下载湿制程加工设备及用于其的旋转载具的技术资料

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一种湿制程加工设备及用于其的旋转载具,其中湿制程加工设备包括:一感测组件、一喷射装置、一调压组件、一喷洒装置、一机体、一输送单元以及一控制器。借由在机体内设置有感测组件以及在每一旋转载具上设置有一被感测件,且控制器具有设定转速,使能以控制器...
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