标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置制造方法及图纸

公开了标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置。标记检测装置，包括：成像单元，被配置成通过对物体上的对准标记成像来生成对准标记图像；检测单元，被配置成检测对准标记图像中的对准标记；以及调节单元，被配置成基于如下的学习模型来调节与成像相关的参数，所述学习模型是通过使用其中不能检测到对准标记的对准标记图像和作为用于对其中能够检测到对准标记的对准标记图像成像的参数的第一参数进行学习而生成的。调节单元取得作为基于学习模型的推断处理的结果的第二参数。成像单元在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。

【技术实现步骤摘要】
标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置


[0001]本专利技术涉及一种用于从通过对对准标记成像而取得的图像数据中检测对准标记的技术。更具体而言，本专利技术涉及标记检测装置、标记学习装置、基板加工装置、标记检测方法和物品的制造方法。

技术介绍

[0002]例如，在使用光刻技术制造半导体器件或显示器件的曝光装置中检测上述对准标记。曝光装置经由投影光学系统将原版(诸如掩模和中间掩模)的图案投影到基板(诸如晶片和玻璃板)上并转印该图案。在同一基板上转印具有不同原版图案的多个层时，要求高度准确的对准以防止实际转印位置偏离目标转印位置。通过使用经由对对准标记成像而取得的图像数据(对准标记图像)，对准检测对准标记的位置并基于结果来校正位置。
[0003]日本专利特许公开No.(“JP”)2003
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338455公开了一种通过模板匹配来检测对准标记图像中的对准标记的位置的方法，该方法是使用与对准标记的变形对应的模板的自动变形和亮度(brightness)改变的优化方法。这种方法自学习以将优化的模板用于下一次匹配并提高对准标记的检测率。
[0004]但是，即使是JP 2003
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338455中公开的方法也要求操作者首先手动地将对准标记位置调节到成像位置，调节多个参数(诸如成像光的波长和照度(illuminance))，并维持对准标记的良好可成像状态。此时，操作者要花时间来确定要使用的参数的组合。由于对准标记图像中的对准标记的状态根据施加到基板的抗蚀剂的物理特性而改变，因此操作者需要足够的知识来确定组合。
[0005]一些曝光装置可以自动调节参数，但是这种类型的曝光装置自动且顺序地改变参数的组合并确定组合是否合适。因此，确定要使用的参数的组合要花长的时间。

