一种在线式射频等离子体装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及射频等离子体技术领域，且公开了一种在线式射频等离子体装置，包括机架，所述机架的侧壁固定连接有透明板，所述机架靠近透明板的侧面转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧螺纹连接有支撑柱，所述支撑柱远离螺纹杆的一端固定连接有安装架，所述安装架的内部开设有储气仓，所述储气仓的底部固定连接有气泵，所述储气仓的外侧壁固定连接有擦块，所述支撑柱的内部开设有活动腔，通过安装架靠近透明板的侧壁固定连接有擦块，且安装架分别位于透明板的两侧，擦块能够对透明板的表面进行清洁，从而达到了能够对透明板的内外两侧均进行清洁，避免在激光照射和摄影机拍摄时造成图像不清晰的效果。图像不清晰的效果。图像不清晰的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种在线式射频等离子体装置


[0001]本技术涉及射频等离子体
，具体为一种在线式射频等离子体装置。

技术介绍

[0002]在进行射频等离子体的运动观察和试验时，需要使用射频等离子体装置，来进行试验，为了观察内部的运动状态，需要在装置的侧壁安装透明板，并通过激光照射和摄像的方式来进行观察记录。
[0003]在线的射频等离子体装置的侧面透明板不具备自动清洁的功能，需要人工对其进行清洁工作，这样降低了工作的效率，同时拍摄的图像不清晰，激光照射时容易产生折射的后果。
[0004]我们通过在透明板的侧面安装清洁机构，能够对透明板进行自动的清洁，提高了工作效率，同时提高了拍摄的清晰度，避免照射进的激光发生折射的效果。

