于所述第二通孔，其上具有第三通孔，所述第三通孔的孔径与所述探针连接杆的直径相应，所述第二滑片底面与所述第一滑片顶面形成第二滑
动连接结构，所述第二滑片通过所述第二滑动连接结构可沿第四方向往复，所述第四方向垂直于所述第三方向；
[0012]所述探针连接杆的一端依次穿过所述第三通孔、第二通孔和第一通孔，并伸入至所述测试盒内。
[0013]可选的，在所述第一滑片的滑动轨迹上具有密封工位，当所述第一滑片滑动至所述密封工位时，所述第一通孔被所述第一滑片密封覆盖。
[0014]可选的，所述若干个第一通孔和第二调节机构绕所述观察窗均匀分布。
[0015]可选的，所述测试盒成正多边形，其边数与所述第二调节机构的个数相应。
[0016]可选的，所述探针连接杆的延伸方向与所述测试台的台面呈设定角度，所述设定角度大于0度，且小于90度。
[0017]可选的，所述测试盒上还开设有第四通孔，所述第二调节机构还包括用于密封覆盖所述第四通孔的封盖板，所述若干第一通孔和所述透明观察窗均设于所述封盖板上。
[0018]本申请有益效果在于：
[0019]由于所述探针连接杆穿过所述第二调节机构，并进入所述测试盒内部的所述空腔内，而所述探针连接杆、所述第二调节机构和所述第一通孔之间配合用于使所述空腔内形成密封结构，因此在所述测试盒内形成较为稳定的测试环境。另外，由于每个与所述探针连接杆连接的所述第一调节机构均设于所述测试盒的外侧，因此所述测试盒内部的较小区域内可同时容纳更多的所述探针连接杆的一端及其上固定的探针，从而可以满足对芯片同时进行更多项测试的需求。
附图说明
[0020]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0021]图1为本申请实施例提供的芯片测试装置的结构示意图；
[0022]图中标号：21，探针固定座；22，探针连接杆；3，测试盒；30，透明观察窗；31，第一滑片；32，第二滑片；33，封盖板。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0024]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0025]请参考图1，为本实施例提供的一种芯片测试装置，包括：
[0026]测试台；
[0027]探针组件，所述探针组件包括探针固定座21、探针连接杆22和第一调节机构，所述探针连接杆22的一端用于固定探针，其另一端连接于所述第一调节机构上，所述第一调节机构通过所述探针固定座21连接于所述测试台上，所述第一调节机构用于沿第一方向和第二方向调节所述探针连接杆22的位置，其中所述第一方向和所述第二方向均平行于所述测
试台的台面，且上述两个方向相互垂直；
[0028]测试盒3，所述测试盒3设于所述测试台的台面上，其内形成有空腔，所述测试盒3内侧底面平行于所述测试台的台面，其上用于固定待测芯片，所述测试盒3顶面上设有透明观察窗30，并开设有若干个用于连通所述空腔与所述测试盒3外侧的第一通孔，所述第一通孔上均覆盖有第二调节机构，所述探针连接杆22由所述测试盒3外侧穿过所述第二调节机构伸入至所述测试盒3内侧，所述探针连接杆22和所述第二调节机构之间、所述第二调节机构和所述第一通孔之间均为密封连接；所述第二调节机构用于配合所述第一调节机构对所述探针连接杆22位置的调节动作。
[0029]由于所述探针连接杆22穿过所述第二调节机构，并进入所述测试盒3内部的所述空腔内，而所述探针连接杆22、所述第二调节机构和所述第一通孔之间配合用于使所述空腔内形成密封结构，因此在所述测试盒3内形成较为稳定的测试环境。另外，由于每个与所述探针连接杆22连接的所述第一调节机构均设于所述测试盒3的外侧，因此所述测试盒内部的较小区域内可同时容纳更多的所述探针连接杆22的一端及其上固定的探针，从而可以满足对芯片同时进行更多项测试的需求。
[0030]优选地，所述第一调节机构包括滑动板，所述滑动板底面与所述探针固定座21之间为滑动连接，所述滑动板顶面与探针连接杆22之间也是滑动连接，且上述两种滑动连接的方向分别为所述第一方向和所述第二方向。对于各所述探针连接杆22的位置调整均通过所述透明观察窗30来确认。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试装置，其特征在于，包括：测试台；探针组件，所述探针组件包括探针固定座(21)、探针连接杆(22)和第一调节机构，所述探针连接杆(22)的一端用于固定探针，其另一端连接于所述第一调节机构上，所述第一调节机构通过所述探针固定座(21)连接于所述测试台上，所述第一调节机构用于沿第一方向和第二方向调节所述探针连接杆(22)的位置，其中所述第一方向和所述第二方向均平行于所述测试台的台面，且上述两个方向相互垂直；测试盒(3)，所述测试盒(3)设于所述测试台的台面上，其内形成有空腔，所述测试盒(3)内侧底面平行于所述测试台的台面，其上用于固定待测芯片，所述测试盒(3)顶面上设有透明观察窗(30)，并开设有若干个用于连通所述空腔与所述测试盒(3)外侧的第一通孔，所述第一通孔上均覆盖有第二调节机构，所述探针连接杆(22)由所述测试盒(3)外侧穿过所述第二调节机构伸入至所述测试盒(3)内侧，所述探针连接杆(22)和所述第二调节机构之间、所述第二调节机构和所述第一通孔之间均为密封连接；所述第二调节机构用于配合所述第一调节机构对所述探针连接杆(22)位置的调节动作。2.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于，所述第二调节机构包括：第一滑片(31)，所述第一滑片(31)覆盖于所述第一通孔，其上具有第二通孔，所述第一滑片(31)底面与所述测试盒(3)顶面形成有第一滑动连接结构，所述第一滑片(31)通过所述第一滑动连接结构可沿第三方向往复，所述第三方向平行于所述测...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，
申请(专利权)人：北京柯泰光芯半导体装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：