湿制程加工设备及用于其的旋转载具制造技术

一种湿制程加工设备及用于其的旋转载具，其中湿制程加工设备包括：一感测组件、一喷射装置、一调压组件、一喷洒装置、一机体、一输送单元以及一控制器。借由在机体内设置有感测组件以及在每一旋转载具上设置有一被感测件，且控制器具有设定转速，使能以控制器计算出每一旋转载具的感测转速，再以控制器比较感测转速和设定转速，若不相同则以控制器控制调压组件对喷射装置调整流体压力，使旋转载具所被感测到的感测转速等于设定转速。借此，以具有能够调整各旋转载具的转速的效果。调整各旋转载具的转速的效果。调整各旋转载具的转速的效果。

【技术实现步骤摘要】
湿制程加工设备及用于其的旋转载具


[0001]本技术与湿制程的加工有关，特别是指可调整旋转载具转速的一种湿制程加工设备及用于其的旋转载具。

技术介绍

[0002]在基板(例如还未成型出电路的铜箔基板等)的加工制程中，例如蚀刻、清洗等湿制程，基板通常先经由载具夹持定位，才进行加工制程。在加工制程中，常见基板以直立的方式安装于一输送单元，以经由输送单元的带动而将基板依预定路线移动，进而利于对基板进行所述的湿制程加工。
[0003]为了在前述的湿制程加工过程中能够避免药液分布不均等问题，用以承载并定位基板的载具就相应研发出旋转式载具，以利用流体喷射装置驱动旋转式载具旋转。
[0004]然而，现有旋转式载具却会因为设计或组配上的公差等问题，导致在同一流体喷射装置的驱动下，却会出现不同的转速。转速较快时，药液作用时间可能不足；转速较慢时，药液残留时间变久，易对湿制程产生不利的影响。凡此皆早为人所诟病已久。
[0005]因此，如何感测到每一旋转式载具的转速，并能依此控制所喷出的流体速度来改变旋转式载具的转速，乃为本创作人所亟欲解决的一大课题。

