【技术实现步骤摘要】
一种新型的单晶炉加热装置
[0001]本技术属于单晶硅生产设备
，具体涉及一种新型的单晶炉加热装置。
技术介绍
[0002]单晶硅片是制造芯片和硅基电池的重要材料，而单晶硅生产主要通过直拉法工艺。其单晶生长设备成本主要由炉体、电器部分、热场系统、水冷系统、真空系统和氩气供给装置六部分构成，其热场系统主要由导流筒、各种石墨件、加热器及保温材料等成套部件构成。而加热器作为单晶炉热场系统的核心部件，对热场温度分布及晶体品质的控制起至关重要的作用，合理的加热器结构，不仅可以提供合适额温度梯度，提高晶体质量，同时也可提高热场使用寿命，降低设备成本及风险。
[0003]目前，对于大尺寸单晶炉多采用双加热结构，即环形加热器+底部加热器的机构，这样可以提高热场的均匀性，缩短化料时间，有效解决热场控制难及熔硅再结晶的问题。
[0004]但是，目前环形加热器和底部加热器环形半圆为串联结构，整体为大并联结构，在使用过程中串联电路中一处断开整个电路没有电流通过，引起发热体局部电流过大导致无法使用，严重影响设备的正常使用。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型的单晶炉加热装置，其特征在于，包括：环形的第一加热部件（1）和设置在第一加热部件（1）下方的板状的第二加热部件（2），所述第一加热部件（1）下端设置有至少一组地脚（3），所述地脚（3）上可拆卸连接第二加热部件（2）；其中，所述第一加热部件（1）包括两组相互并联并且互为镜像的加热半环（11），加热半环（11）端部对接并可拆卸连接形成圆环状，每个所述加热半环（11）包括两个上下层叠并且互为镜像的波浪形的第一加热体（111），所述两个第一加热体（111）在波谷处一体成型连接；所述第二加热部件（2）包括两个相互并联并且互为镜像的加热板（21），所述两个加热板（21）两端对接并且可拆卸连接，所述每个加热板（21）包括两个相互并联的波浪形的第二加热体（211），所述两个第二加热体（211）实体区域正对并且一体成型连接。2.根据权利要求1所述的一种新型的单晶炉加热装置，其特征在于，所述第一加热体（111）为方波形，所述第二加热体（211）为圆弧波浪形。3.根据权利要求2所述的一种新型的单晶炉加热装置，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：任杰，
申请(专利权)人：乌海市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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