一种加液系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种加液系统，包括液罐、第一管道及第二管道；所述液罐的顶部设置有加液口；所述第一管道插设在所述液罐内，所述第一管道的第一端置于所述液罐的底部，第二端置于所述液罐外；所述液罐外的第一管道上设置有止回阀；所述第二管道的第一端通过动力泵与所述第一管道的第二端连接，第二端输出液体。本实用新型专利技术的加液系统通过液罐进行输送液体，体量大，可以减小系统宕机换液时长，提高系统运行时间；加液系统可根据液罐的容积，定量添加惰性气体且液罐密封，避免了化学物质的分解，保障设备正常作业。保障设备正常作业。保障设备正常作业。

【技术实现步骤摘要】
一种加液系统


[0001]本技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种加液系统。

技术介绍

[0002]如图1所示为现有的加液系统，加液管路上设置有手阀和动力泵，加液管路的第一端通过波纹管连接原液桶，第二端输出液体；使用时打开手阀，通过动力泵将原液输出。现有的加液系统存在以下缺点：使用小容量原液桶加液，更换原液桶频率较高；在更换原液桶时，存在气体回灌管路的问题；当换上新的原液桶后，排出管路内的气体需要消耗大量的化学气体；化学气体析出对操作人员存在安全隐患；出厂原液桶直接使用时无法密封，在一周左右，原液的主要化学成分便分解失效。
[0003]因此，如何解决现有加液系统使用小容量原液桶加液存在的缺点，已经成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。

技术实现思路

[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种加液系统，用于解决现有技术中使用小容量原液桶加液存在的缺点。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一加液系统，包括液罐、第一管道及第二管道；
[0006]所述液罐的顶部设置有加液口；所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加液系统，其特征在于，所述加液系统至少包括：液罐、第一管道及第二管道；所述液罐的顶部设置有加液口；所述第一管道插设在所述液罐内，所述第一管道的第一端置于所述液罐的底部，第二端置于所述液罐外；所述液罐外的第一管道上设置有止回阀；所述第二管道的第一端通过动力泵与所述第一管道的第二端连接，第二端输出液体。2.根据权利要求1所述的加液系统，其特征在于：所述加液口上还设置有密封装置。3.根据权利要求2所述的加液系统，其特征在于：所述密封装置为密封薄膜或密封盖。4.根据权利要求1所述的加液系统，其特征在于：所述第一管道的第一端置于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔尚坤，朱海洋，李飞，王维斌，李龙祥，
申请(专利权)人：盛合晶微半导体江阴有限公司，
类型：新型
国别省市：