本实用新型专利技术公开一种清洁装置及曝光设备，其中，清洁装置用于清洁掩膜板，清洁装置包括装置本体和喷气组件，装置本体内设置清洁腔，清洁腔用于容纳掩膜板，喷气组件设置在清洁腔内，喷气组件包括喷头，喷头分别连接冷气源和热气源，以使喷头能够向掩膜板的表面交替喷射冷气流和热气流。通过在清洁腔内设置喷气组件，并且喷气组件的喷头可以向掩膜板交替喷射热气流和冷气流，以使异物从掩膜板的表面脱落，脱落的异物会被气流从掩膜板表面带走，从而实现该清洁装置掩膜板的清洁，且清洁效果好。该清洁装置无需使用大量水溶液对掩膜板进行冲洗，节省了水资源，降低了清洁成本。此外，气流不会损坏掩膜板的表面，保证掩膜板对显示面板的光刻效果。面板的光刻效果。面板的光刻效果。
【技术实现步骤摘要】
清洁装置及曝光设备
[0001]本技术涉及清洁设备
，尤其涉及一种清洁装置及曝光设备。
技术介绍
[0002]显示面板在制造过程中，需要使用曝光设备对显示面板进行光刻处理。在光刻过程中，曝光设备内需要通过掩膜板对显示面板进行遮挡，以使显示面板上形成设定的图形。掩膜板在曝光设备内使用一段时间后，掩膜板上会吸附有异物，而异物会影响显示面板的光刻效果。因此，为了保证曝光设备对显示面板的光刻效果，需要对掩膜板进行清洁，从而去除异物。
[0003]目前，如图1所示，掩膜板1＇需要从曝光设备中拆卸下来，然后移送至清洗机内进行清洗。清洗机包括清洗室2＇，清洗室2＇内设置有滚刷3＇和喷淋管4＇，喷淋管4＇向掩膜板1＇喷淋水溶液，同时，滚刷3＇对掩膜板表面进行刷洗，清洗完成后再将掩膜板1＇放入曝光设备中。现有技术存在以下缺陷：1、滚刷3＇对掩膜板1＇表面刷洗过程中很容易将掩膜板1＇表面损坏，从而影响对显示面板的曝光质量；2、为了保证对掩膜板1＇的清洗效果，喷淋管4＇需要喷出大量的水溶液，从而造成水资源浪费，清洁成本高。
技术实现思路
[0004]本技术的一个目的在于：提供一种清洁装置，其结构简单，对掩膜板的清洁效果好。
[0005]本技术的另一个目的在于：提供一种曝光设备，其结构简单，光刻效果好。
[0006]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]第一方面，提供一种清洁装置，用于清洁掩膜板，清洁装置包括装置本体和喷气组件，所述装置本体内设置清洁腔，所述清洁腔用于容纳所述掩膜板，所述喷气组件设置在所述清洁腔内，所述喷气组件包括喷头，所述喷头分别连接冷气源和热气源，以使所述喷头能够向所述掩膜板的表面交替喷射冷气流和热气流。
[0008]作为清洁装置的一种优选方案，所述喷气组件还包括喷气管和三通阀，所述冷气源包括制冷件和供气件，所述热气源包括加热件和所述供气件，所述供气件用于向所述加热件和所述制冷件提供气体，所述制冷件用于冷却所述气体以形成所述冷气流，所述加热件用于加热所述气体以形成所述热气流，所述喷气管通过所述三通阀分别与所述制冷件和所述加热件连通，所述喷气管远离所述三通阀的一端设置所述喷头。
[0009]作为清洁装置的一种优选方案，所述制冷件和加热件共用一个所述供气件。
[0010]作为清洁装置的一种优选方案，所述喷气组件还包括气体脉冲发生器，所述气体脉冲发生器设置在所述喷气管和所述三通阀之间，所述气体脉冲发生器用于将所述热气流或所述冷气流转化为脉冲气流。
[0011]作为清洁装置的一种优选方案，所述清洁装置还包括异物回收组件，所述异物回收组件包括回收台、回收斗和回收箱，所述回收台位于所述掩膜板的下方，所述回收台沿其
厚度方向贯穿设置多个通孔，所述回收斗的一端套设在所述回收台的侧壁外，另一端与所述回收箱连通。
[0012]作为清洁装置的一种优选方案，所述回收斗采用软质材料制成。
[0013]作为清洁装置的一种优选方案，所述喷头沿所述掩膜板的长度或宽度方向移动，所述异物回收组件还包括滑轨和滑块，所述滑轨设置在所述清洁腔的内侧壁上，且所述滑轨的长度沿所述喷头的移动方向延伸，所述滑块设置在所述回收台的侧壁上，所述滑块滑动设置在所述滑轨上。
[0014]作为清洁装置的一种优选方案，沿所述回收台的周部设置导向板，所述导向板朝远离所述回收台的中心向上倾斜设置。
[0015]作为清洁装置的一种优选方案，所述清洁装置还包括多个风管，所有的所述风管间隔设置在所述清洁腔的顶部，所述风管朝向所述回收台喷射气体，以使漂浮在所述清洁腔内的异物掉落至所述回收台上。
[0016]第二方面，提供一种曝光设备，包括壳体和上述的清洁装置，所述清洁装置设置在所述壳体内。
