电子处理系统的校准技术方案

通过第一机械臂将校准对象以目标定向放置在电子处理设备的第一站中，并且接着通过第一机械臂从所述站检取。使用第一机械臂、第二机械臂和/或装载锁定将校准对象传送至对准器站，其中校准对象具有对准器站处的第一定向。确定对准器站处的第一定向。基于第一定向确定特征误差值。对准器站使用特征误差值来对准将放置在第一站中的对象。放置在第一站中的对象。放置在第一站中的对象。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电子处理系统的校准


[0001]本公开的实施例总体涉及用于校准电子处理系统的部件的方法和系统，并且更具体地涉及校准电子处理系统的部件之间的传送序列。

技术介绍

[0002]电子处理系统可包括用于将基板从电子处理系统的第一站输送至电子处理系统的第二站的一个或多个机械臂。在电子处理系统中，将基板或对象从第一站移动并以目标定向和定位放置在第二站处。经常地，与第一站、第二站和/或一个或多个机械臂相关联的一个或多个系统误差可能阻止机械臂将基板或对象以目标定向和定位放置在第二站处。例如，电子处理系统可包括对准器站和处理腔室，其中可由机械臂从对准器站检取基板或对象以便以目标定向传送至处理腔室。对准器站和/或处理腔室可与由多种来源(例如，在处理系统的建构期间未恰当地安装对准器站和/或处理腔室、机械臂定位和/或定向的小误差等)引起的特征误差相关联。因此，当从对准器站传送基板或对象并最终传送至处理腔室时，基板或对象的定向和/或定位可能具有小误差。