技术实现思路

[0006]为了解决前述现有技术的问题，本技术提出一种湿制程加工设备及用于其的旋转载具，能感测到每一旋转载具的转速，并依此控制喷射装置所喷出的流体速度来改变旋转载具的转速等于设定转速。
[0007]本技术湿制程加工设备，用以对设在旋转载具上的基板加工，所述旋转载具上设置有一被感测件，该湿制程加工设备包括：一机体，设置有一输送单元，该输送单元吊挂有所述旋转载具，该输送单元带动所述旋转载具于该机体内移动而产生一移动路径；一感测组件，包含对应该移动路径配置于该机体内的至少两个感测元件；一喷洒装置，设置于该机体内且对所述基板喷洒工作液体；一喷射装置，设置于该机体内且连接有一调压组件，该喷射装置喷射流体冲击所述旋转载具，所述旋转载具受动于所述流体的冲击而连同所述被感测件一起旋转；以及一控制器，电性连接该感测组件和该调压组件且具有一设定转速；其中，当所述旋转载具在该机体内移动时，所述被感测件跟随所述旋转载具移动而邻近于该感测元件，该感测元件感测到所述被感测件而产生一触发讯号给该控制器，该控制器借由两个该感测元件所提供的该触发讯号计算出一感测转速并将该感测转速与该设定转速比较，当该感测转速不等于该设定转速时，该控制器控制该调压组件对该喷射装置调整流体压力使各所述旋转载具所被感测到的该感测转速等于该设定转速。
[0008]本技术旋转载具，用于湿制程加工设备且设有基板，所述湿制程加工设备则对所述基板加工且包含有输送单元和喷射装置，该旋转载具包括：一外框，吊挂且受动于所述输送单元，该外框设置有至少一传动结构；一内环框，可转动地设置于该外框内且定位有
所述基板，该至少一传动结构对应该内环框配置，该内环框被该至少一传动结构带动旋转且设置有跟随该内环框旋转的至少一被感测件；以及一驱动结构，对应该至少一传动结构设置于该外框且具有一叶片部，所述喷射装置喷射流体冲击该叶片部旋转而连动该至少一传动结构旋转。
[0009]相较于先前技术，本技术借由感测每一旋转载具的感测转速，再以控制器控制调压组件对喷射装置调整流体压力直到旋转载具的感测转速等于设定转速，以具有能够调整各旋转载具的转速的效果。
附图说明
[0010]图1为用于本技术的旋转载具的立体示意图，图中包含喷射装置。
[0011]图2为用于本技术的旋转载具立设于输送单元时的平面示意图，图中包含感测组件。
[0012]图3为用于本技术的旋转载具的侧视示意图，图中包含感测组件。
[0013]图4为本技术依据图2于旋转后的平面示意图。
[0014]图5为本技术湿制程加工设备的平面示意图，图中尚未立设旋转载具。
[0015]图6为本技术湿制程加工设备于第一个旋转载具进入机体内的平面示意图。
[0016]图7为本技术湿制程加工设备于第二个旋转载具也跟着进入机体内的平面示意图。
[0017]图8为本技术湿制程加工设备的俯视示意图。
[0018]图9为本技术湿制程加工设备的电路方块图。
[0019]附图中的符号说明：
[0020]100:旋转载具；1:外框；11:滚轮；12:传动结构；121:传动轮；122:受动部；13:安装件；2:内环框；21:周缘；22:被感测件；221:片体；222:桥接臂；3:驱动结构；31:架体；32:连杆；33:叶片部；34:驱动部；400:感测组件；41,42:感测元件；43:固定件；500:喷射装置；51:启动喷射组；52:冲击喷射组；53:喷嘴；600:调压组件；61:启动调压元件；62:冲击调压元件；700:喷洒装置；800:机体；81:前端；82:后端；900:输送单元；A1:启动区；A2:喷洒区；C:控制器；P:基板；M:移动路径。
具体实施方式
[0021]有关本技术的详细说明和
技术实现思路
，配合图式说明如下，然而所附图式仅提供参考与说明用，非用以限制本技术。
[0022]本技术提供一种湿制程加工设备及用于其的旋转载具，如图5所示，主要用以对夹设在旋转载具100上的基板P进行湿制程加工。其中，旋转载具100为喷射驱动型的载具，能借由一喷射装置500所喷射的流体而被驱动旋转。
[0023]如图1至图8所示，本技术湿制程加工设备包括：一感测组件400、一喷射装置500、一调压组件600(见于图8)、一喷洒装置700、一机体800、一输送单元900以及一控制器C(见于图9)。
[0024]机体800内设置有感测组件400、喷射装置500和喷洒装置700，且机体800定义有彼此相对的一前端81和一后端82；输送单元900从机体800内穿过，如图5所示则是从前端81穿
入，并从后端82穿出；调压组件600和控制器C则是设置于机体800外，但在具有防水措施的情况下，也可以设置在机体800内。
[0025]旋转载具100以吊挂方式立设于输送单元900，使旋转载具100受到输送单元900的带动而从机体800的前端81移动到后端82，并据此产生一移动路径M。旋转载具100夹设有基板P且设置有一被感测件22，使旋转载具100能带着基板P一起移动，且基板P和被感测件22都能跟着旋转载具100一起旋转。
[0026]需说明的是，旋转载具100可为至少两个设置，于本实施例中则以两个旋转载具100为例进行说明；再者，本技术并未限定被感测件22的数量，可为一个，也可为两个，如图1所示，旋转载具100上同时设置有两个被感测件22，且此两个被感测件22彼此相对；此外，感测组件400包含对应移动路径M配置于机体800内的至少两个感测元件，本技术并未限定感测元件的数量，于本实施例中则以包含两个感测元件(41或/及42)为例进行说明。
[0027]喷射装置500能对进入机体800内的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种湿制程加工设备，用以对设在旋转载具上的基板加工，所述旋转载具上设置有一被感测件，其特征在于，该湿制程加工设备包括：一机体，设置有一输送单元，该输送单元吊挂有所述旋转载具，该输送单元带动所述旋转载具于该机体内移动而产生一移动路径；一感测组件，包含对应该移动路径配置于该机体内的至少两个感测元件；一喷洒装置，设置于该机体内且对所述基板喷洒工作液体；一喷射装置，设置于该机体内且连接有一调压组件，该喷射装置喷射流体冲击所述旋转载具，所述旋转载具受动于所述流体的冲击而连同所述被感测件一起旋转；以及一控制器，电性连接该感测组件和该调压组件且具有一设定转速；其中，当所述旋转载具在该机体内移动时，所述被感测件跟随所述旋转载具移动而邻近于该感测元件，该感测元件感测到所述被感测件而产生一触发讯号给该控制器，该控制器借由两个该感测元件所提供的该触发讯号计算出一感测转速并将该感测转速与该设定转速比较，当该感测转速不等于该设定转速时，该控制器控制该调压组件对该喷射装置调整流体压力使各所述旋转载具所被感测到的该感测转速等于该设定转速。2.根据权利要求1所述的湿制程加工设备，其特征在于，该控制器具有两个设定转速，各该设定转速是彼此相同或彼此相异。3.根据权利要求1所述的湿制程加工设备，其特征在于，该机体内定义有至少两个喷洒区，该喷射装置具有至少两个冲击喷射组，该调压组件包含至少两个冲击调压元件，每一该喷洒区配置有至少一该感测元件、该冲击喷射组和该冲击调压元件，各该冲击调压元件连接各该冲击喷射组，每一该喷洒区的该感测元件感测每一所述旋转载具的所述被感测件，该控制器控制各该冲击调压元件对各该冲击喷射组调整流体压力。4.根据权利要求3所述的湿制程加工设备，其特征在于，该机体内还定义有一启动区，该喷射装置还具有一启动喷射组，该调...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏胜义，巫坤星，吕理榕，苏绍君，黄世达，
申请(专利权)人：扬博科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：