【技术实现步骤摘要】
湿制程加工设备及用于其的旋转载具
[0001]本技术与湿制程的加工有关，特别是指可调整旋转载具转速的一种湿制程加工设备及用于其的旋转载具。
技术介绍
[0002]在基板(例如还未成型出电路的铜箔基板等)的加工制程中，例如蚀刻、清洗等湿制程，基板通常先经由载具夹持定位，才进行加工制程。在加工制程中，常见基板以直立的方式安装于一输送单元，以经由输送单元的带动而将基板依预定路线移动，进而利于对基板进行所述的湿制程加工。
[0003]为了在前述的湿制程加工过程中能够避免药液分布不均等问题，用以承载并定位基板的载具就相应研发出旋转式载具，以利用流体喷射装置驱动旋转式载具旋转。
[0004]然而，现有旋转式载具却会因为设计或组配上的公差等问题，导致在同一流体喷射装置的驱动下，却会出现不同的转速。转速较快时，药液作用时间可能不足；转速较慢时，药液残留时间变久，易对湿制程产生不利的影响。凡此皆早为人所诟病已久。
[0005]因此，如何感测到每一旋转式载具的转速，并能依此控制所喷出的流体速度来改变旋转式载具的转速，乃为...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种湿制程加工设备，用以对设在旋转载具上的基板加工，所述旋转载具上设置有一被感测件，其特征在于，该湿制程加工设备包括：一机体，设置有一输送单元，该输送单元吊挂有所述旋转载具，该输送单元带动所述旋转载具于该机体内移动而产生一移动路径；一感测组件，包含对应该移动路径配置于该机体内的至少两个感测元件；一喷洒装置，设置于该机体内且对所述基板喷洒工作液体；一喷射装置，设置于该机体内且连接有一调压组件，该喷射装置喷射流体冲击所述旋转载具，所述旋转载具受动于所述流体的冲击而连同所述被感测件一起旋转；以及一控制器，电性连接该感测组件和该调压组件且具有一设定转速；其中，当所述旋转载具在该机体内移动时，所述被感测件跟随所述旋转载具移动而邻近于该感测元件，该感测元件感测到所述被感测件而产生一触发讯号给该控制器，该控制器借由两个该感测元件所提供的该触发讯号计算出一感测转速并将该感测转速与该设定转速比较，当该感测转速不等于该设定转速时，该控制器控制该调压组件对该喷射装置调整流体压力使各所述旋转载具所被感测到的该感测转速等于该设定转速。2.根据权利要求1所述的湿制程加工设备，其特征在于，该控制器具有两个设定转速，各该设定转速是彼此相同或彼此相异。3.根据权利要求1所述的湿制程加工设备，其特征在于，该机体内定义有至少两个喷洒区，该喷射装置具有至少两个冲击喷射组，该调压组件包含至少两个冲击调压元件，每一该喷洒区配置有至少一该感测元件、该冲击喷射组和该冲击调压元件，各该冲击调压元件连接各该冲击喷射组，每一该喷洒区的该感测元件感测每一所述旋转载具的所述被感测件，该控制器控制各该冲击调压元件对各该冲击喷射组调整流体压力。4.根据权利要求3所述的湿制程加工设备，其特征在于，该机体内还定义有一启动区，该喷射装置还具有一启动喷射组，该调...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏胜义，巫坤星，吕理榕，苏绍君，黄世达，
申请(专利权)人：扬博科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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