技术实现思路

[0003]所述实施例中的一些涵盖一种校准电子处理系统的对准器站与另一个站之间的传送序列的方法。通过第一机械臂将校准对象以目标定向放置在电子处理系统的第一站中，并且接着通过第一机械臂从所述站检取。使用第一机械臂、第二机械臂和/或装载锁定将校准对象传送至对准器站，其中校准对象具有对准器站处的第一定向。确定对准器站处的第一定向。基于第一定向确定特征误差值。在一个实施例中，确定第一定向与对准器站处的初始目标定向之间的差，其中对准器站处的初始目标定向与第一站中的目标定向相关联，并且基于第一定向与初始目标定向之间的差来确定特征误差值。将特征误差值记录在存储介质中。对准器站使用特征误差值来对准将放置在第一站中的对象。
[0004]在一些实施例中，一种用于电子处理系统的校准对象包括主体，所述主体尺寸设计成适合穿过电子处理系统的狭缝阀。所述主体包括在主体中的第一多个运动学耦接接口，所述第一多个运动学耦接接口被配置成与电子处理系统的第一站的相应第一多个配准特征接合，并且将校准对象引导至第一站处的目标定位和目标定向。所述主体进一步包括安置在主体的一侧处的基准，其中所述基准可用于确定校准对象的定向。校准对象被配置成在被放置至电子处理系统的站中时实现目标定位和/或定向，即使在校准对象最初以不正确定向和/或定位被放置在所述站处时也是如此。
[0005]在一些实施例中，一种电子处理系统包括：传送腔室，所述传送腔室包括第一机械臂；多个处理腔室，所述多个处理腔室连接至传送腔室；装载锁定，所述装载锁定连接至传送腔室；工厂接口，所述工厂接口连接至装载锁定，工厂接口包括第二机械臂和对准器站；以及控制器，所述控制器操作地连接至第一机械臂、第二机械臂和所述对准器站。控制器使得第一机械臂或第二机械臂从电子处理系统的第一站检取校准对象，所述校准对象具有第
一站中的目标定向，其中第一站是在多个处理腔室中的处理腔室、侧存储舱(SSP)、装载锁定、载入口、或前开式标准舱(FOUP)中。控制器进一步使校准对象使用第一机械臂、第二机械臂或装载锁定中的至少一者被传送至对准器站，其中校准对象具有对准器站处的第一定向。控制器进一步确定对准器站处的第一定向。在一个实施例中，控制器确定对准器站处的第一定向与对准器站处的初始目标定向之间的差，其中对准器站处的初始目标定向与第一站中的目标定向相关联。控制器进一步基于第一定向(例如，基于第一定向与初始目标定向之间的差)确定与第一站相关联的第一特征误差值。控制器进一步将第一特征误差值记录在存储介质中，其中对准器站使用第一特征误差值来对准将放置在第一站中的对象。
[0006]在一些实施例中，一种方法包括通过在工厂接口或传送腔室中的第一者中的第一机械臂将校准对象放置至装载锁定中，所述装载锁定使工厂接口与传送腔室分离开，其中校准对象被放置至装载锁定中，使得校准对象中心在与第一机械臂的第一教示定位相关联的第一目标位置处，其中第一机械臂的第一叶片的第一凹穴中心标称地对应于第一教示定位的第一目标位置，并且其中工厂接口、传送腔室和装载锁定是电子处理系统的部件。所述方法进一步包括通过在工厂接口或传送腔室中的第二者中的第二机械臂使用第二机械臂的第二教示定位将校准对象从装载锁定检取至第二机械臂的第二叶片上，其中第二叶片的第二凹穴中心标称地对应于第二教示定位的第一目标位置，并且其中在检取校准对象之后，校准对象中心从第二凹穴中心偏移了第一偏移量。所述方法进一步包括使用在工厂接口或传送腔室中的第二者中或连接至所述第二者的传感器来确定校准对象中心与第二凹穴中心之间的所述第一偏移量。所述方法进一步包括基于第一偏移量确定第一特征误差值，所述第一特征误差值表示第一机械臂的第一教示定位与第二机械臂的第二教示定位之间的失准。所述方法进一步包括将第一特征误差值记录在存储介质中，其中第一机械臂或第二机械臂中的一者使用第一特征误差值来补偿经由装载锁定在第一机械臂与第二机械臂之间传送的对象的失准。
[0007]在一些实施例中，一种电子处理系统包括装载锁定、连接至装载锁定的第一侧的工厂接口、连接至装载锁定的第二侧的传送腔室、以及控制器。控制器用于使在工厂接口或传送腔室中的第一者中的第一机械臂将校准对象放置至装载锁定中，其中校准对象被放置至装载锁定中，使得校准对象中心在与第一机械臂的第一教示定位相关联的第一目标位置处，其中第一机械臂的第一叶片的第一凹穴中心标称地对应于第一教示定位的第一目标位置。控制器进一步使在工厂接口或传送腔室中的第二者中的第二机械臂使用第二机械臂的第二教示定位将校准对象从装载锁定检取至第二机械臂的第二叶片上，其中第二叶片的第二凹穴中心标称地对应于第二教示定位的第一目标位置，并且其中在检取校准对象之后，校准对象中心从第二凹穴中心偏移了第一偏移量。控制器进一步使用在工厂接口或传送腔室中的第二者中或连接至所述第二者的传感器来确定校准对象中心与第二凹穴中心之间的第一偏移量。控制器进一步基于第一偏移量确定第一特征误差值，所述第一特征误差值表示第一机械臂的第一教示定位与第二机械臂的第二教示定位之间的失准。控制器进一步将第一特征误差值记录在存储介质中，其中第一机械臂或第二机械臂中的一者使用第一特征误差值来补偿经由装载锁定在第一机械臂与第二机械臂之间传送的对象的失准。