技术实现思路

[0006]本专利技术提供了对准标记检测装置等，其能够自动且快速地调节与成像相关的参数以取得良好的对准标记图像。
[0007]根据本专利技术的一个方面的标记检测装置包括：成像单元，被配置成通过对物体上的对准标记成像来生成对准标记图像；检测单元，被配置成检测对准标记图像中的对准标记；以及调节单元，被配置成基于如下的学习模型来调节与成像相关的参数，所述学习模型是通过使用其中不能检测到对准标记的对准标记图像和作为用于对其中能够检测到对准标记的对准标记图像成像的参数的第一参数进行学习而生成的。调节单元取得作为基于学习模型的推断处理的结果的第二参数。成像单元在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。与上述标记检测装置对应的标记检测方法以及各自使用上述标记检测装置的基板加工装置和物品的制造方法也构成本专利技术的其他方面。
[0008]根据本专利技术的另一方面的标记学习装置包括：取得单元，被配置成取得作为通过对物体上的对准标记成像而生成的、其中不能检测到图像中的对准标记的图像的对准标记
图像，以及作为在其中能够检测到对准标记的对准标记图像的成像中的与成像相关的参数的第一参数；以及学习单元，被配置成生成与推断处理一起使用的学习模型，该学习模型通过使用所取得的对准标记图像和第一参数进行学习来输出作为参数的第二参数。
[0009]本专利技术的其他特征将从以下参考附图对示例性实施例的描述中变得清楚。
附图说明
[0010]图1是图示根据第一实施例的标记检测装置的配置的框图。
[0011]图2图示了根据第一实施例的要调节的参数与调节单元之间的关系。
[0012]图3是图示根据第一实施例的参数推断处理的流程图。
[0013]图4图示了具有不同观察光照度的对准标记图像。
[0014]图5图示了在观察视场中具有不同对准标记位置的对准标记图像。
[0015]图6是图示根据第一实施例的参数学习处理的流程图。
[0016]图7图示了根据第二实施例的学习共享服务器的网络配置。
[0017]图8图示了包括根据第一实施例的标记检测装置的曝光装置的配置。
具体实施方式
[0018]现在参考附图，将给出根据本专利技术的实施例的描述。
[0019]第一实施例
[0020]图1图示了根据第一实施例的曝光装置中的与对准标记测量相关的配置(标记检测装置)。曝光装置包括操作终端100、控制单元110、学习服务器120和驱动单元130。控制单元110中的顺序控制器111根据来自由操作者操作的操作终端100的命令向测量控制器112和驱动控制器113分别发出测量和驱动指令，并执行顺序控制。
[0021]测量控制器112与驱动单元130通信以控制驱动单元130中的测量单元131、观察光单元133和波长校正单元134。作为成像单元的测量单元131在观察视场(成像区域)中对在诸如掩模或板(基板)之类的物体上提供的对准标记成像并且生成对准图像。观察光单元133包括具有彼此不同波长的多个光源，诸如LED。波长校正单元134控制来自掩模或板的反射光以校正要由测量单元131成像的光的波长。
[0022]驱动控制器113与驱动单元130通信以控制驱动单元130中的物镜驱动单元132、掩模台驱动单元135和板台驱动单元136。物镜驱动单元132移动物镜以通过曝光将掩模图案转印到板上。掩模台驱动单元135和板台驱动单元136分别移动支撑掩模和板的台。
[0023]操作终端(操作单元)100包括操作单元101，该操作单元101使得能够调节与用于取得对准标记图像的成像相关的多个参数，并且根据操作者对操作单元101的操作来调节参数。与成像相关的多个参数是值，并且当参数改变时，对准标记图像中的对准标记的状态(诸如亮度、对比度和位置)改变。
[0024]学习服务器(对准标记学习装置)120包括用于取得(推断)合适参数的组合的学习模型121，以及用于更新学习模型121的学习单元122。
[0025]在调节图2中所示的参数并设置成像条件之后，由测量单元131执行曝光装置中的用于取得对准标记图像的成像。更具体而言，通过驱动物镜驱动单元132、掩模台驱动单元135和板台驱动单元136来调节测量单元131的观察视场中的对准标记的位置。在成像期间，
观察视场内被观察光照亮。通过在观察光单元133中将当前光源切换到具有不同波长的其他光源、通过调节部署在观察光路径上的孔径光阑(光圈)以切出(cut out)在特定波长带中的光、以及通过使用波长校正单元134抑制镜面反射光，调节观察光的波长。通过增大或减小输入到观察光单元133中的光源的电流值以改变发光量来调节观察光的照度。
[0026]图3的流程图图示了使用学习模型121来推断合适的参数组合的推断处理，该学习模型121接收通过测量单元131的成像而获得的对准标记图像的输入。包括计算机的控制单元110(包括顺序控制器111、测量控制器112和驱动控制器113)根据计算机程序执行这个处理。控制单元110与检测装置和调节单元对应。
[0027]首先，顺序控制器111向测量控制器112和驱动控制器113发出命令以测量对准标记的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种标记检测装置，包括：成像单元，被配置成通过对物体上的对准标记成像来生成对准标记图像；检测单元，被配置成检测对准标记图像中的对准标记；以及调节单元，被配置成基于如下的学习模型来调节与成像相关的参数，所述学习模型是通过使用其中不能检测到对准标记的对准标记图像和作为用于对其中能够检测到对准标记的对准标记图像成像的参数的第一参数进行学习而生成的，其特征在于，调节单元取得作为基于学习模型的推断处理的结果的第二参数，其中，成像单元在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。2.根据权利要求1所述的标记检测装置，还包括：学习单元，被配置成进行学习以生成学习模型。3.根据权利要求2所述的标记检测装置，其特征在于，学习单元在将参数调节为第二参数的同时通过成像而生成的对准标记图像中的对准标记不能被检测到的情况下执行学习。4.一种标记学习装置，包括：取得单元，被配置成取得作为通过对物体上的对准标记成像而生成的、其中不能检测到图像中的对准标记的图像的对准标记图像，以及作为在其中能够检测到对准标记的对准标记图像的成像中的与成像相关的参数的第一参数；以及学习单元，被配置成生成与推断处理一起使用的学习模型，该学习模型通过使用所取得的对准标记图像和第一参数进行学习来输出作为参数的...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本将志，铃木彻，根谷尚稔，黑泽良昭，米田慎吾，日置真则，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：