技术实现思路

[0005]（一）解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种在线式射频等离子体装置，具备能够对透明板进行自动的清洁，提高了工作效率，同时提高了拍摄的清晰度，避免照射进的激光发生折射等优点，解决了需要人工对其进行清洁工作，这样降低了工作的效率，同时拍摄的图像不清晰，激光照射时容易产生折射的问题。
[0007]（二）技术方案
[0008]为实现上述能够对透明板进行自动的清洁，提高了工作效率，同时提高了拍摄的清晰度，避免照射进的激光发生折射的目的，本技术提供如下技术方案：一种在线式射频等离子体装置，包括机架，所述机架的侧壁固定连接有透明板，所述机架靠近透明板的侧面转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧螺纹连接有支撑柱，所述支撑柱远离螺纹杆的一端固定连接有安装架，所述安装架的内部开设有储气仓，所述储气仓的底部固定连接有气泵，所述储气仓的外侧壁固定连接有擦块，所述支撑柱的内部开设有活动腔，所述活动腔的内部转动连接有转板，所述转板的外侧壁固定连接有转轴，所述转板的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块靠近滑槽底部的一端固定连接有复位弹簧，所述滑块的内部滑动连接有金属触头，所述滑槽的侧壁内部固定连接有金属条。
[0009]优选的，所述机架靠近透明板的两端开设有凹槽，所述螺纹杆转动连接在凹槽的内部，且螺纹杆的底部固定连接有伺服电机，使得螺纹杆能够在机架的内部转动。
[0010]优选的，所述支撑柱的内部开设有内螺纹孔，所述螺纹杆与内螺纹孔相互螺纹连接，螺纹杆转动时能够带动与之啮合的支撑柱上下移动。
[0011]优选的，所述擦块的内部开设有气孔，所述储气仓与擦块内部的气孔相互连通，使得储气仓内部的空气能够通过擦块喷射在透明板的表面。
[0012]优选的，所述转板的外侧面固定连接有轮齿，且转板与螺纹杆相互接触，螺纹杆带
动支撑柱上下运动时，转板能够在螺纹杆的带动下转动。
[0013]优选的，所述滑槽的侧壁开设有定位槽，所述金属条固定连接在定位槽的底部，所述金属触头与定位槽位于同一水平面上，金属触头运动至定位槽的侧面时能够伸入定位槽的内部，并与其底部的金属条相互连接。
[0014]优选的，所述金属触头的侧面固定连接有弹簧，弹簧的另一端固定连接在滑块的内部，金属触头连接有电源，所述金属条通过电线与气泵的内部电路相互连通，金属触头与金属条相互接触时，气泵能够开始工作。
[0015]（三）有益效果
[0016]与现有技术相比，本技术提供了一种在线式射频等离子体装置，具备以下有益效果：
[0017]1、该在线式射频等离子体装置，通过螺纹杆在伺服电机的带动下转动，使得与之啮合的支撑柱上下运动，支撑柱的侧面固定连接有安装架，安装架靠近透明板的侧壁固定连接有擦块，且安装架分别位于透明板的两侧，擦块能够对透明板的表面进行清洁，从而达到了能够对透明板的内外两侧均进行清洁，避免在激光照射和摄影机拍摄时造成图像不清晰的效果。
[0018]2、该在线式射频等离子体装置，通过支撑柱上下移动时，转板的侧壁与螺纹杆啮合，使得转板开始转动，转板内部的滑块在离心力的作用下向外侧滑动，使得金属触头与金属条相互接触，此时气泵开始工作，空气经过储气仓，通过擦块内部开设有气孔喷射在透明板的表面，从而达到了能够避免灰尘沾附在透明板表面，提高了清洁时工作效率的效果。
附图说明
[0019]图1为本技术射频等离子体装置的正面立体结构示意图；
[0020]图2为本技术射频等离子体装置的截面剖视结构示意图；
[0021]图3为本技术清洁机构的正面剖视结构示意图；
[0022]图4为本技术支撑柱的正面剖视结构示意图；
[0023]图5为本技术触发机构的正面剖视结构示意图；
[0024]图6为本技术升降机构的正面剖视结构示意图。
[0025]图中：1、机架；2、透明板；3、螺纹杆；4、支撑柱；5、安装架；6、储气仓；7、气泵；8、擦块；9、活动腔；10、转板；11、转轴；12、滑槽；13、滑块；14、复位弹簧；15、金属触头；16、金属条。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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6，一种在线式射频等离子体装置，包括机架1，机架1靠近透明板2的两端开设有凹槽，螺纹杆3转动连接在凹槽的内部，且螺纹杆3的底部固定连接有伺服电机，使得螺纹杆3能够在机架1的内部转动，机架1的侧壁固定连接有透明板2，机架1靠近透明板2
的侧面转动连接有螺纹杆3，螺纹杆3的外侧螺纹连接有支撑柱4，支撑柱4的内部开设有内螺纹孔，螺纹杆3与内螺纹孔相互螺纹连接，螺纹杆3转动时能够带动与之啮合的支撑柱4上下移动，支撑柱4远离螺纹杆3的一端固定连接有安装架5，安装架5的内部开设有储气仓6，储气仓6的底部固定连接有气泵7，储气仓6的外侧壁固定连接有擦块8，擦块8的内部开设有气孔，储气仓6与擦块8内部的气孔相互连通，使得储气仓6内部的空气能够通过擦块8喷射在透明板2的表面。
[0028]支撑柱4的内部开设有活动腔9，活动腔9的内部转动连接有转板10，转板10的外侧面固定连接有轮齿，且转板10与螺纹杆3相互接触，螺纹杆3带动支撑柱4上下运动时，转板10能够在螺纹杆3的带动下转动，转板10的外侧壁固定连接有转轴11，转板10的内部开设有滑槽12，滑槽12的侧壁开设有定位槽，金属条16固定连接在定位槽的底部，金属触头15与定位槽位于同一水平面上，金属触头15运动至定位槽的侧面时能够伸入定位槽的内部，并与其底部的金属条16相互连接，滑槽12的内部滑动连接有滑块13，滑块13靠近滑槽12底部的一端固定连接有复位弹簧14，滑块13的内部滑动连接有金属触头15，金属触头15的侧面固定连接有弹簧，弹簧的另一端固定连接在滑块13的内部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在线式射频等离子体装置，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）的侧壁固定连接有透明板（2），所述机架（1）靠近透明板（2）的侧面转动连接有螺纹杆（3），所述螺纹杆（3）的外侧螺纹连接有支撑柱（4），所述支撑柱（4）远离螺纹杆（3）的一端固定连接有安装架（5），所述安装架（5）的内部开设有储气仓（6），所述储气仓（6）的底部固定连接有气泵（7），所述储气仓（6）的外侧壁固定连接有擦块（8），所述支撑柱（4）的内部开设有活动腔（9），所述活动腔（9）的内部转动连接有转板（10），所述转板（10）的外侧壁固定连接有转轴（11），所述转板（10）的内部开设有滑槽（12），所述滑槽（12）的内部滑动连接有滑块（13），所述滑块（13）靠近滑槽（12）底部的一端固定连接有复位弹簧（14），所述滑块（13）的内部滑动连接有金属触头（15），所述滑槽（12）的侧壁内部固定连接有金属条（16）。2.根据权利要求1所述的一种在线式射频等离子体装置，其特征在于：所述机架（1）靠近透明板（2）的两端开设有凹槽，所述螺纹杆（3...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓东，
申请(专利权)人：天津双微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：