[0008]在一些实施例中，一种非暂时性计算机可读介质包括指令，所述指令在由处理设备执行时使处理设备执行以上讨论的方法中的任一者的操作。
附图说明
[0009]在附图的各图中通过示例方式而非限制方式说明本公开，其中相同附图标记指示类似元件。应注意，在本公开中对“一”或“一个”实施例的不同引用不一定指同一实施例，并且此类引用意味着至少一个。
[0010]图1是根据本公开的各方面的示例电子处理系统的俯视示意图。
[0011]图2A、图2B和图2C图示根据本公开的各方面的在处理腔室处的对象的示例第一定向、示例目标定向和定位以及示例第一定位。
[0012]图3A和图3B图示根据本公开的各方面的在电子处理系统的对准器处的对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种方法，包括以下步骤：通过第一机械臂将校准对象以目标定向放置在电子处理系统的第一站中；通过所述第一机械臂从所述第一站检取所述校准对象；使用所述第一机械臂、第二机械臂或装载锁定中的至少一者将所述校准对象传送至对准器站，其中所述对准器站被容纳在所述电子处理系统的工厂接口中或连接至所述工厂接口，其中所述校准对象具有所述对准器站处的第一定向；确定所述对准器站处的所述第一定向；基于所述对准器站处的所述第一定向确定与所述第一站相关联的第一特征误差值；以及将所述第一特征误差值记录在存储介质中，其中所述对准器站使用所述第一特征误差值来对准将放置在所述第一站中的对象。2.如权利要求1所述的方法，其中所述第一机械臂是所述电子处理系统的传送腔室的机械臂，其中所述第一站在连接至所述传送腔室的处理腔室中，并且其中将所述校准对象传送至所述对准器站的步骤包括以下步骤：通过所述第一机械臂将所述校准对象放置在连接至所述传送腔室的所述装载锁定中；通过连接至所述装载锁定的所述工厂接口的所述第二机械臂从所述装载锁定检取所述校准对象；以及通过所述第二机械臂将所述校准对象放置在所述对准器站处。3.如权利要求2所述的方法，进一步包括以下步骤：通过所述第二机械臂从所述电子处理系统中的第二站检取对象；通过所述第二机械臂将所述对象放置在所述对准器站处；确定所述对象将被放置在所述处理腔室中；使用所述第一特征误差值来对准所述对象，其中所述对准器站将所述对象对准至经校正的目标定向，所述经校正的目标定向是基于由所述第一特征误差值调整的初始目标定向；通过所述第二机械臂从所述对准器站检取所述对象；将所述对象放置在所述装载锁定中；通过所述第一机械臂从所述装载锁定检取所述对象；以及通过所述第一机械臂将所述对象放置在所述处理腔室中，其中放置在所述处理腔室中的所述对象大致具有所述处理腔室中的所述目标定向。4.如权利要求3所述的方法，其中所述对象是工艺配件环。5.如权利要求3所述的方法，其中所述对象是晶片。6.如权利要求3所述的方法，其中放置在所述处理腔室中的所述对象具有在0.2
°
的准确度以内的所述处理腔室中的所述目标定向。7.如权利要求1所述的方法，其中所述第一机械臂是所述工厂接口的机械臂，其中所述第一站在装载锁定、载入口或前开式标准舱(FOUP)中的一者中，并且其中将所述校准对象传送至所述对准器站的步骤包括以下步骤：通过所述第一机械臂将所述校准对象放置在所述对准器站处。8.如权利要求7所述的方法，进一步包括以下步骤：
通过所述第一机械臂从所述电子处理系统中的第二站检取对象；通过所述第一机械臂将所述对象放置在所述对准器站处；确定所述对象将被放置在所述第一站中；使用所述第一特征误差值来对准所述对象，其中所述对准器站将所述对象对准至经校正的目标定向，所述经校正的目标定向是基于由所述第一特征误差值调整的初始目标定向；通过所述第一机械臂从所述对准器检取所述对象；以及通过所述第一机械臂将所述对象放置在所述第一站中，其中放置在所述第一站中的所述对象大致具有所述第一站中的所述目标定向。9.如权利要求8所述的方法，其中所述对象包括晶片。10.如权利要求8所述的方法，其中放置在所述第一站中的所述对象具有在0.2
°