[0017]本技术的有益效果为：通过在清洁腔内设置喷气组件，喷气组件的喷头分别与冷气源和热气源连接，以使喷头能向掩膜板的表面交替喷射热气流和冷气流，当掩膜板上的异物受到热气流时发生膨胀，当掩膜板上的异物受到冷气流时发生收缩，异物在热胀冷缩两种状态切换过程中，很容易从掩膜板的表面脱落，脱落的异物会被气流从掩膜板表面带走，从而实现该清洁装置对掩膜板的清洁功能，且清洁效果好。该清洁装置无需使用大量水溶液对掩膜板进行冲洗，节省了水资源，降低了清洁成本，且无需将掩膜从曝光设备中拆除，提高了对掩膜板的清洁效率。此外，气流不会损坏掩膜板表面，保证掩膜板对显示面板的曝光效果。
附图说明
[0018]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0019]图1为现有清洗机的结构示意图。
[0020]图2为本技术实施例的清洁装置的第一视角的结构示意图。
[0021]图3为本技术实施例的清洁装置的第二视角的结构示意图
[0022]图1中：
[0023]1′
、掩膜板；2
′
、清洗室；3
′
、滚刷；4
′
、喷淋管。
[0024]图2和图3中：
[0025]100、掩膜板；
[0026]1、装置本体；11、清洁腔；2、喷气组件；21、喷头；22、三通阀；23、制冷件；24、加热件；25、供气件；26、气体脉冲发生器；27、喷气管；3、异物回收组件；31、回收台；311、通孔；32、回收斗；33、回收箱；34、滑轨；35、滑块；36、导向板；4、风管；5、机械手。
具体实施方式
[0027]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的
形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0028]以下，参照附图来详细描述本技术。
[0029]如图2和图3所示，本技术公开的清洁装置用于清洁掩膜板100，其包括装置本体1和喷气组件2，装置本体1设置有清洁腔11，清洁腔11用于容纳掩膜板100，喷气组件2设置在清洁腔11内，喷气组件2包括喷头21，喷头21分别连接冷气源和热气源，以使喷头21能够向掩膜板100的表面交替喷射冷气流和热气流。通过在清洁腔11内设置喷气组件2，喷气组件2的喷头21分别与冷气源和热气源连接，以使喷头21能向掩膜板100的表面交替喷射热气流和冷气流，当掩膜板100上的异物受到热气流时发生膨胀，当掩膜板100的异物受到冷气流时发生收缩，异物在热胀冷缩两种状态切换过程中，很容易从掩膜板100的表面脱落，脱落的异物会被气流从掩膜板100表面带走，从而实现该清洁装置对掩膜板100的清洁功能，且清洁效果好。该清洁装置无需使用大量水溶液对掩膜板100进行冲洗，节省了水资源，降低了清洁成本，且无需将掩膜从曝光设备中拆除，提高了对掩膜板100的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种清洁装置，用于清洁掩膜板，包括装置本体，所述装置本体内设置清洁腔，所述清洁腔用于容纳所述掩膜板，其特征在于，还包括喷气组件，所述喷气组件设置在所述清洁腔内，所述喷气组件包括喷头，所述喷头分别连接冷气源和热气源，以使所述喷头能够向所述掩膜板的表面交替喷射冷气流和热气流。2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述喷气组件还包括喷气管和三通阀，所述冷气源包括制冷件和供气件，所述热气源包括加热件和所述供气件，所述供气件用于向所述加热件和所述制冷件提供气体，所述制冷件用于冷却所述气体以形成所述冷气流，所述加热件用于加热所述气体以形成所述热气流，所述喷气管通过所述三通阀分别与所述制冷件和所述加热件连通，所述喷气管远离所述三通阀的一端设置所述喷头。3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述制冷件和加热件共用一个所述供气件。4.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述喷气组件还包括气体脉冲发生器，所述气体脉冲发生器设置在所述喷气管和所述三通阀之间，所述气体脉冲发生器用于将所述热气流或所述冷气流转化为脉冲气流。5.根据权利要求1至4任一项所述的清洁装置，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡智祥，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：
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