一种氮气氛围型超纯水取样器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种氮气氛围型超纯水取样器，具有隔绝空气污染、取样时能有效冲洗取样瓶的优点，最终可以使所取超纯水更接近实际水质，提高检测准确性。其包括取样箱、取样瓶，取样箱上开设有进水口、出水口、操作窗口，操作窗口用于置入、取出取样瓶并且用于连接操作手套，其特征在于：取样箱内设有开孔的隔板，隔板与取样箱底部具有间距用于形成水封层，取样箱还连接有氮气进气口和排气口，出水口处连接有存水弯。接有存水弯。接有存水弯。

【技术实现步骤摘要】
一种氮气氛围型超纯水取样器


[0001]本技术涉及液体取样器
，具体为一种氮气氛围型超纯水取样器。

技术介绍

[0002]超纯水广泛应用在半导体生产中，其水质对产品良率有直接影响。超纯水制备系统设置在线仪表对水质进行监控，检测指标包括电阻率、总有机物、硼、硅、溶氧、颗粒等，但为了保证半导体生产安全，还需要定期对金属离子、无机阴离子、细菌等指标进行取样送检。但现有的超纯水取样器取样过程不规范，极其容易引入空气污染或因取样瓶污染，造成检测结果不准确。
[0003]北京京东方光电科技有限公司的专利（专利号：ZL201220130408.7）采用倒喇叭口瓶颈，避免形成冲刷死角，增强超纯水冲刷取样瓶的冲洗力，提高超纯水取样成功率，但取样瓶内充满冲洗水后，瓶颈细小，流出困难，冲洗水与检测水混合，检测水受到污染，检测精度较低；新疆新特能材料检测中心有限公司的专利（专利号：ZL201920862319.3）采用覆盖有隔离膜的取样瓶防止取样过程中超纯水和二氧化碳接触，提高检测精确度，但取样瓶无法用超纯水在线冲洗，存在取样瓶污染的可能性；新疆昌源水务科学研究院有限公司的专利（专利号：ZL202120551773.4）采用螺纹连接方式防止取样过程中超纯水和二氧化碳接触，提高检测精确度，但无法有效冲洗取样瓶。

技术实现思路

[0004]针对现有超纯水取样器易污染的问题，本技术提供了一种氮气氛围型超纯水取样器，具有隔绝空气污染、取样时能有效冲洗取样瓶的优点，最终可以使所取超纯水更接近实际水质，提高检测准确性。
>[0005]其技术方案是这样的：一种氮气氛围型超纯水取样器，其包括取样箱、取样瓶，取样箱上开设有进水口、出水口、操作窗口，操作窗口用于置入、取出取样瓶并且用于连接操作手套，其特征在于：取样箱内设有开孔的隔板，隔板与取样箱底部具有间距用于形成水封层，取样箱还连接有氮气进气口和排气口，出水口处连接有存水弯。
[0006]优选的，进水口位于取样箱顶部，出水口位于取样箱底部，进水口处安装有隔膜阀。
[0007]优选的，存水弯的最高点与隔板相持平。
[0008]优选的，氮气进气口位于取样箱的一侧上部，排气口位于氮气进气口相对侧的下部，排气口高于存水弯的最高点，氮气进气口处安装有稳压阀。
[0009]优选的，取样箱内还安装有微压表。
[0010]优选的，操作窗口位于取样箱的中部。
[0011]有益效果：一、隔绝空气污染。通过氮气进气口充入氮气使取样箱内充斥洁净氮气，并通过存水弯在导入超纯水后可以在箱底形成水封层，有效防止空气对超纯水检测的污染。
[0012]二、防止取样瓶污染。可以通过操作窗口连接的操作手套在取样前充分润洗取样瓶，冲洗水完全流净，有效防止取样瓶自身污染。
附图说明
[0013]图1为本技术正面示意图；
[0014]图2为取样箱右侧示意图；
[0015]图3为取样箱后侧示意图。
具体实施方式
[0016]如图1
‑
3所示的一种氮气氛围型超纯水取样器，其包括取样箱10、取样瓶，取样箱10上开设有进水口1、出水口11、操作窗口4，操作窗口4位于取样箱10中部，优选窗口直径15~20cm，用于置入、取出取样瓶并且用于在置入取样瓶后或者取出取样瓶前固定操作手套，取样箱10内设有开孔的隔板5（开孔率10%~20%，小孔直径5~15mm），隔板5与取样箱10底部具有间距，优选间距为5~10cm，用于在导入超纯水后形成水封层12，取样箱10还连接有氮气进气口3和排气口8，出水口11处连接有存水弯9，优选存水弯9高度为5~10cm，为了使水封层12中的水位与隔板5的高度平齐，存水弯9的最高点与隔板5相持平。
[0017]具体的，进水口1位于取样箱10顶部，出水口11位于取样箱底部，进水口1处安装有聚四氟乙烯手动隔膜阀2，进水口1接至超纯水储存装置，连接管道为聚四氟乙烯软管。
[0018]氮气进气口3位于取样箱10的一侧上部并与洁净氮气储存装置连接，本实施例中为正面上部，氮气纯度不低于99.999%（体积），氮气压力0.5~0.7MPa，排气口8位于氮气进气口3相对侧的下部，本实施例中为背面下部，排气口8高于存水弯9的最高点，优选高于存水弯9最高点2~5cm，以避免水从排气口8排出，氮气进气口3处安装有稳压阀7，稳压阀7设置压力20~50Kpa，取样箱10内还安装有微压表6，其量程宜选用0~100Kpa，用于使取样箱10内压力保持为正，保证取样箱10内为氮气氛围。
[0019]使用本装置进行采样时，第一步：通过操作窗口4放置取样瓶，用丁腈手套封闭固定操作窗口4。
[0020]第二步：洁净氮气接至氮气进气口3，调节稳压阀7压力至20~50KPa，通过微压表6监测取样箱压力，保证取样箱10内微正压，排气口8有明显气体排出，维持5~10min。
[0021]第三步：超纯水接至进水口1，打开聚四氟乙烯手动隔膜阀2，通过聚四氟乙烯软管，从操作窗口4透过丁腈手套用超纯水充分润洗取样瓶，然后取样，超纯水溢流而出，透过隔板5，在箱底形成水封层12，并从存水弯9流出。
[0022]第四步：溢流5~10min后，取样瓶内的检测水与超纯水水质一样，从操作窗口4透过丁腈手套盖上取样瓶瓶盖，关闭洁净氮气和超纯水，取下丁腈手套，取出取样瓶。
[0023]综上所述，本技术提供的氮气氛围型超纯水取样器，具有隔绝空气污染、防止取样瓶污染等优点，最终可以使所取超纯水更接近实际水质，提高检测准确性。
[0024]以上，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉该技术的人在本技术所揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮气氛围型超纯水取样器，其包括取样箱、取样瓶，所述取样箱上开设有进水口、出水口、操作窗口，所述操作窗口用于置入、取出所述取样瓶并且用于连接操作手套，其特征在于：所述取样箱内设有开孔的隔板，所述隔板与所述取样箱底部具有间距用于形成水封层，所述取样箱还连接有氮气进气口和排气口，所述出水口处连接有存水弯。2.根据权利要求1所述的一种氮气氛围型超纯水取样器，其特征在于：所述进水口位于所述取样箱顶部，所述出水口位于所述取样箱底部，所述进水口处安装有隔膜阀。3.根据权利要求1所述的一种氮气氛围型超纯水...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈炜彧，于红，刘伟，申季刚，赵浩竹，高康，袁润博，
申请(专利权)人：江苏中电创新环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：