的准确度以内的所述第一站中的所述目标定向。11.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：确定所述对准器站处的所述第一定向与所述对准器站处的初始目标定向之间的差，其中所述对准器站处的所述初始目标定向与所述第一站中的所述目标定向相关联；其中基于所述第一定向与所述初始目标定向之间的所述差来确定所述第一特征误差值。12.如权利要求11所述的方法，其中所述校准对象具有所述第一站中的目标定位，并且其中所述校准对象具有所述对准器站处的第一定位，所述方法进一步包括以下步骤：确定所述对准器站处的所述第一定位与所述对准器站处的初始目标定位之间的差，其中所述对准器站处的所述初始目标定位与所述第一站中的所述目标定位相关联；基于所述第一定位与所述初始目标定位之间的所述差来确定与所述第一站相关联的一个或多个额外特征误差值；以及将所述一个或多个额外特征误差值记录在所述存储介质中，其中所述对准器站使用所述一个或多个额外特征误差值来对准将放置在所述第一站中的对象。13.如权利要求12所述的方法，其中所述目标定位包括目标x定位和目标y定位，其中所述第一定位包括第一x定位和第一y定位，其中所述初始目标定位包括初始目标x定位和初始目标y定位，并且其中所述一个或多个额外特征误差值包括与所述x定位的误差相关联的第二特征误差值以及与所述y定位的误差相关联的第三特征误差值。14.如权利要求1所述的方法，其中所述第一站的基板支撑件包括多个配准特征，并且所述校准对象包括对应的多个运动学耦接接口，所述方法进一步包括以下步骤：在从所述第一站检取所述校准对象之前，通过所述第一机械臂将所述校准对象放置在所述第一站中，其中，响应于所述校准对象被放置在所述第一站中的所述基板支撑件处，所述多个运动学耦接接口中的每个运动学耦接接口与所述多个配准特征中的配置特征接合，以使得以所述目标定向放置所述校准对象。15.如权利要求14所述的方法，其中所述多个配准特征包括多个升降杆或多个静态配准特征。16.如权利要求1所述的方法，其中所述第一站的基板支撑件包括第一多个配准特征和第二多个配准特征，并且其中所述校准对象包括对应的第一多个运动学耦接接口和对应的
第二多个运动学耦接接口，所述方法进一步包括以下步骤：将所述第一多个运动学耦接接口与所述第一多个配准特征接合，以将所述第二多个运动学耦接接口引导至所述第二多个配准特征上；以及随后将所述第二多个运动学耦接接口与所述第二多个配准特征接合，以将所述校准对象引导至所述目标定向。17.如权利要求16所述的方法，其中所述第一多个配准特征包括第一多个升降杆，其中所述第二多个配准特征包括多个静态配准特征，所述方法进一步包括以下步骤：提升所述第一多个升降杆以使所述第一多个运动学耦接接口与所述第一多个升降杆接合；以及降低所述第一多个升降杆以使所述第二多个运动学耦接接口与所述多个静态配准特征接合并且使所述第一多个升降杆与所述第一多个运动学耦接接口脱离。18.如权利要求17所述的方法，进一步包括以下步骤：使用第二多个升降杆来提升所述校准对象，同时将所述校准对象维持在所述目标定向，其中在所述校准对象被所述第二多个升降杆提升的同时检取所述校准对象。19.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：重复所述以所述第一站中的所述目标定向来放置所述校准对象、所述从所述第一站检取所述校准对象、所述将所述校准对象传送至所述对准器站、所述确定所述对准器站处的所述第一定向以及所述确定所述第一特征误差值多次；确定由于所述重复所述以所述第一站中的所述目标定向来放置所述校准对象、所述从所述第一站检取所述校准对象、所述将所述校准对象传送至所述对准器站、所述确定所述对准器站处的所述第一定向以及所述确定所述第一特征误差值所述多次所导致的所述第一特征误差值的标准偏差；以及基于所述标准偏差来确定所述对准器站与所述第一站之间的传送序列的准确性。20.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：重复所述以所述第一站中的所述目标定向来放置所述校准对象以及所述从所述第一站检取所述校准对象；重复所述将所述校准对象传送至所述对准器站，其中所述校准对象具有所述对准器站处的第二定向；确定所述对准器站处的所述第二定向；基于所述第二定向来确定与所述第一站相关联的第二特征误差值；以及确定所述对准器站与所述第一站之间的传送序列不再处于校准。21.一种用于电子处理系统的校准对象，包括：主体，所述主体尺寸设计成适合穿过所述电子处理系统的狭缝阀；在所述主体中的第一多个运动学耦接接口，所述第一多个运动学耦接接口被配置成与所述电子处理系统的第一站的相应第一多个配准特征接合，并且将所述校准对象引导至所述站处的目标定位和目标定向；以及安置在所述主体的一侧处的基准，其中所述基准可用于确定所述校准对象的定向。22.如权利要求21所述的校准对象，其中所述主体是圆盘形主体或环形主体。23.如权利要求21所述的校准对象，进一步包括：
在所述主体中的第二多个运动学耦接接口，所述第二多个运动学耦接接口被配置成与所述电子处理系统的所述第一站或第二站的相应第二多个配准特征接合。24.如权利要求23所述的校准对象，其中所述第二多个配准特征是在所述第一站中，其中所述第一多个运动学耦接接口具有第一导入部，其中所述第二多个运动学耦接接口具有比所述第一导入部大的第二导入部，并且其中所述第二多个运动学耦接接口被配置成与所述第二多个配准特征接合以...

【专利技术属性】
技术研发人员：N，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：